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公開番号2024165917
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023082508
出願日2023-05-18
発明の名称シート剥離装置およびシート剥離方法
出願人リンテック株式会社
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】剥離している接着シートの異常を検知することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供する。
【解決手段】シート剥離装置EAは、被着体WKに貼付された接着シートASを当該被着体WKから剥離する剥離手段20と、被着体WKから剥離している接着シートASの剥離不良を検知する検知手段30とを備え、剥離手段20は、接着シートASの既剥離部APを当該接着シートASの未剥離部ANに対向するように折り曲げた接着シートASの折曲姿勢を維持する折曲姿勢維持手段21と、当該折曲姿勢維持手段21にトルクを付与して被着体WKから接着シートASを剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段22とを備え、検知手段30は、剥離力付与手段22が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートASの剥離不良を検知する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離手段と、
前記被着体から剥離している前記接着シートの剥離不良を検知する検知手段とを備え、
前記剥離手段は、前記接着シートの既剥離部を当該接着シートの未剥離部に対向するように折り曲げた前記接着シートの折曲姿勢を維持する折曲姿勢維持手段と、当該折曲姿勢維持手段にトルクを付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段とを備え、
前記検知手段は、前記剥離力付与手段が付与するトルクの変化を検出することで、前記接着シートの剥離不良を検知することを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記検知手段は、前記トルクの変化を検出することで、前記接着シートの折曲姿勢に異常があることを検知することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程と、
前記被着体から剥離している前記接着シートの剥離不良を検知する検知工程とを実施し、
前記剥離工程では、前記接着シートの既剥離部を当該接着シートの未剥離部に対向するように折り曲げた前記接着シートの折曲姿勢を折曲姿勢維持手段で維持する折曲姿勢維持工程と、当該折曲姿勢維持手段にトルクを付与して前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離力を付与する剥離力付与工程とを実施し、
前記検知工程では、前記剥離力付与工程で付与するトルクの変化を検出することで、前記接着シートの剥離不良を検知することを特徴とするシート剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
被着体に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－６８７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたシート剥離装置１（シート剥離装置）では、被着体Ｗ（被着体）から剥離している保護シートＳ（接着シート）に異常があっても、当該異常を検知することができないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、剥離している接着シートの異常を検知することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、剥離力付与手段が付与するトルクの変化を検出することで、接着シートの剥離不良を検知するので、剥離している接着シートの異常を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
（Ａ）は、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。（Ｂ）、（Ｃ）は、シート剥離装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付工程を実施する貼付手段１０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫから剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、被着体ＷＫから剥離している接着シートＡＳの剥離不良を検知する検知工程を実施する検知手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する支持手段４０の近傍に配置されている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、基材ＡＢと、基材ＡＢに積層された接着剤層ＡＤとを備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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