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公開番号2024177916
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-24
出願番号2023096320
出願日2023-06-12
発明の名称反射防止フィルムの製造方法
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人はるか国際特許事務所
主分類G02B 1/113 20150101AFI20241217BHJP(光学)
要約【課題】インライン検査における反射光及び透過光の検出精度を高めることができる反射防止フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】反射防止フィルム100の製造方法は、工程S1と工程S2と工程S3とを備える。工程S1では、透明フィルム基材11と、透明フィルム基材11の第1主面11a側に剥離可能に貼着された保護フィルム12とを有する積層体10を準備する。工程S2では、透明フィルム基材11の第2主面11b側に、2層以上の薄膜からなる反射防止層101を成膜する。工程S3では、反射防止層101を構成する少なくとも1つの層を成膜した後、当該層に可視光を照射し、その反射光及び透過光を検出する。工程S2及び工程S3は、積層体10を一方向に搬送しながら、連続して実施される。保護フィルム12の内部ヘイズ値は、4.0%以下である。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
透明フィルム基材と、前記透明フィルム基材の第１主面側に剥離可能に貼着された保護フィルムとを有する積層体を準備する工程Ｓ１と、
前記透明フィルム基材の第２主面側に、２層以上の薄膜からなる反射防止層を成膜する工程Ｓ２と、
前記反射防止層を構成する少なくとも１つの層を成膜した後、前記層に可視光を照射し、その反射光及び透過光を検出する工程Ｓ３とを備え、
前記工程Ｓ２及び前記工程Ｓ３は、前記積層体を一方向に搬送しながら、連続して実施され、
前記保護フィルムの内部ヘイズ値が、４．０％以下であり、
前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側とは反対側の主面の表面ヘイズ値が、６．０％以上５０．０％以下である、反射防止フィルムの製造方法。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側とは反対側の主面の表面ヘイズ値から前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側の主面の表面ヘイズ値を引いた値が、５．０％以上である、請求項１に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項３】
透明フィルム基材と、前記透明フィルム基材の第１主面側に剥離可能に貼着された保護フィルムとを有する積層体を準備する工程Ｓ１と、
前記透明フィルム基材の第２主面側に、２層以上の薄膜からなる反射防止層を成膜する工程Ｓ２と、
前記反射防止層を構成する少なくとも１つの層を成膜した後、前記層に可視光を照射し、その反射光及び透過光を検出する工程Ｓ３とを備え、
前記工程Ｓ２及び前記工程Ｓ３は、前記積層体を一方向に搬送しながら、連続して実施され、
前記保護フィルムの内部ヘイズ値が、４．０％以下であり、
前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側とは反対側の主面の二乗平均平方根傾斜Ｓｄｑが、０．１０以上０．５０以下である、反射防止フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側とは反対側の主面の二乗平均平方根傾斜Ｓｄｑから前記保護フィルムの前記透明フィルム基材側の主面の二乗平均平方根傾斜Ｓｄｑを引いた値が、０．０５以上である、請求項３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記工程Ｓ２において、反応性スパッタ法により前記反射防止層を成膜する、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記工程Ｓ３において、前記反射防止層を構成する全ての層を成膜した後、前記反射防止層に可視光を照射し、その反射光及び透過光を検出する、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記工程Ｓ３における前記反射光及び前記透過光の検出結果に応じて、前記工程Ｓ２における前記反射防止層の成膜条件が調整される、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記工程Ｓ３の後、前記透明フィルム基材から前記保護フィルムを剥離する工程Ｓ４を更に備える、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項９】
前記透明フィルム基材は、透明フィルムと、前記透明フィルムの第１主面側に設けられたハードコート層とを備え、
前記積層体において、前記保護フィルムは、前記透明フィルムの第２主面側に貼着されている、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項１０】
前記工程Ｓ２の前に、前記透明フィルム基材の前記第２主面側にプライマー層を成膜する工程Ｓ５を更に備え、
前記工程Ｓ２において、前記プライマー層の前記透明フィルム基材側とは反対側の主面に前記反射防止層を成膜する、請求項１又は３に記載の反射防止フィルムの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止フィルムの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の画像表示装置の視認側には、外光の反射による画質低下の防止、コントラスト向上等を目的として、反射防止フィルムが配置されている。反射防止フィルムは、透明フィルム基材上に、屈折率の異なる複数の薄膜の積層体からなる反射防止層を備える。
【０００３】
反射防止層は、薄膜の多重反射干渉を利用して、可視光の反射率を低減している。そのため、薄膜の屈折率や膜厚が変動すると、反射率や反射光の色相等の反射光特性が変化する。反射防止層の形成において、薄膜の成膜条件を厳格に管理して一定に保った場合でも、原料の特性のばらつきや、成膜環境の経時的な変動等に起因して、薄膜の膜厚や屈折率等が変動する場合がある。
【０００４】
フィルム製造では、製造工程中でインライン測定を行い、その測定結果を前工程にフィードバックすることにより、フィルムの品質を一定に保持することが行われている。例えば、特許文献１では、反射防止フィルムの製造工程におけるインライン検査として、インラインで反射光特性を測定し、その測定結果を薄膜の成膜条件にフィードバックしている。
【０００５】
一般に、反射防止フィルムは、反射防止層形成面の可視光反射率が１％以下となるように設計されるのに対して、透明フィルム基材の裏面側（透明フィルム基材と空気との界面）での可視光反射率（裏面反射率）は４％程度である。反射防止層を形成した後のオフライン検査では、裏面反射の影響を排除して、表面側の反射光特性を測定できる。一方、反射防止フィルムの製造工程におけるインライン検査で検出される反射光の大半は裏面からの反射光であり、反射防止層形成面からの反射光の特性が変化しても、検出される反射光はほとんど変化しない。そのため、一般に、インラインで反射防止層形成面側からの反射光特性を正確に測定することは容易ではない。
【０００６】
これに対し、特許文献１に記載の技術によれば、光拡散粘着剤層を備える積層体上に反射防止層を形成することで、裏面反射が低減され、インライン検査における反射光の検出精度を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
国際公開第２０１６／０２１７３３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
他方、反射防止層を連続的に成膜する際、成膜条件の変動等により反射防止層が色づく場合がある。特に、反射防止層を反応性スパッタ法により成膜する際は、金属領域と酸化物領域との中間の遷移領域を安定して維持することが難しいため、反射防止層が色づきやすくなる。
【０００９】
反射防止層の色づきをインライン検査により検知する方法としては、反射防止層の透過光特性を測定し、その測定結果を薄膜の成膜条件にフィードバックする方法が挙げられる。しかし、特許文献１に記載の技術だけでは、インライン検査における透過光の検出精度を高めることは難しい。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、インライン検査における反射光及び透過光の検出精度を高めることができる反射防止フィルムの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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