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公開番号2024172003
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089409
出願日2023-05-31
発明の名称ワーク保持治具
出願人上村工業株式会社
代理人個人,個人
主分類C25D 17/08 20060101AFI20241205BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】ワークの周縁部と接触部材との接続部における熱の発生を十分に防止できるワーク保持治具を、提供すること。
【解決手段】バックパネル11とフレーム体12とを備えており、フレーム体12は、環状の本体と導電部材と接触部材と内側シール部材と外側シール部材とを有しており、フレーム体12は、両シール部材の間に、ワークの周縁部と導電部材と接触部材とを収容する密封空間を構成するようになっており、更に、密封空間に液体を継続的に流して接触部材を冷却する冷却機構2を、備えている。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
更に、前記フレーム体は、前記密封空間に液体を継続的に流して前記接触部材を冷却する冷却機構を、備えている、
ことを特徴とするワーク保持治具。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記冷却機構は、液注入口と、前記液注入口と前記密封空間とを連絡する流入通路と、液流出口と、前記液流出口と前記密封空間とを連絡する流出通路と、を有している、
請求項１記載のワーク保持治具。
【請求項３】
前記冷却機構は、液供給源からの供給ラインと前記液注入口とを接続するための注入接続ユニットを、備えており、
前記注入接続ユニットは、前記液注入口に対してパッキンを介して接続される注入口部と、前記注入口部を前記液注入口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項２記載のワーク保持治具。
【請求項４】
前記冷却機構は、前記液流出口と排水ラインとを接続するための流出接続ユニットを、備えており、
前記流出接続ユニットは、前記液流出口に対してパッキンを介して接続される流出口部と、前記流出口部を前記液流出口に対して押し付けたり引き離したりするシリンダ作動部と、を有している、
請求項３記載のワーク保持治具。
【請求項５】
前記内側シール部材は、外側から、柱状部と、リップ部と、を有しており、
前記柱状部は、前記ワークを保持する際に前記ワークの前記周縁部に圧接するように、前記バックパネル側に突出しており、
前記リップ部は、前記柱状部と同程度に前記バックパネル側に突出しており、且つ、少なくとも先端部が外向きに傾斜している、
請求項１記載のワーク保持治具。
【請求項６】
前記柱状部は、突出先端に、内側に向けて前記リップ部に重なる位置まで延びたシート部を、更に有しており、
前記リップ部は、前記シート部に接するまで前記バックパネル側に突出している、
請求項５記載のワーク保持治具。
【請求項７】
前記内側シール部材は、前記柱状部より外側に、外側板部を有しており、
前記外側板部の表面には、前記接触部材の接触端子が当接している、
請求項５記載のワーク保持治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気めっき処理の被処理物である矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具に関する。前記ワークとしては、例えば、プリント基板、ウエハ、半導体基板（特に、Fan-Out Panel Level Package）が挙げられる。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
矩形の板状ワークを保持するためのワーク保持治具は、特許文献１～１２に示されるように、公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５８９８５４０号公報
特開２０１６－１８０１４８号公報
特開２０１６－１５６０８４号公報
特開平１１－１７２４９２号公報
特開平１１－１４０６９４号公報
特開平６－１０８２８５号公報
特開平５－２４７６９２号公報
特開平５－２２２５９０号公報
特開平５－２１８０４８号公報
特開２０２０－１１７７６３号公報
特開２０２０－１１７７６４号公報
特開２０２０－１１７７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかるに、従来のワーク保持治具においては、下記のような不具合があった。
【０００５】
（１）ワークと電気的接触端子との接続部にめっき液が浸入する可能性を、更に十分に排除することが望まれている。接続部にめっき液が浸入すると、接続部に金属が析出し、ワークと電気的接触端子とが癒着し、ワークをワーク保持治具から取り外すのが困難になる。
【０００６】
（２）ワークの剛性が低い場合には、ワークの保持に弛みが生じる。
【０００７】
（３）めっき処理のために通電を行うと、ワークと電気的接触端子との接続部に熱が発生し、それ故、電気抵抗が増加し、その結果、めっき処理のための電流が十分に流れなくなる。
【０００８】
本発明は、上記不具合を解消できるワーク保持治具を提供することを、目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、電気めっき処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
バックパネルとフレーム体とを備えており、両者の間で前記ワークを保持するようになっており、
前記フレーム体は、前記バックパネルとの間で前記ワークの周縁部を保持するように前記バックパネルに取り付けられるようになっており、
前記フレーム体は、環状の本体と、該本体の内周に沿って設けられた導電部材と、前記ワークの前記周縁部に電気的接触できるように前記導電部材に電気的接続して前記導電部材に沿って設けられた接触部材と、前記接触部材より内側において前記本体の全周に渡って設けられた内側シール部材と、前記導電部材より外側において前記本体の全周に渡って設けられた外側シール部材と、を有しており、
前記フレーム体は、前記内側シール部材及び前記接触部材が前記ワークの前記周縁部に当接した状態で、前記内側シール部材と前記外側シール部材との間に、前記周縁部と、前記導電部材と、前記接触部材と、を収容する、密封空間を、構成するようになっており、
更に、前記フレーム体は、前記密封空間に液体を継続的に流して前記接触部材を冷却する冷却機構を、備えている、
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ワークの周縁部と接触部材との接続部を常に新鮮な水で冷却することができるので、当該接続部に熱が発生するのを十分に防止でき、その結果、めっき処理のための電流が十分に流れなくなるという不具合を解消できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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