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公開番号2025031223
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023137297
出願日2023-08-25
発明の名称ステージ装置、基板処理装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250228BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】基板の処理結果への悪影響を低減可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】基板を保持する保持部を移動させる駆動部と、前記駆動部の駆動により発生した反力を低減可能であり、可動子と固定子とを含むリニアモータと、前記可動子を挟んだ2方向から前記可動子に気体を吹き付ける気体供給部と、を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持する保持部を移動させる駆動部と、
前記駆動部の駆動により発生した反力を低減可能であり、可動子と固定子とを含むリニアモータと、
前記可動子を挟んだ２方向から前記可動子に気体を吹き付ける気体供給部と、
を有することを特徴とするステージ装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記気体供給部から前記気体を吹き付けることにより、前記可動子の振動を低減する、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記気体供給部を支持する支持部を有し、
前記支持部は、前記可動子と前記固定子とは別体である、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記可動子は、前記駆動部と一体となっている、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記固定子と前記可動子と前記気体供給部とは互いに非接触である、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項６】
床からの振動を低減可能な除振部を有し、
前記可動子と前記気体供給部と前記支持部とは前記除振部によって除振される位置に配置され、前記固定子は前記除振部によって除振されない位置に配置されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項７】
床からの振動を低減可能な除振部の上に配置された定盤を有し、
前記可動子は前記定盤上の部材と結合されていて、
前記支持部は前記定盤と結合されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記気体供給部は、前記可動子の移動方向に延びている、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記気体供給部と前記可動子との距離は、前記固定子と前記可動子との間の距離よりも短い、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記気体供給部と前記固定子との間の距離は、床からの振動を低減可能な除振部の最大振幅よりも大きい、ことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ装置、基板処理装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの製造工程において、特許文献１に開示されているように、基板を保持しつつ移動させるステージの駆動に起因して発生する反力を低減するためのモータが用いられることがある。この反力を低減するためのモータには可動子と固定子が含まれていて、可動子はステージと一体となっている。この可動子は、反力を低減させるための推力を発生させる方向における一方の端部がステージと結合されていることでステージにより片持ちの状態で支持され、もう一方の端部が固定子と対になっていて反力を低減させるための推力を発生させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－１６８０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、反力を低減するためのモータに含まれる可動子がステージにより片持ちの状態で支持されていると、この可動子はステージの駆動によって振動しやすい。この可動子の振動により、可動子と一体となっているステージも振動し、ステージに振動や位置ずれが生じる。これにより、ステージに保持されている基板に位置ずれが生じる。この基板の位置ずれは基板の処理結果（位置合わせ精度、重ね合わせ精度）に影響を及ぼす。
【０００５】
そこで、本発明は、基板の処理結果（位置合わせ精度、重ね合わせ精度）への悪影響を低減可能なステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのステージ装置は、基板を保持する保持部を移動させる駆動部と、前記駆動部の駆動により発生した反力を低減可能であり、可動子と固定子とを含むリニアモータと、前記可動子を挟んだ２方向から前記可動子に気体を吹き付ける気体供給部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板の処理結果への悪影響を低減可能なステージ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態における、ステージ装置の斜視図である。
第１実施形態における、－Ｙ方向側からステージ装置を見た場合の図である。
第１実施形態における、可動子の振動を低減する機構を示す模式図である。
第２実施形態における、露光装置の概略図である。
第３実施形態における、物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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