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公開番号2025010673
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023112778
出願日2023-07-10
発明の名称スクロール式真空ポンプ
出願人株式会社アンレット
代理人個人,個人
主分類F04C 18/02 20060101AFI20250116BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】動力の摺動損失がなく低動力で運転でき、また面倒なチップシールの交換作業を省略できるスクロール式真空ポンプ10を提供すること。
【解決手段】旋回ラップ15aの先端面と固定ラップ16aの先端面にラビリンス溝15cを形成する。固定ラップ16aと旋回端板15bの間及び旋回ラップ15aと固定端板16bの間を非接触でシールできるので動力の摺動損失がなく、低動力で運転でき、また面倒なチップシールの交換作業を省略できる。ラビリンス溝15c、16cの断面形状を三角形にする。ラビリンス溝15c、16cの内面にモリブデン系潤滑被膜を所要の厚みで均一に形成できる。そして、この膜厚を調整することにより、固定ラップ16aと旋回端板15bのクリアランス及び旋回ラップ15aと固定端板16bのクリアランスを調整し閉鎖空間10aのシール性を高めることができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ケーシングと、偏心軸部が設けられケーシングに回転可能に組付けたシャフトと、
渦巻き状で所定の高さを有する固定ラップを固定端板に立設した構造を有する固定スクロールと、
渦巻き状で所定の高さを有する旋回ラップを旋回端板に立設した構造を有する旋回スクロールを備え、
ケーシングに固定スクロールを固定し、
偏心軸部に旋回スクロールを一体に連結し、
固定ラップと旋回ラップを噛み合わせて固定ラップと固定端板と旋回ラップ及び旋回端板で閉鎖空間を区画形成し、
モータでシャフトを回転させたとき旋回スクロールが自転することなく公転するように旋回スクロールの自転防止機構を設け、
シャフトの回転に伴い閉鎖空間が固定スクロールの外周側に設けられた吸入ポートから固定スクロールの中心部に設けられた吐出ポートに向けて移動し、
閉鎖空間の移動に伴い吸入ポートから外気が閉鎖空間内に吸引されるとともに閉鎖空間が縮小して閉鎖空間内の空気が圧縮され、圧縮された空気が吐出ポートから吐出されるようにしたスクロール式真空ポンプであって、
固定端板に対向する旋回ラップの先端面及び旋回端板に対向する固定ラップの先端面に、三角形の断面形状を有する複数本のラビリンス溝を形成し、
ラビリンス溝が形成された旋回ラップの先端面及び固定ラップの先端面並びに旋回ラップの先端面が対向する固定端板の表面及び固定ラップの先端面が対向する旋回端板の表面にモリブデン系潤滑被膜を膜厚１０～１００μｍで形成したことを特徴とするスクロール式真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はスクロール式真空ポンプに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特開平７-３３２２６９号公報、特開２００７-１３２２２０号公報、特開２０１６-３７９３７号公報等に開示されているスクロール式真空ポンプ１００を図７に示す。当該スクロール式真空ポンプ１００のケーシング１０１には偏心軸部１０２が回転可能に組付けられ、モータの駆動軸(図示略)に連結されている。
【０００３】
偏心軸部１０２には旋回スクロール１０３が連結されている。この旋回スクロール１０３は円盤状の旋回端板１０４に渦巻き状で所定の高さを有する旋回ラップ１０５を立設した構造を備えている。
【０００４】
ケーシング１０１には固定スクロール１０６が固定されている。固定スクロール１０６は円盤状の固定端板１０７に渦巻き状で所定の高さを有する固定ラップ１０８を立設した構造を備えている。
【０００５】
固定スクロール１０６と旋回スクロール１０３は固定ラップ１０８と旋回ラップ１０５が噛み合うようにケーシング１０１に組付けられ、固定端板１０７と固定ラップ１０８及び旋回端板１０４と旋回ラップ１０５で閉鎖空間１０９が区画形成されている。
【０００６】
また、ケーシング１０１にはモータで偏心軸部１０２を回転させたとき旋回スクロール１０３が自転することなく公転するように旋回スクロールの自転防止機構１１０が設けられている。
【０００７】
従来のスクロール式真空ポンプ１００によれば、偏心軸部１０２の回転に伴い閉鎖空間１０９が、固定スクロール１０６の外周部に設けられた吸入ポート１１１から固定スクロール１０６の中心部に設けられた吐出ポート１１２に向けて移動し、移動に伴い吸入ポート１１１から外気が閉鎖空間１０９内に吸引されるとともに閉鎖空間１０９が縮小して閉鎖空間１０９内の空気が圧縮され、圧縮された空気が吐出ポート１１２から吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開平７-３３２２６９号公報
特開２００７-１３２２２０号公報
特開２０１６-３７９３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記した従来のスクロール式真空ポンプ１００では、閉鎖空間１０９の密閉性を高めるため、旋回ラップ１０５の先端面と固定ラップ１０８の先端面にチップシール１１３,１１４を取り付け、チップシール１１３，１１４をそれぞれ旋回端板１０４と固定端板１０７に圧接している。旋回スクロール１０３はこのチップシール１１３，１１４を固定端板１０７や旋回端板１０４に摺接させながら回転するので、動力の摺動損失が発生する。
またチップシール１１３，１１４が徐々に摩耗するので、定期的に稼働を停止して面倒な交換作業を行う必要があり、稼働効率が悪い。
本発明はかかる問題点に鑑み、動力の摺動損失がなく低動力で運転でき、また面倒なチップシールの交換作業を省略できるスクロール式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、ケーシングと、偏心軸部が設けられケーシングに回転可能に組付けたシャフトと、
渦巻き状で所定の高さを有する固定ラップを固定端板に立設した構造を有する固定スクロールと、
渦巻き状で所定の高さを有する旋回ラップを旋回端板に立設した構造を有する旋回スクロールを備え、
ケーシングに固定スクロールを固定し、
偏心軸部に旋回スクロールを一体に連結し、
固定ラップと旋回ラップを噛み合わせて固定ラップと固定端板と旋回ラップ及び旋回端板で閉鎖空間を区画形成し、
モータでシャフトを回転させたとき旋回スクロールが自転することなく公転するように旋回スクロールの自転防止機構を設け、
シャフトの回転に伴い閉鎖空間が固定スクロールの外周側に設けられた吸入ポートから固定スクロールの中心部に設けられた吐出ポートに向けて移動し、
閉鎖空間の移動に伴い吸入ポートから外気が閉鎖空間内に吸引されるとともに閉鎖空間が縮小して閉鎖空間内の空気が圧縮され、圧縮された空気が吐出ポートから吐出されるようにしたスクロール式真空ポンプであって、
固定端板に対向する旋回ラップの先端面及び旋回端板に対向する固定ラップの先端面に、三角形の断面形状を有する複数本のラビリンス溝を形成し、
ラビリンス溝が形成された旋回ラップの先端面及び固定ラップの先端面並びに旋回ラップの先端面が対向する固定端板の表面及び固定ラップの先端面が対向する旋回端板の表面にモリブデン系潤滑被膜を膜厚１０～１００μｍで形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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