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公開番号2025000575
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-07
出願番号2024094346
出願日2024-06-11
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241224BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持部材の内部に形成される抵抗体の物性のばらつきを抑制する。
【解決手段】保持部材10は、絶縁体から構成され、第1面10Aと第1面10Aの反対側に配される第2面10Bとを有する本体部11と、本体部11の内部に複数のゾーン12に区画されて形成される複数の抵抗体50と、第1面10Aと直交する第1方向について抵抗体50の近傍に配される電極部60と、を備え、電極部60及び絶縁体の一部を含んで第1面10Aと平行に延びる層状の領域を、電極領域70とし、電極領域70のうち1つのゾーン12に対応する部分を、電極ゾーン領域71としたときに、電極ゾーン領域71を複数に分割し、複数の分割領域72を設定した場合に、第1方向から見たときの1つの分割領域72の面積に対する1つの分割領域72内の電極部60の面積の割合を電極率としたときに、複数の分割領域72のそれぞれの電極率が、所定のレンジ内に収まっている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
絶縁体から構成され、第１面と前記第１面の反対側に配される第２面とを有する本体部と、
前記本体部の内部に複数のゾーンに区画されて形成される複数の抵抗体と、
前記第１面と直交する第１方向について前記抵抗体の近傍に配される電極部と、を備え、
前記電極部及び前記絶縁体の一部を含んで前記第１面と平行に延びる層状の領域を、電極領域とし、
前記電極領域のうち１つの前記ゾーンに対応する部分を、電極ゾーン領域としたときに、
前記電極ゾーン領域を複数に分割し、複数の分割領域を設定した場合に、前記第１方向から見たときの１つの前記分割領域の面積に対する１つの前記分割領域内の前記電極部の面積の割合を電極率としたときに、
複数の前記分割領域のそれぞれの前記電極率が、所定のレンジ内に収まっている、保持部材。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
前記電極率は９０％以下である、請求項１に記載の保持部材。
【請求項３】
前記電極部は、前記抵抗体と電気的に接続されるドライバである、請求項１または請求項２に記載の保持部材。
【請求項４】
前記電極部は、前記抵抗体の前記第１方向における一方側に配される第１電極部と、前記抵抗体の前記第１方向における他方側に配される第２電極部と、を備える、請求項１または請求項２に記載の保持部材。
【請求項５】
前記本体部の内部に形成される高周波電極と、
前記本体部の内部に形成され、前記高周波電極と電気的に接続される高周波電極用ドライバと、をさらに備え、
前記高周波電極用ドライバは、前記第１方向について前記抵抗体の近傍に配されている、請求項１または請求項２に記載の保持部材。
【請求項６】
前記高周波電極用ドライバは、前記電極部に含まれる、請求項５に記載の保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持部材に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する際にウェハを保持する保持装置として、特許第６５７１８８０号公報（下記特許文献１）に記載の静電チャックが知られている。この静電チャックは、セラミックス板と、セラミックス板の内部に設けられる発熱用抵抗体と、発熱用抵抗体に対する給電経路を構成する発熱抵抗体用ドライバと、を備えている。セラミックス板の上面はウェハを吸着する吸着面とされている。セラミックス板は、吸着面に平行な方向において複数のセグメントに区画されている。各セグメントには発熱用抵抗体が配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６５７１８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような保持装置において、発熱用抵抗体が、発熱抵抗体用ドライバが設けられる層と上下方向について近接して配される場合、発熱用抵抗体のうち発熱抵抗体用ドライバと重畳する部分と、発熱抵抗体用ドライバと重畳しない部分（すなわちセラミックスと重畳する部分）では、発熱用抵抗体の形成条件が異なることがありうる。ここでいう形成条件には、例えば焼成時の収縮具合や有機溶剤の揮発の状態等が含まれる。この結果、１つのセグメント内の１つの発熱用抵抗体において、例えば抵抗率等の物性が不均一になり、１つのセグメント内において温度に偏りが生じるおそれがある。
【０００５】
本開示は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、保持部材の内部に形成される抵抗体の物性のばらつきを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の保持部材は、絶縁体から構成され、第１面と前記第１面の反対側に配される第２面とを有する本体部と、前記本体部の内部に複数のゾーンに区画されて形成される複数の抵抗体と、前記第１面と直交する第１方向について前記抵抗体の近傍に配される電極部と、を備え、前記電極部及び前記絶縁体の一部を含んで前記第１面と平行に延びる層状の領域を、電極領域とし、前記電極領域のうち１つの前記ゾーンに対応する部分を、電極ゾーン領域としたときに、前記電極ゾーン領域を複数に分割し、複数の分割領域を設定した場合に、前記第１方向から見たときの１つの前記分割領域の面積に対する１つの前記分割領域内の前記電極部の面積の割合を電極率としたときに、複数の前記分割領域のそれぞれの前記電極率が、所定のレンジ内に収まっている、保持部材である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、保持部材の内部に形成される抵抗体の物性のばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態１にかかる静電チャックの外観構成を模式的に示す斜視図である。
図２は、静電チャックの模式的な断面図である。
図３は、電極領域の平面図である。
図４は、電極ゾーン領域の平面図である。
図５は、実施形態２にかかる静電チャックの模式的な断面図である。
図６は、実施形態３にかかる静電チャックの模式的な断面図である。
図７は、実施形態４にかかる静電チャックの模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持部材は、絶縁体から構成され、第１面と前記第１面の反対側に配される第２面とを有する本体部と、前記本体部の内部に複数のゾーンに区画されて形成される複数の抵抗体と、前記第１面と直交する第１方向について前記抵抗体の近傍に配される電極部と、を備え、前記電極部及び前記絶縁体の一部を含んで前記第１面と平行に延びる層状の領域を、電極領域とし、前記電極領域のうち１つの前記ゾーンに対応する部分を、電極ゾーン領域としたときに、前記電極ゾーン領域を複数に分割し、複数の分割領域を設定した場合に、前記第１方向から見たときの１つの前記分割領域の面積に対する１つの前記分割領域内の前記電極部の面積の割合を電極率としたときに、複数の前記分割領域のそれぞれの前記電極率が、所定のレンジ内に収まっている。
【００１０】
このような構成によると、分割領域間において電極率が所定のレンジ内に収まっているから、１つのゾーン内において抵抗体の形成条件を均一化しやすくなる。したがって、各ゾーンに形成される１つの抵抗体の中で、例えば抵抗率等の物性のばらつきを抑制しやすくなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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