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公開番号2024166667
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-29
出願番号2023082908
出願日2023-05-19
発明の名称保持テーブルの高さ検出方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 49/10 20060101AFI20241122BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削装置において保持テーブルの保持面の上面高さのばらつきを容易に測定できる方法を提供する。
【解決手段】保持テーブルの高さ検出方法であって、被加工物を切削する切削ブレード(47)を含む切削ユニット(11、12)と、切削ユニットを昇降させる昇降ユニット(35、36)と、切削ブレードと保持面(19)とが電気的に導通した際の切削ブレードの高さを検出するセットアップユニット(60)と、を備え、均一な厚みの導電性を有する測定用ワーク(90)を保持する保持ステップと、測定用ワークの複数箇所に導電性を有する切削ブレードを接触させ、測定用ワークと切削ブレードとが電気的に導通した際の切削ユニットの高さをセットアップユニットによって検出する高さ検出ステップと、高さ検出ステップで取得された切削ユニットの高さの差から、保持面の上面高さのばらつきを検出するばらつき検出ステップと、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
保持テーブルの高さ検出方法であって、
被加工物を切削する切削ブレードを含む切削ユニットと、
該切削ユニットを該保持テーブルの保持面に対して昇降させる昇降ユニットと、
該切削ブレードと該保持面とが電気的に導通した際の該切削ブレードの高さを検出するセットアップユニットと、を備える切削装置において、
均一な厚みの導電性を有する測定用ワークを保持する保持ステップと、
該測定用ワークの複数箇所に導電性を有する切削ブレードを接触させ、該セットアップユニットによって、該測定用ワークと、該切削ブレードと、が電気的に導通した際の切削ユニットの高さを検出する高さ検出ステップと、
該高さ検出ステップで取得された該切削ユニットの高さの差から、該保持面の上面高さのばらつきを検出するばらつき検出ステップと、
を備えることを特徴とする保持テーブルの高さ検出方法。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
該ばらつきがしきい値以上であれば異常と判定し、該ばらつきがしきい値より小さければ正常と判定する判定ステップをさらに備える、
請求項１に記載の保持テーブルの高さ検出方法。
【請求項３】
該判定ステップの結果が異常である場合、報知する報知ステップを備える、
請求項２に記載の保持テーブルの高さ検出方法。
【請求項４】
該ばらつきの値と、該判定ステップの結果と、の少なくともいずれかと、該高さ検出ステップを実施した日時と、を点検データとして記録する記録ステップ、
をさらに備える請求項２に記載の保持テーブルの高さ検出方法。
【請求項５】
該切削装置は
制御ユニットと、
該測定用ワークを収容するカセットと、
該カセットと該保持テーブルと、の間で該測定用ワークを搬送する搬送アームと、
をさらに備え、
該制御ユニットが該高さ検出ステップを実施する指示を受け付けると、
該カセットから該保持テーブルに該測定用ワークを搬送する第１搬送ステップを実施し、該第１搬送ステップの後に該高さ検出ステップを実施し、
該高さ検出ステップの後に、該保持テーブルから該カセットに該測定用ワークを搬送する第２搬送ステップを実施する、
請求項１から４のいずれかに記載の保持テーブルの高さ検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置の保持テーブルの高さ検出方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハなどの被加工物を切削加工する切削装置では、保持テーブルの保持面に被加工物を保持して、切削ユニットの切削ブレードを回転させながら被加工物に切り込んで切削を行う。切削ブレードは昇降機構によって上下方向に移動し、切削ブレードと保持テーブルは加工送り機構によって保持面に沿う方向に相対的に移動し、昇降機構による切込み送り動作と加工送り機構による加工送り動作とを用いて、切削ブレードにより被加工物を切削する。このような切削装置では、切削ブレードを被加工物に適切な量で切り込ませるために、保持テーブルの保持面と切削ブレードとの相対的な高さ位置を適切に管理する必要がある。
【０００３】
切削装置で被加工物を切削する際には、切削ブレードの切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出することが行われている。例えば、特許文献１、２及び３の切削装置では、保持テーブルと切削ブレードと間の電気的な導通が検出されるときの切削ユニットの高さ位置を原点位置として検出するセットアップ工程を行っている。
【０００４】
また、切削装置では、定期点検や、被加工物の品質不良（加工精度の悪化）が発生した際のトラブル対策のタイミングで、保持テーブルの保持面の上面高さを複数箇所で測定して、保持面の上面高さのばらつきが所定値以内であることを確認する作業を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
実用新案登録第２５９７８０８号公報
特開２０１０－０８２７０９号公報
特開２０１９－１２９２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
切削装置において保持テーブルの保持面の上面高さのばらつきを確認する場合、従来は、マイクロゲージなどの接触式の測定器、排圧センサーやレーザーセンサー等の非接触式の測定器などを用いて測定を行っており、測定器を装置に取り付ける手間がかかるという問題があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、切削装置において保持テーブルの保持面の上面高さのばらつきを容易に測定できる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、保持テーブルの高さ検出方法であって、被加工物を切削する切削ブレードを含む切削ユニットと、該切削ユニットを該保持テーブルの保持面に対して昇降させる昇降ユニットと、該切削ブレードと該保持面とが電気的に導通した際の該切削ブレードの高さを検出するセットアップユニットと、を備える切削装置において、均一な厚みの導電性を有する測定用ワークを保持する保持ステップと、該測定用ワークの複数箇所に導電性を有する切削ブレードを接触させ、該セットアップユニットによって、該測定用ワークと、該切削ブレードと、が電気的に導通した際の切削ユニットの高さを検出する高さ検出ステップと、該高さ検出ステップで取得された該切削ユニットの高さの差から、該保持面の上面高さのばらつきを検出するばらつき検出ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
該ばらつきがしきい値以上であれば異常と判定し、該ばらつきがしきい値より小さければ正常と判定する判定ステップをさらに備えてもよい。
【００１０】
該判定ステップの結果が異常である場合、報知する報知ステップを備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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