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公開番号2025016056
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023119071
出願日2023-07-21
発明の名称キャンドモータポンプ
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類F04D 13/06 20060101AFI20250124BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】液体によるモータ部の循環流を効率よく形成することができるキャンドモータポンプが提供される。
【解決手段】キャンドモータポンプ1は、回転軸5を備えている。回転軸5は、回転軸5の軸方向に延びる軸方向連通穴5aと、軸方向連通穴5aに接続された半径方向連通穴50と、を有している。半径方向連通穴50は、羽根車室41に連通している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
回転軸と、
前記回転軸に取り付けられた羽根車と、
前記回転軸の先端側に配置された羽根車室を有するポンプケーシングと、
前記回転軸を回転するモータと、を備え、
前記回転軸は、
前記回転軸の軸方向に延びる軸方向連通穴と、
前記軸方向連通穴に接続された半径方向連通穴と、を有しており、
前記半径方向連通穴は、前記羽根車室に連通している、キャンドモータポンプ。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
前記半径方向連通穴を第１半径方向連通穴と定義した場合、
前記回転軸は、その中心に関して、前記第１半径方向連通穴の反対側に配置された第２半径方向連通穴を有している、請求項１に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項３】
前記羽根車は、前記半径方向連通穴に接続された液体流出穴を有している、請求項１に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項４】
前記液体流出穴を第１液体流出穴と定義した場合、
前記羽根車は、その中心に関して、前記第１液体流出穴の反対側に配置された第２液体流出穴を有している、請求項３に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項５】
前記羽根車は、
前記回転軸に接続されたボス部と、
前記ボス部から外側に延びる主板部と、を有しており、
前記液体流出穴は、前記ボス部に形成されている、請求項３に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項６】
前記液体流出穴は、前記主板部よりも前記回転軸の先端側に配置されている、請求項５に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項７】
前記キャンドモータポンプは、前記羽根車の周縁部に形成された複数の放射溝を取り囲む渦流室を有する渦流式キャンドモータポンプである、請求項１に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項８】
前記モータは、
永久磁石を有するロータと、
前記ロータを取り囲むステータと、を備えている、請求項１に記載のキャンドモータポンプ。
【請求項９】
前記キャンドモータポンプは、
前記ロータを覆うロータキャンと、
前記ロータと前記ステータとの間に配置されたステータキャンと、を備えており、
前記ロータキャンおよび前記ステータキャンのうちの少なくとも１つは、非磁性材料から構成されている、請求項８に記載のキャンドモータポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャンドモータポンプに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
キャンドモータポンプは、その内部を循環する液体でモータを冷却する構造を有している（例えば、特許文献１参照）。キャンドモータポンプに吸い込まれた液体の一部は、モータ部に導入される。モータ部に導入された液体は、モータ部の内部を循環することにより、モータを冷却しつつ、すべり軸受を潤滑する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２２／０５９７０９号
特開２０２０－１３９４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ロータの攪拌損、キャン損、ロータの渦電流損などに起因する発熱に加えて、ステータの巻線などの発熱により、モータ部に導入された液体は、温度上昇する。したがって、モータ部における液体の循環流が適切に形成されないと、軸受の潤滑不良が生じてしまい、結果として、軸受は、摩耗し、破損するおそれがある。
【０００５】
モータ部における液体の温度上昇を抑えるためには、液体の循環流を積極的に形成することが重要である。特に、モータ部の全体を循環する液体の循環流を形成することが重要である。例えば、このような液体の循環流は、ロータとステータとの間の狭小空間に液体を流入させた後、回転軸に形成された貫通穴を通じて、液体を羽根車室に戻す流れである。
【０００６】
しかしながら、狭小空間に流入する液体は、回転するロータによって、はじき飛ばされてしまい、スムーズに狭小空間を通過することができないおそれがある。さらに、モータ部の全体を循環する液体の循環流は、長い流路を有している。したがって、液体の循環流を適切に形成されないおそれがある。
【０００７】
このような問題を解決するために、ロータの回転速度を小さくすることが考えられる。ロータの回転速度を小さくすることにより、液体に作用する遠心力を小さくしたり、ロータの攪拌損、キャン損などに起因する発熱を抑えることができる。
【０００８】
しかしながら、ロータの回転速度を小さくするためには、大型のキャンドモータポンプを採用しなければならず、キャンドモータポンプの小型化を実現することが困難である。特に、半導体製造装置などの装置の温度調整に用いられるポンプ装置は、小水量・高揚程で、かつ極力、小型であることが求められる。
【０００９】
そこで、本発明は、液体によるモータ部の循環流を効率よく形成することができるキャンドモータポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一態様では、回転軸と、前記回転軸に取り付けられた羽根車と、前記回転軸の先端側に配置された羽根車室を有するポンプケーシングと、前記回転軸を回転するモータと、を備えるキャンドモータポンプが提供される。前記回転軸は、前記回転軸の軸方向に延びる軸方向連通穴と、前記軸方向連通穴に接続された半径方向連通穴と、を有しており、前記半径方向連通穴は、前記羽根車室に連通している。
（【００１１】以降は省略されています）

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