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公開番号2025015115
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023118272
出願日2023-07-20
発明の名称太陽電池製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類H10F 10/00 20250101AFI20250123BHJP()
要約【課題】熱処理の終了点を適切に判定でき、光電変換効率が高い太陽電池を製造できる太陽電池製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る太陽電池製造方法は、第1の導電型を有する半導体基板と、半導体基板の一方の主面に分離して積層され、第1の導電型を有する複数の第1半導体層と、半導体基板に第1半導体層と相補的に積層される第2半導体層と、第1半導体層にそれぞれ積層される複数の第1透明電極層と、第2半導体層に積層される第2透明電極層と、第1透明電極層にそれぞれ積層される複数の第1金属電極と、第2透明電極層に積層される第2金属電極と、を備える太陽電池の製造方法であって、半導体基板に第1半導体層、第2半導体層、第1透明電極層、第2透明電極層、第1金属電極および第2金属電極を積層した中間製品を熱処理する工程を備え、複数の第1金属電極の間の電気抵抗に基づいて熱処理の終了を判定する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１の導電型を有する半導体基板と、
前記半導体基板の一方の主面に分離して積層され、第１の導電型を有する複数の第１半導体層と、
前記半導体基板に前記第１半導体層と相補的に積層される第２半導体層と、
前記第１半導体層にそれぞれ積層される複数の第１透明電極層と、
前記第２半導体層に積層される第２透明電極層と、
前記第１透明電極層にそれぞれ積層される複数の第１金属電極と、
前記第２透明電極層に積層される第２金属電極と、
を備える太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板に前記第１半導体層、前記第２半導体層、前記第１透明電極層、前記第２透明電極層、前記第１金属電極および第２金属電極を積層した中間製品を熱処理する工程を備え、
複数の前記第１金属電極の間の電気抵抗に基づいて前記熱処理の終了を判定する、太陽電池製造方法。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記第１金属電極の間の距離と電気抵抗との関係の近似直線に基づいて前記熱処理の終了を判定する、請求項１に記載の太陽電池製造方法。
【請求項３】
前記近似直線の切片が極小値を記録したと判断される場合に前記熱処理を終了する、請求項２に記載の太陽電池製造方法。
【請求項４】
前記熱処理する工程は、
前記中間製品を所定の基本加熱条件で加熱する工程と、
前記第１金属電極の間の電気抵抗を測定する工程と、
前記第１金属電極の間の電気抵抗の測定値に基づいて前記中間製品のさらなる加熱が必要か否かを判定する工程と、
前記中間製品のさらなる加熱が必要と判定された場合に、前記中間製品を所定の追加加熱条件で加熱する工程と、
を含む、請求項１から３のいずれかに記載の太陽電池製造方法。
【請求項５】
前記追加加熱条件での加熱は、エネルギー線の照射により行う、請求項４に記載の太陽電池製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
金属粒子を含むインキまたはペーストを加熱することによって太陽電池の電極を形成する技術が知られている。例えば特許文献１には、ペーストの熱処理の温度および時間を最適化することにより、ペーストが反射防止被覆に浸透して、半導体基板と機械的に付着し、低抵抗の電気的接点を形成できることが開示されている。このような太陽電池の電極の形成においては、加熱時間が短すぎても、長すぎても、太陽電池の最大の性能を実現することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表平０６－５００６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ペーストの熱処理の最適な条件は、ペーストが塗布される膜およびペーストの状態、雰囲気の温度湿度等によって異なり得る。このため、同じ製造設備で同じ製品を繰り返し製造する場合であっても、過去の実績に基づいて加熱温度および加熱時間を定める手法では、熱処理の条件を最適に保つことが難しい。このため、本発明は、熱処理の終了点を適切に判定でき、光電変換効率が高い太陽電池を製造できる太陽電池製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係る太陽電池製造方法は、第１の導電型を有する半導体基板と、前記半導体基板の一方の主面に分離して積層され、第１の導電型を有する複数の第１半導体層と、前記半導体基板に前記第１半導体層と相補的に積層される第２半導体層と、前記第１半導体層にそれぞれ積層される複数の第１透明電極層と、前記第２半導体層に積層される第２透明電極層と、前記第１透明電極層にそれぞれ積層される複数の第１金属電極と、前記第２透明電極層に積層される第２金属電極と、を備える太陽電池の製造方法であって、前記半導体基板に前記第１半導体層、前記第２半導体層、前記第１透明電極層、前記第２透明電極層、前記第１金属電極および第２金属電極を積層した中間製品を熱処理する工程を備え、複数の前記第１金属電極の間の電気抵抗に基づいて前記熱処理の終了を判定する。
【０００６】
上述の太陽電池製造方法において、前記第１金属電極の間の距離と電気抵抗との関係の近似直線に基づいて前記熱処理の終了を判定してもよい。
【０００７】
上述の太陽電池製造方法において、前記近似直線の切片が極小値を記録したと判断される場合に前記熱処理を終了する、請求項２に記載の太陽電池製造方法。
【０００８】
上述の太陽電池製造方法において、前記熱処理する工程は、前記中間製品を所定の基本加熱条件で加熱する工程と、前記第１金属電極の間の電気抵抗を測定する工程と、前記第１金属電極の間の電気抵抗の測定値に基づいて前記中間製品のさらなる加熱が必要か否かを判定する工程と、前記中間製品のさらなる加熱が必要と判定された場合に、前記中間製品を所定の追加加熱条件で加熱する工程と、を含んでもよい。
【０００９】
上述の太陽電池製造方法において、前記追加加熱条件での加熱は、エネルギー線の照射により行ってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、熱処理の終了点を適切に判定でき、光電変換効率が高い太陽電池を製造できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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