特許ウォッチ

公開番号2024172217
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089782
出願日2023-05-31
発明の名称振子及び振子を用いたサーボ加速度計
出願人キヤノン電子株式会社
代理人
主分類G01P 15/13 20060101AFI20241205BHJP(測定;試験)
要約【課題】
加工コストの高いウェットエッチングの工程を減らして、寸法安定性の高い振子を提供することである。
【解決手段】
本発明の振子は、ヒンジ10cを構成する第1の石英ガラス構造体41と、錘部10aを構成する第2の石英ガラス構造体42と、を備え、前記第1の石英ガラス構造体41と前記第2の石英ガラス構造体42の境界面に金属材料の接合層を有することを特徴とする。前記第1の石英ガラス構造体41の両面に、前記接合層を介して、前記第2の石英ガラス構造体42を備えてもよい。振子を備えたことをサーボ加速度計としてもよい。
【選択図】図4

特許請求の範囲【請求項１】
ヒンジを構成する第１の石英ガラス構造体と、
錘部を構成する第２の石英ガラス構造体と、を備え、
前記第１の石英ガラス構造体と前記第２の石英ガラス構造体の境界面に金属材料の接合層を有することを特徴とする振子。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記第１の石英ガラス構造体の両面に、前記接合層を介して、前記第２の石英ガラス構造体を備えたことを特徴とする請求項１に記載の振子。
【請求項３】
前記接合層が設けられた側と反対側の前記第２の石英ガラス構造体上に配線を形成し、前記配線と前記接合層と、が接触しないことを特徴とする請求項１に記載の振子。
【請求項４】
前記接合層が設けられた側と反対側の前記第２の石英ガラス構造体上に配線を形成し、
前記接合層は、前記第２の石英ガラス構造体上の前記配線に対して、電流が流れない厚みであることを特徴とする請求項１に記載の振子。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか一項に記載の振子を備えたことを特徴とするサーボ加速度計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
振子の構造に関し、振子を用いた力平衡サーボ加速度計に関するものである。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
力平衡サーボ加速度計は、磁気回路の上側ステータと下側ステータとの間に金属膜を形成した振子を備えている。加速度で生じた振子の変位を検出し、電圧に変換・増幅してコイルに印加する。コイルに生じるローレンツ力（復元力）により，振子の変位をゼロに制御する。このときの復元力は、慣性力となるので、加速度をコイル電流から検知可能に構成されている。
【０００３】
サーボ加速度計に用いられる振子は、寸法安定性の優れた石英ガラスが好んで用いられる。（特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－９６５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、振子に寸法安定性の優れた石英ガラスが開示されている。しかしながら、石英ガラスを振子の形状に加工するためには、ウェットエッチングによる微細加工が必要であり、加工コストの高いウェットエッチングの工程を多く用いる必要がある。
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、ウェットエッチングの工程を削減して作成可能な石英ガラスを用いた振子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の課題を解決する為に、本発明における振子は、ヒンジを構成する第１の石英ガラス構造体と、錘部を構成する第２の石英ガラス構造体と、を備え、
前記第１の石英ガラス構造体と前記第２の石英ガラス構造体の境界面に金属材料の接合層を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
上述のような構成とすることで、加工コストの高いウェットエッチングの工程を減らして、寸法安定性の高い振子を提供することができる。更に、本発明の振子を組み込むことで、高精度に測定ができるサーボ加速度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
サーボ加速度計の分解斜視図。
サーボ加速度計の断面図。
サーボ加速度計の振子の斜視図
本発明の一実施形態に係る振子の断面図。
本発明の一実施形態に係る振子の接合の工程図。
本発明の一実施形態に係る振子の接合後の金属層の斜視図。
本発明の一実施形態に係る振子の接合層の錘部及び固定部に対する配置図。
本発明の一実施形態に係る振子の接合層の錘部及び固定部に対する配置図。
本発明の一実施形態に係る振子の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許