特許ウォッチ

公開番号2025051641
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2024159780
出願日2024-09-17
発明の名称表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法
出願人三星ディスプレイ株式會社,Samsung Display Co.,Ltd.
代理人個人
主分類C23C 14/54 20060101AFI20250327BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法に係り、ダミー層が配された基板が載置される載置部と、載置部に配され、基板を支持する複数個の支持部と、載置部と対向するように配され、ダミー層の厚みを測定する測定部と、を含み、載置部は、測定部で測定された結果を基に、測定部とダミー層とが対応する位置に配されるように線形運動する、表示装置の製造装置である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ダミー層が配された基板が載置される載置部と、
前記載置部に配され、基板を支持する複数個の支持部と、
前記載置部と対向するように配され、前記ダミー層の厚みを測定する測定部と、を含み、
前記載置部は、前記測定部で測定された結果を基に、前記測定部と前記ダミー層とが対応する位置に配されるように線形運動する、表示装置の製造装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記載置部と連結され、前記載置部を線形運動させる駆動部をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記載置部の位置と、前記基板の位置とを測定する感知部をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記載置部は、前記感知部で測定された結果を基に、前記基板の位置を、既設定の位置に対応させるように、前記基板を線形運動させる、請求項３に記載の表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記複数個の支持部のうち一つは、前記複数個の支持部のうち他の一つと異なる高さに配される、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項６】
感知部及び前記測定部のうち少なくとも一つが配され、前記感知部及び前記測定部のうち少なくとも一つを運動させる運動駆動部と、をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記基板上に、少なくとも１層を形成する工程部と、
前記工程部と連結され、前記基板の移動経路を形成する経路ユニットと、をさらに含み、
前記載置部、前記支持部及び前記測定部は、前記工程部または前記経路ユニットに配される、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記工程部は、前記基板上に互いに異なる層を形成する第１工程部と第２工程部とを含み、
前記第１工程部において、前記基板上に形成された層の厚みを測定し、前記第１工程部及び前記第２工程固定部のうち少なくとも一つにおいて、前記基板上に形成される層の厚みを調節する、請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記複数個の支持部のうち少なくとも一つ、及び前記載置部のうち少なくとも一つと対向するように配され、前記基板の少なくとも一部分を平らに維持させる基板加圧部をさらに含む、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記測定部は、前記ダミー層の一面に垂直方向に信号を照射する、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置及び方法に係り、さらに詳細には、表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
移動性を基盤とする電子機器が幅広く使用されている。移動用電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、最近になり、タブレットＰＣ（personal computer）が汎用されている。
【０００３】
そのような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像のような視覚情報をユーザに提供するために、表示装置を含む。最近、該表示装置を駆動するため以外の部品が小型化されることにより、該表示装置が該電子機器で占める比重がだんだんと増している趨勢にあり、平らな状態から、所定角度を有するように曲がりうる構造も開発されている。
【０００４】
そのような表示装置の製造時において、多様な層が形成されるが、多様な層のうち少なくとも１層の厚みが表示装置の性能を決定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第7150776号公報
特許第7348440号公報
特開2023-079032号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般的に、表示装置の少なくとも１層を形成する場合、厚みを既設定の厚みと同一であるか、あるいは類似した厚みに形成することが必要である。そのために、多様な方法を使用するが、少なくとも１層の厚みが、既設定の厚みと異なってしまう場合もある。そのような場合、製造された表示装置は、所望の波長の光を外部に発光することができないか、あるいは性能が低下してしまう場合があるというような問題が生じてしまう。そのような問題を解決するために、本発明の実施形態は、少なくとも１層の厚みを測定して補償することにより、均一な品質の表示装置を製造することが可能な表示装置の製造装置、及び表示装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態は、ダミー層が配された基板が載置される載置部と、前記載置部に配され、基板を支持する複数個の支持部と、前記載置部と対向するように配され、前記ダミー層の厚みを測定する測定部と、を含み、前記載置部は、前記測定部で測定された結果を基に、前記測定部と前記ダミー層とが対応する位置に配されるように線形運動する表示装置の製造装置を開示する。
【０００８】
本実施形態において、前記載置部と連結され、前記載置部を線形運動させる駆動部をさらに含むものでもある。
【０００９】
本実施形態において、前記載置部の位置と、前記基板の位置とを測定する感知部をさらに含むものでもある。
【００１０】
本実施形態において、前記載置部は、前記感知部で測定された結果を基に、前記基板の位置を、既設定の位置に対応させるように、前記基板を線形運動させうる。
（【００１１】以降は省略されています）

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