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公開番号2024173754
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2024084660
出願日2024-05-24
発明の名称欠陥検査方法、膜付き基材の製造方法、及び欠陥検査装置
出願人日本電気硝子株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 21/892 20060101AFI20241205BHJP(測定;試験)
要約【課題】欠陥の検査精度を高めることのできる欠陥検査方法、膜付き基材の製造方法、及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の欠陥を検査する欠陥検査方法は、照射工程と観察工程とを備える。照射工程では、光源12を用いて検査対象Wの表面に光を照射する。観察工程では、検査対象Wにおける検査範囲A1を、検査対象Wの表面から離間した位置に設けられた観察部13から観察する。欠陥検査方法では、検査対象Wの表面を基準とした平面視で検査範囲A1と観察部13との間に光源12の中心を配置する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
光源を用いて前記検査対象の表面に光を照射する照射工程と、
前記検査対象における検査範囲を、前記検査対象の前記表面から離間した位置に設けられた観察部から観察する観察工程と、を備え、
前記検査対象の前記表面を基準とした平面視で前記検査範囲と前記観察部との間に前記光源の中心を配置する、欠陥検査方法。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記観察工程では、前記光源と前記観察部との間を仕切るように配置され、前記光源から前記観察部に入射される直接光を遮る光遮蔽部材を用いる、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項３】
前記観察工程では、前記検査対象が載置される載置部と前記観察部との間、及び前記検査対象と前記観察部との間の少なくとも一方の間を仕切るように配置され、前記載置部及び前記検査対象の少なくとも一方の表面で正反射された反射光を遮る光遮蔽部材を用いる、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項４】
前記表面を基準とした側面視で、前記検査範囲の任意の一点と前記観察部とを結ぶ第１の直線と、前記検査範囲の任意の一点から前記観察部側に延びるとともに前記表面と垂直に交わる第２の直線とのなす角度は、１０°以上、４０°以下の範囲内である、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項５】
前記検査対象の前記表面の平均反射率は、波長が４００ｎｍ以上、７００ｎｍ以下の範囲において、４０％以上である、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項６】
前記欠陥の寸法は、前記表面を基準とした平面視で、１０μｍ以上、１００μｍ以下の範囲内である、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項７】
前記検査対象は、基材と、前記基材に設けられた膜とを有する膜付き基材である、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項８】
前記検査対象は、基板と、前記基板上に設けられた反射膜とを有し、
前記検査対象の欠陥は、前記基板の傷、及び前記基板と前記反射膜との間に存在する異物の少なくとも一方を含む、請求項１に記載の欠陥検査方法。
【請求項９】
検査対象の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
光源を用いて前記検査対象の表面に光を照射する照射工程と、
前記検査対象における検査範囲を、光遮蔽体が有するスリットを通じて観察する観察工程と、を備え、
前記スリットは、前記検査対象の前記表面から離間した位置に設けられ、
前記検査対象の前記表面を基準とした平面視で前記検査範囲と前記スリットとの間に前記光源の中心を配置する、欠陥検査方法。
【請求項１０】
基材と前記基材に設けられた膜とを有する膜付き基材の製造方法であって、
前記膜付き基材の欠陥を検査する検査工程を備え、
前記検査工程は、
光源を用いて前記膜付き基材の表面に光を照射する照射工程と、
前記膜付き基材における検査範囲を、前記膜付き基材の前記表面から離間した位置に設けられた観察部から観察する観察工程と、を備え、
前記膜付き基材の前記表面を基準とした平面視で前記検査範囲と前記観察部との間に前記光源の中心を配置する、膜付き基材の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥検査方法、膜付き基材の製造方法、及び欠陥検査装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されるように、欠陥検査方法として、ガラス板の表面に光を照射する工程と、光が照射されたガラス板の表面の画像に基づいて異物を検知する工程とを備えた方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１７３１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、ガラス板等の検査対象に異物等の欠陥が存在する場合、検査対象の表面に向けて照射された光は、欠陥により散乱する。このような欠陥に基づく散乱光を検知することで、検査対象の欠陥の有無を判定することが可能となる。ところが、検査対象の表面で正反射した光が欠陥に基づく散乱光に入り込むことで、欠陥の検査精度が低下するおそれがあった。
【０００５】
本発明の目的は、欠陥の検査精度を高めることのできる欠陥検査方法、膜付き基材の製造方法、及び欠陥検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する欠陥検査方法、膜付き基材の製造方法、及び欠陥検査装置の各態様について説明する。
態様１の欠陥検査方法は、検査対象の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、光源を用いて前記検査対象の表面に光を照射する照射工程と、前記検査対象における検査範囲を、前記検査対象の前記表面から離間した位置に設けられた観察部から観察する観察工程と、を備え、前記検査対象の前記表面を基準とした平面視で前記検査範囲と前記観察部との間に前記光源の中心を配置する。
【０００７】
この方法によれば、検査対象の検査範囲に欠陥が含まれる場合、観察部では、検査範囲中の欠陥で散乱した散乱光の観察に基づいて欠陥の有無を判定することができる。このとき、上記のように光源を配置することで、検査対象の表面で正反射した光が観察部に入射することを抑えることができる。これにより、観察工程において、検査範囲中の欠陥で散乱した散乱光に基づく欠陥の有無の判定を容易に行うことができる。
【０００８】
態様２の欠陥検査方法は、態様１において、前記観察工程では、前記光源と前記観察部との間を仕切るように配置され、前記光源から前記観察部に入射される直接光を遮る光遮蔽部材を用いてもよい。この方法によれば、観察工程において、欠陥に基づく散乱光の観察をより容易に行うことができる。
【０００９】
態様３の欠陥検査方法は、態様１又は態様２において、前記観察工程では、前記検査対象が載置される載置部と前記観察部との間、及び前記検査対象と前記観察部との間の少なくとも一方の間を仕切るように配置され、前記載置部及び前記検査対象の少なくとも一方の表面で正反射された反射光を遮る光遮蔽部材を用いてもよい。この方法によれば、観察工程において、欠陥に基づく散乱光の観察をより容易に行うことができる。
【００１０】
態様４の欠陥検査方法は、態様１から態様３のいずれか一つにおいて、前記表面を基準とした側面視で、前記検査範囲の任意の一点と前記観察部とを結ぶ第１の直線と、前記検査範囲の任意の一点から前記観察部側に延びるとともに前記表面と垂直に交わる第２の直線とのなす角度は、１０°以上、４０°以下の範囲内であってもよい。この角度が１０°以上の場合、検査対象の表面で正反射する反射光が観察部で観察する像に入り込むことをより抑えることができる。この角度が４０°以下の場合、観察部と、検査対象の欠陥との距離をより近づけることが可能となるため、観察部において、検査対象の欠陥に基づく散乱光の強度が得られ易い。
（【００１１】以降は省略されています）

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