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公開番号2025019465
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-07
出願番号2023123089
出願日2023-07-28
発明の名称データ書込装置、方法及びプログラム
出願人株式会社東芝,東芝インフラシステムズ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01R 31/28 20060101AFI20250131BHJP(測定;試験)
要約【課題】COTを用いて半導体チップの製造あるいは検査を行うデータ書込装置の製造コストを低減し、データ書込装置の取り扱いに熟練を要しないデータ書込装置、方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】実施形態のデータ書込装置は、COTに載置された複数のICモジュールにデータ書込を行うデータ書込装置であり、前記ICモジュールの端子を介してデータ書込を行う書込装置と、前記COTを所定位置に保持した状態で、前記COTに対して相対的に前記データ書込装置を移動可能な駆動装置と、前記駆動装置により前記COTに対して相対的に移動している状態で前記ICモジュールの載置位置を検出する検出部と、検出した前記載置位置に基づいて、前記書込装置を所定方向に動作させて前記ICモジュールの端子に電気的に接続させる動作機構と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ＣＯＴに載置された複数のＩＣモジュールにデータ書込を行うデータ書込装置において、
前記ＩＣモジュールの端子を介してデータ書込を行う書込装置と、
前記ＣＯＴを所定位置に保持した状態で、前記ＣＯＴに対して相対的に当該データ書込装置を移動可能な駆動装置と、
前記駆動装置により前記ＣＯＴに対して相対的に移動している状態で前記ＩＣモジュールの載置位置を検出する検出部と、
検出した前記載置位置に基づいて、前記書込装置を所定方向に動作させて前記ＩＣモジュールの端子に電気的に接続させる動作機構と、
を備えたデータ書込装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記駆動装置は、車輪、ロボットアームあるいはロボット脚を備えて構成されている、
請求項１記載のデータ書込装置。
【請求項３】
前記駆動装置は、ロボット脚であり、
前記ロボット脚は、曲げ伸ばしにより前記動作機構として機能する、
請求項１記載のデータ書込装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記ＣＯＴの撮像を行うカメラユニットと、
前記カメラユニットの撮像データに基づいて、前記ＩＣモジュールの載置位置を検出するコントローラと、
を備えた請求項１記載のデータ書込装置。
【請求項５】
前記検出部は、前記ＣＯＴのスプロケットホールが設けられている領域及び前記ＩＣモジュールが設けられている領域を矩形領域として検出する、
請求項１に記載のデータ書込装置。
【請求項６】
前記ＣＯＴを前記所定位置に搬送する搬送機構と、
前記ＣＯＴを前記所定位置で保持する保持ユニットと、
を備えた、
請求項１に記載のデータ書込装置。
【請求項７】
前記搬送機構は、前記ＣＯＴを前記保持ユニットにより保持させるに際し、前記ＣＯＴに所定の張力をかけた状態とする、
請求項６記載のデータ書込装置。
【請求項８】
ＣＯＴに載置された複数のＩＣモジュールに書込装置によりデータ書込を行うデータ書込装置において実行される方法であって、
前記ＣＯＴを所定位置に保持した状態で、前記ＣＯＴに対して相対的に当該データ書込装置を移動させる過程と、
前記データ書込装置が前記ＣＯＴに対して相対的に移動している状態で前記ＩＣモジュールの載置位置を検出する過程と、
検出した前記載置位置に基づいて、前記書込装置を所定方向に動作させて前記ＩＣモジュールの端子に電気的に接続させる過程と、
前記ＩＣモジュールの端子を介してデータ書込を行う過程と、
を備えた方法。
【請求項９】
ＣＯＴに載置された複数のＩＣモジュールに書込装置によりデータ書込を行うとともに、前記ＣＯＴを所定位置に保持した状態で、前記ＣＯＴに対して相対的に当該データ書込装置を移動可能な駆動装置を備えたデータ書込装置をコンピュータにより制御するためのプログラムにおいて、
前記コンピュータを、
前記駆動装置を制御して、前記ＣＯＴを所定位置に保持した状態で、前記ＣＯＴに対して相対的に前記データ書込装置を移動させる手段と、
前記データ書込装置が前記ＣＯＴに対して相対的に移動している状態で前記ＩＣモジュールの載置位置を検出する手段と、
検出した前記載置位置に基づいて、前記書込装置を所定方向に動作させて前記ＩＣモジュールの端子に電気的に接続させる手段と、
前記ＩＣモジュールの端子を介して前記書込装置によりデータ書込を行う手段と、
を備えたプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、データ書込装置、方法及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、データ書込装置として、ＬＳＩ実装など製造工程における作業を効率的に進めるため、半導体チップをスプロケットホールが形成されたテープ状のフィルムに貼り付けたＣＯＴ（Chip On Tape）を用い、ＣＯＴを搬送するＣＯＴ搬送機構を用いて、半導体チップへのデータ書込及び検査を行うデータ書込／検査装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－００５２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のデータ書込／検査装置においては、過大な張力によるテープ断裂を防ぐためＣＯＴ搬送機構として、スプロケットホールに噛合する歯車、巻取モータ、張力制御装置等を備えた搬送機構が必要とされていた。
このため、搬送機構の構造が複雑化し、製造コストが増大するとともに、搬送機構にＣＯＴを取り付ける取付作業及び取外作業では熟練した作業者による手作業が必要となり、人的リソース確保にもコストがかかっていた。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ＣＯＴを用いて半導体チップの製造あるいは検査を行うデータ書込装置の製造コストを低減し、データ書込装置の取り扱いに熟練を要しないデータ書込装置、方法及びプログラムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態のデータ書込装置は、ＣＯＴに載置された複数のＩＣモジュールにデータ書込を行うデータ書込装置であり、前記ＩＣモジュールの端子を介してデータ書込を行う書込装置と、前記ＣＯＴを所定位置に保持した状態で、前記ＣＯＴに対して相対的に前記データ書込装置を移動可能な駆動装置と、前記駆動装置により前記ＣＯＴに対して相対的に移動している状態で前記ＩＣモジュールの載置位置を検出する検出部と、検出した前記載置位置に基づいて、前記書込装置を所定方向に動作させて前記ＩＣモジュールの端子に電気的に接続させる動作機構と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態のデータ書込／検査システムの概要構成ブロック図である。
図２は、第１実施形態の書込／検査ユニットにおける製造時及び検査時における外観斜視図である。
図３は、自走ユニットの側面図である。
図４は、自走ユニットの概要構成ブロック図である。
図５は、ＣＯＴの一例の平面図である。
図６は、書込装置及びIＣモジュールの概要構成ブロック図である。
図７は、実施形態の処理フローチャートである。
図８は、矩形領域検出状態の説明図である。
図９は、所定の中央領域の検出説明図である。
図１０は、書込装置におけるデータ書き込み時の動作説明図である。
図１１は、ロボットアーム型検査ユニットの外観説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、実施形態のデータ書込／検査システムの概要構成ブロック図である。
データ書込／検査システム１０は、図１に示すように、制御ユニット１１と、書込／検査ユニット１２と、ＣＯＴ搬送／保持装置１３と、を備えている。
【０００９】
制御ユニット１１は、いわゆるコンピュータとして構成され、データ書込／検査システム１０全体の制御を行う。
書込／検査ユニット１２は、データ書込装置として機能しＣＯＴ搬送／保持装置１３により保持されているＣＯＴ３０上のＩＣモジュールにデータを書き込むとともに、書き込んだデータの検査を行う。
この書込／検査ユニット１２の詳細については、後に詳述するものとする。
【００１０】
ＣＯＴ搬送／保持装置１３は、ＣＯＴ３０の巻き取り及び巻き戻しを行うとともに、ＣＯＴ３０のうち検査対象の部分に所定のテンションをかけた状態で保持し、書込／検査ユニット１２によるデータ書込及び検査を確実に行わせる。
（【００１１】以降は省略されています）

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