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公開番号2024174676
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-17
出願番号2023092631
出願日2023-06-05
発明の名称連続炉の制御方法、連続炉、及び、連続炉の制御プログラム
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人
主分類F27D 19/00 20060101AFI20241210BHJP(炉,キルン,窯;レトルト)
要約【課題】熱処理を行う連続炉において、条件の異なる処理を行う処理室間のリークが生じないようにする。
【解決手段】対象物を処理可能な第1処理室1と、対象物を処理可能な第2処理室2と、第1処理室1と第2処理室2との間に配置された第1中間室3と、第1処理室1と第1中間室3との間を開閉する第1閉鎖機構33と、第2処理室2と第1中間室3との間を開閉する第2閉鎖機構34と、を備える連続炉100の制御方法は、第1閉鎖機構33及び第2閉鎖機構34を閉じるステップと、第1閉鎖機構33及び第2閉鎖機構34を閉じるステップにおいて、第1中間室3のガス圧と第1処理室1のガス圧との差により第1閉鎖機構33が閉じる方向に圧力がかかる、及び/又は、第1中間室3のガス圧と第2処理室2のガス圧との差により第2閉鎖機構34が閉じる方向に圧力がかかるように、第1中間室3のガス圧を調整するステップとを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を処理可能な第１処理室と、前記対象物を処理可能な第２処理室と、前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の制御方法であって、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップと、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、前記中間室のガス圧と前記第１処理室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、前記中間室のガス圧と前記第２処理室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記中間室のガス圧を調整するステップとを含む、方法。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第１閉鎖機構が、前記中間室側から前記第１処理室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じ、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記中間室側から前記第２処理室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じ、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１閉鎖機構が、前記第１処理室側から前記中間室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じ、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記第２処理室側から前記中間室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じ、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を閉じるとき、前記中間室のガス圧が、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記第１処理室のガス圧、前記第２処理室のガス圧、及び前記中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記連続炉は、前記第１処理室と前記第２処理室と前記中間室とを接続するバイパス配管と、前記バイパス配管を開閉する開閉装置とをさらに有するものであり、
前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構を開くとき、前記開閉装置を開放することで、前記第１処理室のガス圧、前記第２処理室のガス圧、及び前記中間室のガス圧が同一ガス圧に調整される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１処理室のガス圧と前記第２処理室のガス圧とは、－０．１ＭＰａ以上、１ＭＰａ未満の範囲内の圧力である、請求項１～５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
対象物を処理可能な第１処理室と、
前記対象物を処理可能な第２処理室と、
前記第１処理室と前記第２処理室との間に配置された中間室と、
前記第１処理室と前記中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、
前記第２処理室と前記中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、
前記第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、
前記第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、
前記中間室のガス圧を前記第１処理室及び前記第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える、連続炉。
【請求項８】
前記第１圧力調整機構、前記第２圧力調整機構、及び前記第３圧力調整機構と、前記第１閉鎖機構及び前記第２閉鎖機構の開閉とを制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、及び／又は、前記第２処理室のガス圧と前記中間室のガス圧との差により前記第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、前記第３圧力調整機構を制御する、請求項７に記載の連続炉。
【請求項９】
前記第１閉鎖機構が、前記中間室側から前記第１処理室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記中間室側から前記第２処理室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも高いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
【請求項１０】
前記第１閉鎖機構が、前記第１処理室側から前記中間室側に駆動して前記第１処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、かつ、前記第２閉鎖機構が、前記第２処理室側から前記中間室側に駆動して前記第２処理室と前記中間室との間を閉じるものであり、
前記第３圧力調整機構は、前記中間室のガス圧を、前記第１処理室のガス圧及び前記第２処理室のガス圧よりも低いガス圧に調整する、請求項８に記載の連続炉。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続炉の制御方法、連続炉、及び、連続炉の制御プログラムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
所定の対象物（例えば、金属粉末成形体、セラミックス粉末成形体等）に対して、それぞれが異なる条件（空間の雰囲気、圧力、温度等）の複数の処理を連続的に行う装置として、連続炉と呼ばれるものが知られている。
【０００３】
例えば、金属粉末成形品を脱ワックスするために不活性ガスを循環させて加熱する脱ワックス室と、当該金属粉末成形品を真空焼結する真空焼結室と、脱ワックス室と真空焼結室との間に配置された中間室と、脱ワックス室と中間室とを開閉する扉と、中間室と真空焼結とを開閉する扉と、を備えた設備が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６６０７３６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、連続炉で行う複数の処理のいくつかを高圧の雰囲気で行いたい要望がある。例えば、１０気圧近傍の雰囲気下で千数百度の温度で焼成を行いたい場合がある。しかしながら、従来の連続炉は、このような高い圧力を必要とする処理に対応できなかった。具体的には、従来の連続炉では以下の問題が生じる可能性があった。
【０００６】
連続炉では、処理室と中間室とを隔てる扉を処理室又は中間室に密着させて、処理室と中間室とを空間的に分離する。処理室と中間室との間には圧力差があるため、扉には、この圧力差により処理室又は中間室から離れる方向に力が働く。扉を駆動する機構は、処理室と中間室との圧力差により扉に働く力に抗する力を扉に付与することで、処理室又は中間室に扉を密着させている。
【０００７】
処理室の圧力が高い、すなわち、処理室と中間室との圧力差が大きくなると、扉に働く力が大きくなるため、扉を駆動する機構による力のみでは扉を処理室又は中間室に密着させることができず、処理室からリークが生じる可能性がある。処理室からリークが生じると、処理室を所望の圧力に維持することが困難になり、所望の処理を適切に行うことができなくなる可能性がある。
【０００８】
本発明の目的は、処理室と中間室とを備える連続炉において、処理室が高圧となっても、処理室と中間室との間にリークが生じることを防止又は抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の好ましい実施形態による連続炉の制御方法は、対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、を備える連続炉の制御方法であって、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップと、第１閉鎖機構及び第２閉鎖機構を閉じるステップにおいて、中間室のガス圧と第１処理室のガス圧との差により第１閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかる、及び／又は、中間室のガス圧と第２処理室のガス圧との差により第２閉鎖機構が閉じる方向に圧力がかかるように、中間室のガス圧を調整するステップとを含む。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態による連続炉は、対象物を処理可能な第１処理室と、対象物を処理可能な第２処理室と、第１処理室と第２処理室との間に配置された中間室と、第１処理室と中間室との間を開閉する第１閉鎖機構と、第２処理室と中間室との間を開閉する第２閉鎖機構と、第１処理室のガス圧を調整する第１圧力調整機構と、第２処理室のガス圧を調整する第２圧力調整機構と、中間室のガス圧を第１処理室及び第２処理室のガス圧とは独立して調整可能な第３圧力調整機構と、を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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