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公開番号2025015232
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023118507
出願日2023-07-20
発明の名称研磨装置及び研磨方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人矢野内外国特許事務所
主分類B24B 7/24 20060101AFI20250123BHJP(研削;研磨)
要約【課題】板状物を搬送しながら研磨する研磨装置、及び当該研磨装置を用いた研磨方法であって、高精度な研磨加工を可能とし、且つランニングコストの低減を図ることができる研磨装置、及び研磨方法を提供する。
【解決手段】板状物Gを搬送しながら研磨する研磨装置1であって、板状物Gの下面Ga2(一方の主面Ga)を支持した状態で当該板状物Gを搬送する搬送ベルト23と、前記板状物Gの搬送方向に延出し、当該搬送ベルト23を介して前記板状物Gの一方の主面Gaを支持する板状の支持部材24と、前記板状物Gの上面Ga1(他方の主面Ga)を研磨する研磨部(研磨手段)3とを備え、前記搬送ベルト23は、前記支持部材24上を摺動し、前記支持部材24との摺動側の面において保護膜Zを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を搬送しながら研磨する研磨装置であって、
板状物の一方の主面を支持した状態で当該板状物を搬送する搬送ベルトと、
前記板状物の搬送方向に延出し、当該搬送ベルトを介して前記板状物の一方の主面を支持する板状の支持部材と、
前記板状物の他方の主面を研磨する研磨手段とを備え、
前記搬送ベルトは、前記支持部材上を摺動し、前記支持部材との摺動側の面において保護膜を有する、
ことを特徴とする研磨装置。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記搬送ベルトは、樹脂製部材からなる、
ことを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記保護膜は、金属の酸化被膜及び／または金属膜である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記支持部材は、金属からなり、
前記保護膜は、当該金属を含む酸化被膜及び／または金属膜である、
ことを特徴とする、請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備え、
前記洗浄水の塩素濃度は、１０ｐｐｍ以上である、
ことを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、
研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨する研磨方法であって、
前記支持部材上を摺動し、当該支持部材との摺動側の面に、金属の酸化被膜及び／または金属膜からなる保護膜を有する前記搬送ベルトによって、前記板状物を搬送する、
ことを特徴とする研磨方法。
【請求項７】
支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、
研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨しつつ、
前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備える研磨方法であって、
前記洗浄水の塩素濃度が１０ｐｐｍ以上である、
ことを特徴とする研磨方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば薄板ガラス等からなる板状物の研磨装置、及び当該研磨装置を用いた板状物の研磨方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、薄板ガラス等からなる板状物の製造工程において、形成された板状物の平滑性を高めるために当該板状物の主面を研磨（または研削）する研磨装置の一例として、例えば、水平姿勢の状態で複数の板状物を一方向に搬送しながら、各板状物を連続して研磨する研磨装置が知られている（例えば、「特許文献１」を参照）。
上記研磨装置は、主に、水平方向且つ一方向を搬送方向とする無端状のコンベアベルト（搬送ベルト）と、当該搬送方向に延出し、上面において搬送ベルトの上部領域が摺動するベルト受台（支持部材）と、搬送ベルトの直上に配置される研磨工程（研磨手段）とを備えている。
また、研磨手段は、軸心方向を上下方向とするディスク状の回転研磨具（研磨パッド）と、当該研磨パッドに対して所定の研磨剤を供給可能な供給手段とを有し、当該研磨パッドは、軸心を中心にして回転可能、且つ上下移動可能に構成されている。
【０００３】
そして、搬送ベルトは、搬送方向に移動する上記の上部領域（以下、適宜「搬送経路」と記載）と、当該搬送方向との逆方向に移動する下部領域（以下、適宜「リターン経路」と記載）とを有しており、複数の板状物は、当該搬送経路上に水平姿勢の状態で載置されて順に搬送されるとともに、研磨手段を通過する際、回転する研磨パッドを上方より押し当てられる。
これにより、複数の板状物は、研磨装置によって、一方向に搬送されながら順に研磨される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１０－１１８９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで前述したように、従来の研磨装置においては、支持部材の上面を摺動する搬送ベルトの搬送経路（上部領域）によって板状物が搬送されるとともに、当該板状物は、研磨装置を通過する際、研磨パッドを上方より押し当てられる。つまり、搬送ベルトの搬送経路は、板状物を介して研磨パッドによって加圧される。
従って、搬送ベルトの搬送経路と、支持部材との間の摩擦抵抗は増加し、当該搬送ベルトにおいて摩耗が発生し易くなる。
その結果、所望の強度が維持できなくなり、搬送ベルトの交換が必要となる交換周期が早まり、研磨装置のランニングコストが増大する要因となっていた。
【０００６】
本発明は、以上に示した現状の問題点に鑑みてなされたものであり、板状物を搬送しながら研磨する研磨装置、及び当該研磨装置を用いた研磨方法であって、ランニングコストの低減を図ることができる研磨装置、及び研磨方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
即ち、本発明の態様１に係る研磨装置は、板状物を搬送しながら研磨する研磨装置であって、板状物の一方の主面を支持した状態で当該板状物を搬送する搬送ベルトと、前記板状物の搬送方向に延出し、当該搬送ベルトを介して前記板状物の一方の主面を支持する板状の支持部材と、前記板状物の他方の主面を研磨する研磨手段とを備え、前記搬送ベルトは、前記支持部材上を摺動し、前記支持部材との摺動側の面において保護膜を有することを特徴とする。
このような構成を有することにより、本発明に係る研磨装置によれば、支持部材上を摺動する搬送ベルトにおいて、摺動側の面に保護膜を設けることにより、当該搬送ベルトの搬送経路と、支持部材との間の摩擦抵抗は軽減し、当該搬送ベルトにおいて摩耗を抑制することができる。
従って、搬送ベルトにおける所望の強度を維持し、当該搬送ベルトの交換周期を延長することができ、研磨装置のランニングコストの低減を図ることができる。
【０００９】
また、本発明の態様２に係る研磨装置は、上記態様１において、前記搬送ベルトは、樹脂製部材からなることを特徴とする。
このような構成を有することにより、板状物を傷付けることなく、当該板状物との間で生じる適度な摩擦力により安定して保持しつつ、搬送ベルトによって板状物を搬送することができる。
【００１０】
また、本発明の態様３に係る研磨装置は、上記態様１または態様２において、前記保護膜は、金属の酸化被膜及び／または金属膜であることを特徴とする。
このような構成を有することにより、搬送ベルトにおける摺動側の面と、支持部材との間の摩擦抵抗を軽減し、当該搬送ベルトに生じる摩耗をより確実に抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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