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公開番号2025006217
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023106880
出願日2023-06-29
発明の名称基板保持体
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250109BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ヒータにおける発熱回路の位置ずれを抑制することができる基板保持体を提供する。
【解決手段】基板が載置される上面を有するプレートと、前記プレートと平行に配置されたシート状のヒータと、前記プレートと前記ヒータとを締結する締結部材と、を備え、前記ヒータは、第一絶縁シートおよび第二絶縁シートと、前記第一絶縁シートおよび前記第二絶縁シートのいずれとも非接着の状態で、前記第一絶縁シートと前記第二絶縁シートとの間に挟まれた発熱回路と、を有し、前記発熱回路は、前記ヒータの外周縁に沿う方向に延びるメイン配線部と、前記メイン配線部の延びる方向と交わる方向に延びるアンカー配線部と、を有する、基板保持体。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板が載置される上面を有するプレートと、
前記プレートと平行に配置されたシート状のヒータと、
前記プレートと前記ヒータとを締結する締結部材と、を備え、
前記ヒータは、
第一絶縁シートおよび第二絶縁シートと、
前記第一絶縁シートおよび前記第二絶縁シートのいずれとも非接着の状態で、前記第一絶縁シートと前記第二絶縁シートとの間に挟まれた発熱回路と、を有し、
前記発熱回路は、
前記ヒータの外周縁に沿う方向に延びるメイン配線部と、
前記メイン配線部の延びる方向と交わる方向に延びるアンカー配線部と、を有する、
基板保持体。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記アンカー配線部は、前記メイン配線部から分岐すると共に電流が流れない分岐配線である、請求項１に記載の基板保持体。
【請求項３】
前記分岐配線は、環状または環状の一部が欠けたＣ字状の第一部分を有する、請求項２に記載の基板保持体。
【請求項４】
前記分岐配線は、前記メイン配線部から離れて配置された前記第一部分と、前記メイン配線部と前記第一部分との間を接続する第二部分とを有する、請求項３に記載の基板保持体。
【請求項５】
前記第二部分の幅は、前記メイン配線部の幅よりも小さい、請求項４に記載の基板保持体。
【請求項６】
前記締結部材は、前記ヒータの外周縁に沿って間隔をあけて配置され、
前記分岐配線は、隣り合う前記締結部材の間の中央部に配置されている、請求項２または請求項３に記載の基板保持体。
【請求項７】
前記ヒータは、前記上面からみて多角形状であり、
前記メイン配線部は、前記ヒータの外周縁を構成する辺に沿った配線部を有し、
前記分岐配線は、前記配線部から分岐する、請求項２または請求項３に記載の基板保持体。
【請求項８】
前記ヒータは、前記上面からみて円形状であり、
前記メイン配線部は、前記ヒータの外周縁を構成する円周に沿った配線部を有し、
前記分岐配線は、前記配線部から分岐する、請求項２または請求項３に記載の基板保持体。
【請求項９】
前記アンカー配線部は、前記ヒータの外周縁に沿う方向と交わる方向に振幅する蛇行配線であり、
前記蛇行配線は、前記メイン配線部の間に配置されると共に電流が流れる、請求項１に記載の基板保持体。
【請求項１０】
前記ヒータは、前記上面からみて多角形状であり、
前記メイン配線部は、前記ヒータの外周縁の角を構成する第一辺および第二辺に沿ってそれぞれ配置された第一配線部および第二配線部を有し、
前記蛇行配線は、前記第一配線部と前記第二配線部とをつなぐ角部に配置されている、請求項９に記載の基板保持体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板保持体に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウエハが載置される上面を有するウエハ保持板と、ウエハ保持板を加熱するヒータとを備えるウエハ加熱装置を開示する。このヒータは、絶縁体によって構成される基材と、抵抗発熱体によって構成される回路パターンとを備える。絶縁体は、絶縁性樹脂である。抵抗発熱体は、通電によって発熱する金属である。ヒータは、例えば、２枚の絶縁シートの間に回路パターンが挟み込まれた構造である。回路パターンは、例えば、ステンレス鋼の箔をエッチングすることによって形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１６９００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記ウエハ加熱装置は、ヒータによってウエハ保持板を加熱して、ウエハ保持板の上面に載置されたウエハを加熱する。ヒータの使用中、回路パターンに電流が流れることにより、回路パターンが発熱する。回路パターンの温度が上昇することにより、回路パターンが膨張する。回路パターンが絶縁シートと接着されていない場合、回路パターンの温度上昇に伴う膨張により、絶縁シートに対して回路パターンの位置ずれが生じることがある。回路パターンの位置がずれると、ウエハ保持板の上面の温度が均一にならないおそれがある。
【０００５】
本開示は、ヒータにおける発熱回路の位置ずれを抑制することができる基板保持体を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の基板保持体は、
基板が載置される上面を有するプレートと、
前記プレートと平行に配置されたシート状のヒータと、
前記プレートと前記ヒータとを締結する締結部材と、を備え、
前記ヒータは、
第一絶縁シートおよび第二絶縁シートと、
前記第一絶縁シートおよび前記第二絶縁シートのいずれとも非接着の状態で、前記第一絶縁シートと前記第二絶縁シートとの間に挟まれた発熱回路と、を有し、
前記発熱回路は、
前記ヒータの外周縁に沿う方向に延びるメイン配線部と、
前記メイン配線部の延びる方向と交わる方向に延びるアンカー配線部と、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の基板保持体は、ヒータにおける発熱回路の位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態１に係る基板保持体の構成を示す概略断面図である。
図２は、実施形態１に係る基板保持体に備えるヒータの断面を拡大して示す概略断面図である。
図３は、実施形態１に係る基板保持体が備えるヒータの概略平面図である。
図４は、図３の破線で囲まれる部分を拡大して示す概略平面図である。
図５Ａは、分岐配線の変形例の一例を示す概略平面図である。
図５Ｂは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図５Ｃは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図５Ｄは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図５Ｅは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図５Ｆは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図５Ｇは、分岐配線の変形例の別の例を示す概略平面図である。
図６は、ヒータの平面形状が円形状である場合の発熱回路を構成するメイン配線部を拡大して示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
【００１０】
（１）本開示の基板保持体は、
基板が載置される上面を有するプレートと、
前記プレートと平行に配置されたシート状のヒータと、
前記プレートと前記ヒータとを締結する締結部材と、を備え、
前記ヒータは、
第一絶縁シートおよび第二絶縁シートと、
前記第一絶縁シートおよび前記第二絶縁シートのいずれとも非接着の状態で、前記第一絶縁シートと前記第二絶縁シートとの間に挟まれた発熱回路と、を有し、
前記発熱回路は、
前記ヒータの外周縁に沿う方向に延びるメイン配線部と、
前記メイン配線部の延びる方向と交わる方向に延びるアンカー配線部と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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