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公開番号2025042727
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2023149830
出願日2023-09-15
発明の名称電磁弁
出願人株式会社フジキン
代理人弁理士法人後藤特許事務所
主分類F16K 31/06 20060101AFI20250321BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】流体流量を正確に制御することができ、且つ、コアの素材が制限されない電磁弁を提供する。
【解決手段】電磁弁10は、流体流入流路20a及び流体流出流路20bが形成された流路ブロック20と、流体流入流路20aと流体流出流路20bとの一方を開閉するプランジャ30と、プランジャ30を挟んで流路ブロック20とは反対側に設けられ、プランジャ30が収容される収容室40を外部空間から隔離するダイヤフラム50と、外部空間においてダイヤフラム50を挟んでプランジャ30とは反対側に設けられた固定コア60と、固定コア60の径方向外側に設けられたコイル70と、固定コア60及びコイル70を収容するケース80と、を備え、ダイヤフラム50と固定コア60とが接着剤95で固定されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
流体流入流路及び流体流出流路が形成された流路ブロックと、
前記流体流入流路と前記流体流出流路との一方を開閉するプランジャと、
前記プランジャを挟んで前記流路ブロックとは反対側に設けられ、前記プランジャが収容される収容室を外部空間から隔離するダイヤフラムと、
前記外部空間において前記ダイヤフラムを挟んで前記プランジャとは反対側に設けられた固定コアと、
前記固定コアの径方向外側に設けられたコイルと、
前記固定コア及び前記コイルを収容するケースと、
を備え、
前記ダイヤフラムと前記固定コアとが接着剤で固定されている、
電磁弁。
続きを表示（約 62 文字）【請求項２】
請求項１に記載の電磁弁であって、
前記接着剤は、磁性接着剤である、
電磁弁。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁弁に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、流入口及び流出口が形成されたベースと、流出口を閉鎖可能な弁頭と、弁頭を取り囲んで内部空間を形成するダイヤフラムと、ケースに保持されたコアと、コアを囲繞するソレノイドと、を有し、コアがダイヤフラムを貫通し、その先端が弁頭に対向している電磁弁が開示されている。
【０００３】
上記電磁弁は、コアがダイヤフラムを貫通して弁頭に対向しているので、弁頭のストロークは、コアの先端と弁頭の間隙によってのみ定まる。従って、半導体製造工程のようにダイヤフラムの内外で圧力差が生じるような用途に使用した場合において、仮にダイヤフラムが変形したときでも、弁頭のストロークが変わることはなく、流体流量を正確に制御することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平８－２８７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記電磁弁は、コアがダイヤフラムを貫通しているので、電磁弁を流れる流体とコアとが接触する。よって、流体流量を正確に制御することができるものの、コアの素材が、流体に対応可能な素材に制限されるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような技術的課題に鑑みてなされたもので、流体流量を正確に制御することができ、且つ、コアの素材が制限されない電磁弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様によれば、流体流入流路及び流体流出流路が形成された流路ブロックと、前記流体流入流路と前記流体流出流路との一方を開閉するプランジャと、前記プランジャを挟んで前記流路ブロックとは反対側に設けられ、前記プランジャが収容される収容室を外部空間から隔離するダイヤフラムと、前記外部空間において前記ダイヤフラムを挟んで前記プランジャとは反対側に設けられた固定コアと、前記固定コアの径方向外側に設けられたコイルと、前記固定コア及び前記コイルを収容するケースと、を備え、前記ダイヤフラムと前記固定コアとが接着剤で固定されている、電磁弁が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記態様によれば、ダイヤフラムと固定コアとが接着剤で固定されるので、収容室の内外で圧力差が生じた場合でも、固定コアの剛性によってダイヤフラムの変形が抑制される。よって、プランジャのストロークを一定にできるので、流体流量を正確に制御することができる。また、固定コアは外部空間に設けられるので、収容室を流れる流体と接触しない。よって、流体の種類によって固定コアの素材が制限されることを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本発明の実施形態に係る電磁弁の概略断面図である。
図２は、電磁弁の要部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態に係る電磁弁１０について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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