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公開番号2024172792
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023090761
出願日2023-06-01
発明の名称基板搬送システム、および、基板搬送方法
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減することが可能な基板搬送システム、および、基板搬送方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送システム100は、基板搬送ロボット20により搬送される基板210と、基板210が載置される基板載置部30aとの少なくとも一方を検出する撮像部43を備える。そして、基板搬送システム100は、撮像部43による検出結果を入力とし、基板搬送ロボット20による基板210の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する制御部60を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットにより搬送される基板と、前記基板が載置される基板載置部との少なくとも一方を検出する検出部と、
前記検出部による前記基板および前記基板載置部の少なくとも一方の検出結果を入力とし、前記基板搬送ロボットによる前記基板の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する制御部とを、備える、基板搬送システム。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記制御部は、深層強化学習による機械学習によって前記学習済みモデルを生成する、請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記制御部は、前記検出結果を入力とし、前記基板搬送ロボットと、前記基板載置部の位置との座標軸を合わせるための教示情報を含む前記搬送制御情報を出力する前記学習済みモデルを機械学習により生成する、請求項１または２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記検出部は、前記基板および前記基板載置部の少なくとも一方に加えて、前記基板搬送ロボットを検出し、
前記制御部は、前記基板および前記基板載置部の少なくとも一方の前記検出結果と、前記基板搬送ロボットの前記検出結果とを入力とし、前記搬送制御情報を出力する前記学習済みモデルを生成する、請求項１または２に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記制御部は、
前記基板搬送ロボットの搬送動作を制御するロボット制御部を兼ね、
前記学習済みモデルを用いることによって前記搬送制御情報を取得するとともに、取得された前記搬送制御情報に基づく前記基板の搬送動作を行うことによって、搬送動作におけるずれを補正しながら、前記基板搬送ロボットの搬送動作を制御する、請求項１または２に記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記検出部は、前記基板と、前記基板載置部と、前記基板載置部の位置を示すターゲット部材との少なくとも１つを撮像する撮像部を含み、
前記制御部は、前記検出部による前記検出結果として取得された前記撮像部による撮像画像を入力とし、前記搬送制御情報を出力する前記学習済みモデルを機械学習により生成する、請求項１または２に記載の基板搬送システム。
【請求項７】
前記基板載置部の位置を示す前記ターゲット部材をさらに備え、
前記撮像部は、前記ターゲット部材を撮像し、
前記制御部は、前記検出結果として取得された前記ターゲット部材を含む前記撮像画像を入力とし、前記搬送制御情報を出力する前記学習済みモデルを機械学習によって生成する、請求項６に記載の基板搬送システム。
【請求項８】
前記ターゲット部材は、前記学習済みモデルを生成する機械学習において識別されるように、前記撮像画像において所定の形状を有している、請求項７に記載の基板搬送システム。
【請求項９】
前記基板搬送ロボットが配置され、前記基板の搬送が行われる搬送室をさらに備え、
前記撮像部は、前記搬送室に配置されている、請求項６に記載の基板搬送システム。
【請求項１０】
前記撮像部は、前記搬送室に配置されている搬送室撮像部と、前記基板搬送ロボットに配置されているロボット撮像部とを含み、
前記制御部は、前記搬送室撮像部による前記撮像画像と、前記ロボット撮像部による前記撮像画像とを入力とし、前記搬送制御情報を出力する前記学習済みモデルを械学習により生成する、請求項９に記載の基板搬送システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送システム、および、基板搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板を搬送する基板搬送方法が開示されている。特許文献１には、基板搬送室に配置された搬送ロボットによって、基板の処理が行われる基板処理室の載置台に対して基板が搬送される基板搬送方法が開示されている。搬送ロボットは、基板が載置されるフォークを有している。また、基板搬送室内には、フォークに載置された基板を検出する位置センサが配置されている。特許文献１に記載の基板搬送方法では、フォークに載置された基板が位置センサにより検出されることによって、フォークに対する基板の位置ずれを補正するように、搬送ロボットによる基板の搬送経路が修正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６６４０３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板の搬送動作を行う場合には、基板を搬送する搬送ロボットである基板搬送ロボットに対して搬送動作を教示する必要がある。上記特許文献１では、基板を保持するフォークに対する基板の位置ずれが位置センサにより検出される一方で、基板搬送ロボットの搬送動作の教示を人の手によって行う必要がある。そのため、基板載置部の位置などの基板搬送システムの構成ごとに搬送動作の教示を行う必要があるため、基板搬送ロボットに対する搬送動作の教示の手間が作業者にとって負担となると考えられる。そのため、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減することが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減することが可能な基板搬送システム、および、基板搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の第１の局面による基板搬送システムは、基板搬送ロボットと、基板搬送ロボットにより搬送される基板と、基板が載置される基板載置部との少なくとも一方を検出する検出部と、検出部による基板および基板載置部の少なくとも一方の検出結果を入力とし、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する制御部とを、備える。
【０００７】
この開示の第１の局面による基板搬送システムは、上記のように、検出部による基板および基板載置部の少なくとも一方の検出結果を入力とし、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する。これにより、機械学習により生成された学習済みモデルからの出力に基づいて、基板の搬送動作の制御を自動的に行うことができる。その結果、基板載置部に対する基板の搬送動作の教示を人の手によって行う場合に比べて、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減できる。
【０００８】
この開示の第２の局面による基板搬送方法は、基板搬送ロボットにより搬送される基板と、基板が載置される基板載置部との少なくとも一方を検出し、基板および基板載置部の少なくとも一方の検出結果を入力とし、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する。
【０００９】
この開示の第２の局面による基板搬送方法は、上記のように、基板および基板載置部の少なくとも一方の検出結果を入力とし、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作を制御するための搬送制御情報を出力する学習済みモデルを、機械学習により生成する。これにより、機械学習により生成された学習済みモデルからの出力に基づいて、基板の搬送動作の制御を自動的に行うことができる。その結果、基板載置部に対する基板の搬送動作の教示を人の手によって行う場合に比べて、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減することが可能な基板搬送方法を提供できる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、基板搬送ロボットによる基板の搬送動作の制御を行うために作業者が要する手間を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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