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公開番号2025002620
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023102926
出願日2023-06-23
発明の名称保持装置、および基板ユニット
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241226BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】対象物を保持する保持装置において、冷却性能を向上させる他の技術を提供する。
【解決手段】保持装置は、板状に形成され、対象物が載置される載置面を有する保持部と、保持部に対して、載置面とは反対側に配置された基台部と、保持部と基台部との間に配置され、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が保持部と基台部との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層と、を備え、複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する保持装置であって、
板状に形成され、前記対象物が載置される載置面を有する保持部と、
前記保持部に対して、前記載置面とは反対側に配置された基台部と、
前記保持部と前記基台部との間に配置され、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が前記保持部と前記基台部との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層と、
を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっていることを特徴とする、
保持装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持装置であって、
前記複数のカーボンナノチューブは、前記保持部に接していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載の保持装置であって、
前記複数のカーボンナノチューブの一部は、相互に絡み合わず、自身の長手方向が前記保持部と前記基台部との積層方向に沿うように配向していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項４】
請求項１に記載の保持装置であって、
さらに、
前記カーボンナノチューブ層を前記基台部に接着する接着剤層を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、前記接着剤層を貫通して前記基台部に接していることを特徴とする、
保持装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の少なくとも一項に記載の保持装置であって、
さらに、
前記保持部と前記基台部とを機械的に接合する接合部を備えることを特徴とする、
保持装置。
【請求項６】
基板ユニットであって、
第１面と、前記第１面の裏面である第２面とを有する板状のセラミック配線基板と、
前記セラミック配線基板の前記第１面側に搭載される電子部品と、
前記セラミック配線基板の前記第２面側に配置され、前記電子部品の熱を放熱する放熱部材と、
前記セラミック配線基板と前記放熱部材との間、および前記セラミック配線基板と前記電子部品との間の少なくともいずれか一方に配置され、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が前記セラミック配線基板と前記放熱部材との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層と、
を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっていることを特徴とする、
基板ユニット。
【請求項７】
基板ユニットであって、
板状のセラミック配線基板と、
前記セラミック配線基板に搭載される電子部品と、
前記電子部品に積層され、前記電子部品の熱を放熱する放熱部材と、
前記電子部品と前記放熱部材との間、および前記電子部品と前記セラミック配線基板との間の少なくともいずれか一方に配置され、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が前記セラミック配線基板と前記放熱部材との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層と、
を備え、
前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっていることを特徴とする、
基板ユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物を保持する保持装置、および基板ユニットに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する際にウェハ等の対象物を保持する保持装置として、例えば、静電チャックが用いられる。静電チャックは、対象物が載置される保持部と、保持部を支持する基台部と、保持部と基台部とを接合する接合部と、を備える。静電チャックが強いプラズマエネルギーに曝露される環境下や、静電チャックに高電力が入力される環境下で使用される場合、ウェハ載置面は高温になりやすく、ウェハの温度が上昇してしまうため、保持部から基台部へと効率よく熱を伝えることが求められている。
【０００３】
この課題に対し、接合部として、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を用い、カーボンナノチューブを、自身の長手方向が保持部と基台部との積層方向に沿うように配向させる技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１１１６８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載の技術によれば、保持部と基台部との間に、熱伝導率が大きいＣＮＴを用い、ＣＮＴを上記の通り配向することにより、保持部から基台部へと効率よく熱を伝えることができる。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献に記載の技術でも、冷却性能が十分に得られない場合があった。
【０００７】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、対象物を保持する保持装置において、冷却性能を向上させる他の技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００９】
（１）本発明の一形態によれば、対象物を保持する保持装置が提供される。この保持装置は、板状に形成され、前記対象物が載置される載置面を有する保持部と、前記保持部に対して、前記載置面とは反対側に配置された基台部と、前記保持部と前記基台部との間に配置され、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が前記保持部と前記基台部との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層と、を備え、前記複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっている。
【００１０】
カーボンナノチューブの軸方向の熱伝導率は、樹脂や、充填剤により高熱伝導化した高熱伝導樹脂シートと比較して、非常に大きい。この構成の保持装置は、保持部と前記基台部との間に、複数のカーボンナノチューブが自身の長手方向が保持部と基台部との積層方向に略沿うように配置されて成るカーボンナノチューブ層を備えるため、カーボンナノチューブを介して保持部から基台部への熱の移動を促進させることができる。さらに、複数のカーボンナノチューブの少なくとも一部は、相互に絡みあっており、カーボンナノチューブ同士が相互に接触しあっている。そのため、複数のカーボンナノチューブの長さにばらつきがあったとしても、複数のカーボンナノチューブの向きがランダムになることで、全体としての高さを平均化することができ、熱伝導率を平均化することができる。その結果、複数のカーボンナノチューブが相互に絡み合った部分がない場合と比較して、熱伝導率を向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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