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公開番号2024178511
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-25
出願番号2023096682
出願日2023-06-13
発明の名称保持部材および静電チャック
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241218BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】脱粒粒子による凸部やウエハからの更なる脱粒の発生を抑制することができる保持部材および静電チャックを提供する。
【解決手段】対象物を保持する保持部材であって、保持部材は、対象物を保持する側の面である保持面を有し、保持面には、凸部と、凹部と、が形成されており、凸部の頂部を画定している頂面には、溝部が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する保持部材であって、
前記保持部材は、前記対象物を保持する側の面である保持面を有し、
前記保持面には、凸部と、凹部と、が形成されており、
前記凸部の頂部を画定している頂面には、溝部が形成されていることを特徴とする、保持部材。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持部材であって、
少なくとも１つ以上の前記溝部は、前記頂面の端まで伸びていることを特徴とする、保持部材。
【請求項３】
請求項１に記載の保持部材であって、
少なくとも１つ以上の前記溝部は、前記保持面の中心および前記頂面の中心を通る仮想直線に対して直交する方向に伸びた直線状に形成されていることを特徴とする、保持部材。
【請求項４】
請求項１に記載の保持部材であって、
前記保持面と向き合う側から前記保持面を見て、
一の前記凸部および一の前記凸部よりも前記保持面の中心側にある他の前記凸部が配置され、
一の前記凸部の前記頂面に占める前記溝部の合計面積の割合は、他の前記凸部の前記頂面に占める前記溝部の合計面積の割合よりも大きいことを特徴とする、保持部材。
【請求項５】
請求項１に記載の保持部材であって、
前記保持面と向き合う側から前記保持面を見て、前記保持面の中心および前記頂面の中心を通る仮想直線に対して直交する方向に伸びつつ前記頂面の中心を通る仮想垂線で少なくとも一部の前記凸部の前記頂面を２つの領域に分けたとき、前記保持面の中心から遠い側の領域に占める前記溝部の合計面積の割合は、前記保持面の中心に近い側の領域に占める前記溝部の合計面積の割合よりも大きいことを特徴とする、保持部材。
【請求項６】
請求項１に記載の保持部材であって、
少なくとも１つ以上の前記溝部においては、前記溝部の開口縁部の横断面形状がＣ面形状もしくはＲ面形状であることを特徴とする、保持部材。
【請求項７】
請求項１に記載の保持部材であって、
前記保持面と向き合う側から前記保持面を見て、少なくとも１つ以上の前記溝部は、前記保持面の外縁に向かって凸の円弧状に形成されていることを特徴とする、保持部材。
【請求項８】
静電チャックであって、
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の保持部材と、
前記保持面に静電引力を発生させる静電電極と、を備えることを特徴とする、静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持部材および静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
静電引力により対象物であるウエハを保持する保持部材を備えた静電チャックが知られている。特許文献１～３には、保持部材のうち対象物を保持する側の保持面に、ウエハが載置される凸部が形成された静電チャックが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３７８４２７４号公報
特許第４４１７１９７号公報
特開２００２－２２２８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
凸部とウエハとの接触によって凸部もしくはウエハから脱粒が発生することがある。このように発生した脱粒粒子は、凸部とウエハとの間に挟まって応力を集中させることにより、凸部やウエハからの更なる脱粒を促進させる虞がある。この点について、特許文献１～３に開示された静電チャックにおいては、何ら考慮されていない。このため、脱粒粒子による凸部やウエハからの更なる脱粒の発生を抑制できる技術が要望されていた。
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、脱粒粒子による凸部やウエハからの更なる脱粒の発生を抑制することができる保持部材および静電チャックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。
（１）本発明の一形態によれば、保持部材が提供される。この保持部材は、対象物を保持する保持部材であって、前記保持部材は、前記対象物を保持する側の面である保持面を有し、前記保持面には、凸部と、凹部と、が形成されており、前記凸部の頂部を画定している頂面には、溝部が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、凸部の頂部を画定している頂面には、溝部が形成されている。このため、互いに異なる熱膨張率で保持部材およびウエハが熱膨張する際に、凸部の頂面上を転動する脱粒粒子を溝部に落下させることができる。したがって、凸部とウエハとの間を転動する脱粒粒子を除去できることから、脱粒粒子による凸部やウエハからの更なる脱粒の発生を抑制することができる。その結果、保持部材の耐久性を向上することができる。
【０００８】
（２）上記形態の保持部材において、少なくとも１つ以上の前記溝部は、前記頂面の端まで伸びていてもよい。
この構成によれば、溝部に落とされた脱粒粒子を頂面の端から排出することができる。したがって、脱粒粒子の堆積により溝部が埋まるのを抑制することができる。
【０００９】
（３）上記形態の保持部材において、少なくとも１つ以上の前記溝部は、前記保持面の中心および前記頂面の中心を通る仮想直線に対して直交する方向に伸びた直線状に形成されていてもよい。
頂面は概ね仮想直線に沿った方向に熱膨張するため、脱粒粒子が頂面上を転動する方向も概ね仮想直線に沿う。この構成によれば、脱粒粒子を溝部に落下させる可能性を高めることができる。
【００１０】
（４）上記形態の保持部材において、前記保持面と向き合う側から前記保持面を見て、一の前記凸部および一の前記凸部よりも前記保持面の中心側にある他の前記凸部が配置され、一の前記凸部の前記頂面に占める前記溝部の合計面積の割合は、他の前記凸部の前記頂面に占める前記溝部の合計面積の割合よりも大きくてもよい。
保持面と向き合う側から見て保持面のうち中心から離れている位置ほど、保持部材およびウエハが互いに異なる熱膨張率で熱膨張した際の膨張度合の差は必然的に大きくなる。すなわち、保持面の中心から離れている位置にある凸部ほど凸部とウエハとの接触部分での擦れ量が増大することから、多くの脱粒粒子が発生しやすくなる。この構成によれば、他の凸部よりも一の凸部の方がその頂面に占める溝部の合計面積の割合が大きいことから、他の凸部および一の凸部の各々において脱粒粒子の発生量に応じた適切な割合の溝部を頂面に配置することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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