特許ウォッチ

公開番号2025050440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159237
出願日2023-09-22
発明の名称基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄具の交換から当該洗浄具を用いた洗浄処理を再開するまでに要する時間を短縮することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置1は、基板保持装置10、ブラシアーム41、複数のブラシ装置50、ブラシ保管装置70およびブラシ液供給系80を備える。ブラシアーム41の先端部は、ブラシ保持部42としてブラシ装置50を着脱可能に構成される。基板保持装置10により保持される基板Wがブラシ装置50により洗浄される。ブラシ保管装置70には、未処理のブラシ装置50を保管されている。ブラシ保持部42から使用済みのブラシ装置50が取り外される。そのブラシ保持部42に、ブラシ保管装置70に保管された未処理のブラシ装置50が取り付けられる。ブラシ保管装置70は、保管されるブラシ装置50の洗浄面がブラシ液供給系80から供給される処理液により湿潤した状態で維持されるように構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、
被接続部および洗浄面をそれぞれ有する第１の洗浄具および第２の洗浄具と、
前記第１の洗浄具および前記第２の洗浄具の前記被接続部に着脱可能な接続部を有し、前記接続部を前記被接続部に接続することにより前記第１の洗浄具および前記第２の洗浄具をそれぞれ保持する洗浄具保持部と、
前記基板保持部により保持される前記基板から離間した位置に設けられ、前記洗浄具保持部に前記第１の洗浄具が保持された状態で、前記第２の洗浄具を一時的に保管する洗浄具保管部と、
前記洗浄具保持部に保持された前記第１の洗浄具または前記第２の洗浄具の前記洗浄面が前記基板に接触するように前記洗浄具保持部を移動させるとともに、前記洗浄具保持部を前記洗浄具保管部に移動させる洗浄具保持部移動装置と、
前記洗浄具保管部に所定の処理液を供給する処理液供給部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、前記洗浄具保持部が前記第１の洗浄具を保持する状態で前記洗浄具保持部移動装置を制御することにより前記基板保持部により保持された前記基板を洗浄し、前記基板の洗浄に用いられた前記第１の洗浄具が前記洗浄具保持部から取り外された後、前記洗浄具保持部移動装置を制御することにより前記洗浄具保持部の前記接続部を前記洗浄具保管部に一時的に保管された前記第２の洗浄具の前記被接続部に接続させ、
前記洗浄具保管部は、一時的に保管される前記第２の洗浄具の前記洗浄面が前記処理液供給部から供給される前記処理液により湿潤した状態で維持されるように構成された、基板処理装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記洗浄具保管部は、上方に向いて開放されかつ前記第２の洗浄具のうち前記洗浄面を含む少なくとも一部を収容することにより前記第２の洗浄具を保管可能な保管空間を有する洗浄具保管槽を含み、
前記洗浄具保管槽は、前記保管空間に前記処理液供給部から供給される処理液を貯留することが可能に構成された、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記洗浄具保管槽は、前記保管空間を複数有し、前記複数の保管空間のうち一の保管空間に前記第２の洗浄具が保管された状態で、前記洗浄具保持部の前記接続部を当該第２の洗浄具の前記被接続部に接続することが可能に構成され、
前記洗浄具保管部は、
前記第２の洗浄具および前記洗浄具保管槽のうち少なくとも一方を移動させることにより前記第２の洗浄具と前記洗浄具保管槽との間の位置関係を変更する位置変更部をさらに含み、
前記制御部は、前記第２の洗浄具が前記複数の保管空間のうち他の保管空間に保管されている状態で前記位置変更部を制御することにより前記他の保管空間に保持された前記第２の洗浄具を、当該他の保管空間から前記一の保管空間に移動させる、請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記位置変更部は、
前記第２の洗浄具を水平方向に移動させる水平移動部と、
前記第２の洗浄具を上下方向に移動させる昇降移動部とを含む、請求項３記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記昇降移動部は、前記第２の洗浄具を、当該第２の洗浄具が前記複数の保管空間のいずれかに保管されるときの下部高さ位置と、当該第２の洗浄具が前記洗浄具保管槽に貯留される前記処理液の液面よりも上方にあるときの上部高さ位置との間で移動させることが可能に構成され、
前記制御部は、前記他の保管空間に保持された前記第２の洗浄具を前記一の保管空間に移動させる場合に、前記水平移動部および前記昇降移動部を制御することにより、前記他の保管空間に保持された前記第２の洗浄具を前記下部高さ位置から前記上部高さ位置まで上昇させ、前記上部高さ位置にある前記第２の洗浄具を前記一の保持空間の上方の位置まで水平方向に移動させ、前記保持空間の上方の位置に移動した前記第２の洗浄具を前記上部高さ位置から前記下部高さ位置まで下降させる、請求項４記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記複数の保管空間は、互いに連通しかつ水平面内で一列に並ぶように形成され、
前記洗浄具保管槽は、前記複数の保管空間のうち一方の端部に位置する保管空間に前記処理液を導く処理液入口と、
前記複数の保管空間のうち他方の端部に位置する保管空間から前記複数の保管空間に貯留された前記処理液を排出する処理液出口とを有する、請求項３～５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記洗浄具保持部移動装置は、前記第１の洗浄具または前記第２の洗浄具による前記基板の洗浄時に、平面視で前記基板の中心を通る一の直線または一の円弧をたどるように前記洗浄具保持部を移動させ、
前記洗浄具保管槽の前記一の保管空間は、平面視で前記一の直線または前記一の円弧上に重なる、請求項３～５のいずれか一項に記載の基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄具を基板に接触させて洗浄する基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体基板、液晶表示装置もしくは有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等のＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板または太陽電池用基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられる。
【０００３】
基板処理装置の一例として、特許文献１には、ブラシを用いてウェハ（基板）を洗浄するスクラバ洗浄装置が記載されている。そのスクラバ洗浄装置は、ブラシおよびアームを有する。アームの先端部は、ブラシを着脱可能に構成されている。アームの先端部に取り付けられたブラシが、洗浄位置に移動され、基板上で摺動される。それにより、基板が洗浄される。
【０００４】
洗浄に用いられるブラシは、その使用状態に応じて汚染または摩耗する。過剰な汚染状態または摩耗状態にあるブラシでは、基板を適切に洗浄することができない。そこで、上記のスクラバ洗浄装置においては、洗浄位置とは異なる後退位置にブラシ保持枠が設けられている。
【０００５】
ブラシ保持枠には、複数のブラシが保持されている。これにより、アームの先端部に取り付けられた一のブラシが交換されるべき状態になると、当該一のブラシが後退位置まで移動され、アームの先端部から取り外される。また、ブラシ保持枠に保持された他のブラシがアームの先端部に取り付けられる。このようにして、基板の洗浄に用いられるブラシが交換される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平８－３１８２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
処理対象となる基板によっては、洗浄に用いるブラシを予め湿潤させておく必要がある。この場合、特許文献１のスクラバ洗浄装置においては、アームの先端部に取り付けられるブラシの交換後に、新たなブラシを洗浄に使用可能となる程度に湿潤させなければならない。このような、ブラシの前処理作業は、当該スクラバ洗浄装置の稼働効率を低下させる。
【０００８】
本発明の目的は、洗浄具の交換から当該洗浄具を用いた洗浄処理を再開するまでに要する時間を短縮することが可能な基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一局面に従う基板処理装置は、基板を保持する基板保持部と、被接続部および洗浄面をそれぞれ有する第１の洗浄具および第２の洗浄具と、前記第１の洗浄具および前記第２の洗浄具の前記被接続部に着脱可能な接続部を有し、前記接続部を前記被接続部に接続することにより前記第１の洗浄具および前記第２の洗浄具をそれぞれ保持する洗浄具保持部と、前記基板保持部により保持される前記基板から離間した位置に設けられ、前記洗浄具保持部に前記第１の洗浄具が保持された状態で、前記第２の洗浄具を一時的に保管する洗浄具保管部と、前記洗浄具保持部に保持された前記第１の洗浄具または前記第２の洗浄具の前記洗浄面が前記基板に接触するように前記洗浄具保持部を移動させるとともに、前記洗浄具保持部を前記洗浄具保管部に移動させる洗浄具保持部移動装置と、前記洗浄具保管部に所定の処理液を供給する処理液供給部と、制御部とを備え、前記制御部は、前記洗浄具保持部が前記第１の洗浄具を保持する状態で前記洗浄具保持部移動装置を制御することにより前記基板保持部により保持された前記基板を洗浄し、前記基板の洗浄に用いられた前記第１の洗浄具が前記洗浄具保持部から取り外された後、前記洗浄具保持部移動装置を制御することにより前記洗浄具保持部の前記接続部を前記洗浄具保管部に一時的に保管された前記第２の洗浄具の前記被接続部に接続させ、前記洗浄具保管部は、一時的に保管される前記第２の洗浄具の前記洗浄面が前記処理液供給部から供給される前記処理液により湿潤した状態で維持されるように構成されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、洗浄具の交換から当該洗浄具を用いた洗浄処理を再開するまでに要する時間を短縮することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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