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公開番号2025020787
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-13
出願番号2023124370
出願日2023-07-31
発明の名称転写ウエハ、及びLED素子の転写方法
出願人株式会社東海理化電機製作所
代理人個人,個人
主分類H10H 20/85 20250101AFI20250205BHJP()
要約【課題】ウエハに生じた反りをLED素子の転写時により容易に矯正する。
【解決手段】厚みが100μm以上400μm以下の支持基板と、前記支持基板の一主面に所定の配列で設けられた複数のLED素子と、を備え、回路基板への複数の前記LED素子の一括転写に用いられる、転写ウエハ。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下の支持基板と、
前記支持基板の一主面に所定の配列で設けられた複数のＬＥＤ素子と、
を備え、
回路基板への複数の前記ＬＥＤ素子の一括転写に用いられる、転写ウエハ。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
前記支持基板の厚みは、１００μｍ以上２００μｍ以下である、請求項１に記載の転写ウエハ。
【請求項３】
前記支持基板は、矩形形状である、請求項１又は２に記載の転写ウエハ。
【請求項４】
前記支持基板は、サファイア基板である、請求項１又は２に記載の転写ウエハ。
【請求項５】
厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下の支持基板の一主面に所定の配列で複数のＬＥＤ素子を形成するステップと、
複数の前記ＬＥＤ素子を回路基板へ一括で転写するステップと、
を含む、ＬＥＤ素子の転写方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写ウエハ、及びＬＥＤ素子の転写方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、新たなディプレイ技術として、マイクロＬＥＤ（Light Emitting Diode）ディスプレイが注目されている。マイクロＬＥＤディスプレイは、小型化したＬＥＤ素子を画素として表示面にアレイ状に配列した表示装置である。マイクロＬＥＤディスプレイは、各画素のＬＥＤ素子の発光を個別に制御することで、高コントラストかつ高応答速度で画像を表示することができる。
【０００３】
ＬＥＤ素子は、例えば、基板上にエピタキシャル成長させた化合物半導体をヘテロ接合させることで構成される。ただし、ＬＥＤ素子が形成された基板には、基板と、エピタキシャル成長させた化合物半導体との格子定数又は熱膨張係数の差によって反りが生じることがある。
【０００４】
ここで、マイクロＬＥＤディスプレイを製造する際に、成長用基板に形成された複数のＬＥＤ素子を回路基板に押圧することで、複数のＬＥＤ素子を回路基板に一括して転写することが検討されている。このような場合、ＬＥＤ素子が形成された成長用基板に生じた反りは、回路基板へのＬＥＤ素子の均一な転写を困難にしてしまう。そのため、成長用基板の反りを抑制する、又はＬＥＤ素子の転写時に成長用基板の反りを矯正することが求められている。
【０００５】
例えば、下記の特許文献１には、サファイア基板上に化合物半導体を結晶成長させる際に、サファイア基板の両主面に溝を設けることでサファイア基板に生じる反りを抑制する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０００－１７４３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記の特許文献１に開示された技術では、ＬＥＤ素子の転写時に、基板の両主面に設けられた溝によって応力集中が発生するため、成長用基板であるサファイア基板を均一に押圧することが困難であった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、ウエハに生じた反りをＬＥＤ素子の転写時により容易に矯正することが可能な、新規かつ改良された転写ウエハ、及びＬＥＤ素子の転写方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下の支持基板と、前記支持基板の一主面に所定の配列で設けられた複数のＬＥＤ素子と、を備え、回路基板への複数の前記ＬＥＤ素子の一括転写に用いられる、転写ウエハが提供される。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下の支持基板の一主面に所定の配列で複数のＬＥＤ素子を形成するステップと、複数の前記ＬＥＤ素子を回路基板へ一括で転写するステップと、を含む、ＬＥＤ素子の転写方法が提供される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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