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公開番号2024175365
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2023093100
出願日2023-06-06
発明の名称ウェーハ回転部材、ウェーハキャリア、ウェーハ処理装置及びウェーハ処理方法
出願人新電元工業株式会社,株式会社秋田新電元
代理人個人,個人
主分類H01L 21/306 20060101AFI20241211BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハを均一性良く処理液で処理するために、処理液槽内でウェーハを回転させるウェーハ回転部材を提供する。
【解決手段】本発明は、ウェーハを処理液槽に入れるためのウェーハキャリア内で前記ウェーハを回転させる回転軸11と、前記回転軸11に配置され、前記ウェーハキャリアの外側に位置し、前記処理液槽内で処理液に対する浮力及び抗力を利用して前記回転軸11を回転させる抵抗部材12と、前記回転軸11に形成され、前記ウェーハキャリア内で前記ウェーハを支持する溝13を有するウェーハ回転部材である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを処理液槽に入れるためのウェーハキャリア内で前記ウェーハを回転させる回転軸と、
前記回転軸に配置され、前記ウェーハキャリアの外側に位置し、前記処理液槽内で処理液に対する浮力及び抗力を利用して前記回転軸を回転させる抵抗部材と、
前記回転軸に形成され、前記ウェーハキャリア内で前記ウェーハを支持する溝と、
を有することを特徴とするウェーハ回転部材。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記抵抗部材は、前記回転軸の長手方向に対して垂直方向に前記回転軸から延びた処理液抵抗部を有し、
前記処理液抵抗部は、前記処理液に対する浮力及び抗力を発生させる形状を有していることを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項３】
請求項２において、
前記ウェーハキャリアに前記回転軸が回転可能に設置され、前記ウェーハが前記回転軸に支持された前記ウェーハキャリアを前記処理液槽の前記処理液に浸漬させる際に、前記処理液抵抗部は、重力方向の厚みより重力方向に対して垂直方向の幅が広く形成されていることを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項４】
請求項２又は３において、
前記処理液抵抗部は、Ｌ字形状を有することを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項５】
請求項２又は３において、
前記処理液抵抗部は、第１の処理液抵抗部及び第２の処理液抵抗部を有し、
前記第２の処理液抵抗部は、前記第１の処理液抵抗部より短く下方に延びた形状を有することを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項６】
請求項２又は３において、
前記処理液抵抗部の先端側はスプーン形状を有し、前記スプーン形状はスプーンが下向きになるような形状であることを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項７】
請求項２又は３において、
前記抵抗部材は、前記回転軸から延びた前記処理液抵抗部と反対側に前記回転軸から延びた前記処理液抵抗部より短い部材を有することを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項８】
請求項１から３のいずれか一項において、
前記処理液がエッチング液であることを特徴とするウェーハ回転部材。
【請求項９】
ウェーハを処理液槽に入れるためのウェーハキャリアであって、
キャリア本体と、
前記キャリア本体の底部に配置され、前記キャリア本体内で前記ウェーハを回転させる回転軸と、
前記回転軸に配置され、前記キャリア本体の外側に位置し、前記処理液槽内で処理液に対する浮力及び抗力を利用して前記回転軸を回転させる抵抗部材と、
前記回転軸に形成され、前記キャリア本体内で前記ウェーハを支持する溝と、
を有することを特徴とするウェーハキャリア。
【請求項１０】
処理液を入れる処理液槽と、
前記処理液槽にウェーハを入れるためのウェーハキャリアと、
前記ウェーハキャリアを前記処理液槽内で上下に移動させる上下移動機構と、を有し、
前記ウェーハキャリアは、
キャリア本体と、
前記キャリア本体の底部に配置され、前記キャリア本体内で前記ウェーハを回転させる回転軸、
前記回転軸に配置され、前記キャリア本体の外側に位置し、前記処理液槽内で前記処理液に対する浮力及び抗力を利用して前記回転軸を回転させる抵抗部材と、
前記回転軸に形成され、前記キャリア本体内で前記ウェーハを支持する溝と、
を有することを特徴とするウェーハ処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ回転部材、ウェーハキャリア、ウェーハ処理装置及びウェーハ処理方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
メサ型ダイオードを製造する工程には、ウェーハを処理液で処理する工程、例えば薬液を混合したエッチング液を用いてシリコンをエッチングする工程がある。この工程は、レジストでパターニングされたシリコンウェーハをキャリアに入れ、そのキャリアをエッチング液槽に浸漬し、所望の深さまでエッチングを行う工程である。この工程では、シリコンをエッチングする際、所望の深さまで均一にエッチングする必要がある。この技術に関連する事項が特許文献１に記載されている。
【０００３】
しかし、上記のエッチング工程において、十分に均一にエッチングできないことがある。
そこで、ウェーハを均一性良く処理液で処理することが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－８０７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の種々の態様は、ウェーハを均一性良く処理液で処理するために、処理液槽内でウェーハを回転させるウェーハ回転部材、ウェーハキャリア、ウェーハ処理装置及びウェーハ処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に本発明の種々の態様について説明する。
【０００７】
［１］ウェーハを処理液槽に入れるためのウェーハキャリア内で前記ウェーハを回転させる回転軸と、
前記回転軸に配置され、前記ウェーハキャリアの外側に位置し、前記処理液槽内で処理液に対する浮力及び抗力を利用して前記回転軸を回転させる抵抗部材と、
前記回転軸に形成され、前記ウェーハキャリア内で前記ウェーハを支持する溝と、
を有することを特徴とするウェーハ回転部材。
【０００８】
本発明の一態様に係る上記［１］のウェーハ回転部材は、処理液槽内で処理液に対する浮力及び抗力を利用して回転軸を回転させる抵抗部材を有する。このため、回転軸に形成された溝にウェーハを支持したウェーハキャリアを処理液槽に入れ、処理液槽内でウェーハキャリアを移動させることで、抵抗部材に処理液に対する浮力及び抗力が加えられ、回転軸が回転する。これにより、ウェーハキャリア内でウェーハを回転させることができる。
【０００９】
［２］上記［１］において、
前記抵抗部材は、前記回転軸の長手方向に対して垂直方向に前記回転軸から延びた処理液抵抗部を有し、
前記処理液抵抗部は、前記処理液に対する浮力及び抗力を発生させる形状を有していることを特徴とするウェーハ回転部材。
【００１０】
［３］上記［２］において、
前記ウェーハキャリアに前記回転軸が回転可能に設置され、前記ウェーハが前記回転軸に支持された前記ウェーハキャリアを前記処理液槽の前記処理液に浸漬させる際に、前記処理液抵抗部は、重力方向の厚みより重力方向に対して垂直方向の幅が広く形成されていることを特徴とするウェーハ回転部材。
（【００１１】以降は省略されています）

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