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公開番号2024145364
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023057685
出願日2023-03-31
発明の名称測定方法、測定装置、及び検査方法
出願人日置電機株式会社
代理人弁理士法人後藤特許事務所
主分類G01B 7/06 20060101AFI20241004BHJP(測定;試験)
要約【課題】非接触式の測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象物の電気的特性に基づく性状値を測定する測定方法は、測定対象物に非接触で高周波の入力信号Sig1を照射し、測定対象物を透過又は反射した応答信号Sig2を受信するステップと、測定対象物に照射した入力信号Sig1に対する応答信号Sig2の変化を表す応答値を取得するステップと、所定の性状値を有する測定基準物に入力信号Sig1を照射して得られる、性状値と応答値との対応関係に基づいて測定対象物の応答値から測定対象物の性状値を算出するステップと、を含む。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象物の電気的特性に基づく性状値を測定する測定方法であって、
前記測定対象物に高周波の入力信号を非接触で照射し、前記測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信するステップと、
前記測定対象物に照射した前記入力信号に対する前記応答信号の変化を表す応答値を取得するステップと、
所定の前記性状値を有する測定基準物に前記入力信号を照射して得られる、前記性状値と前記応答値との対応関係に基づいて前記測定対象物の前記応答値から前記測定対象物の前記性状値を算出するステップと、を含む、
測定方法。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
請求項１に記載の測定方法であって、
前記性状値とは、前記入力信号の照射方向における前記測定対象物の厚さ、抵抗率、誘電率、及び密度の少なくともいずれかを含む、
測定方法。
【請求項３】
請求項１に記載の測定方法であって、
前記応答値とは、高周波信号の透過波若しくは反射波の強度損失又は位相差である、
測定方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一つに記載の測定方法であって、
前記性状値と前記応答値との前記対応関係は、所定の周波数帯において予め取得されており、
前記入力信号の周波数は、前記対応関係において前記性状値の変化に対する前記応答値の変化の度合いに基づいて設定される、
測定方法。
【請求項５】
測定対象物に高周波の入力信号を非接触で照射する照射部と、
前記測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信する受信部と、
前記入力信号と前記応答信号とに基づいて前記測定対象物の電気的特性に基づく性状値を取得する処理部と、を備え、
前記処理部は、
前記測定対象物に照射した前記入力信号と前記応答信号との変化を表す応答値を取得し、
所定の前記性状値を有する測定基準物に前記入力信号を照射して得られる、前記性状値と前記応答値との対応関係に基づき、取得した前記測定対象物の前記応答値から前記測定対象物の前記性状値を取得する、
測定装置。
【請求項６】
測定対象物の電気的特性に基づく性状値を利用して前記測定対象物の良否を判定する検査方法であって、
前記測定対象物に高周波の入力信号を非接触で照射し、前記測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信するステップと、
前記測定対象物に照射した前記入力信号と前記応答信号との差を表す応答値を取得するステップと、
所定の前記性状値を有する測定基準物に前記入力信号を照射して得られる、前記性状値と前記応答値との対応関係に基づいて設定される判定基準により、取得した前記測定対象物の前記応答値に基づいて前記測定対象物の良否を判定するステップと、を含む、
検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定方法、測定装置、及び検査方法に関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、測定装置であって、測定対象に接触するプローブを有するプローブユニットと、測定対象に電気信号を印加して電位を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づき測定対象の抵抗率を測定する処理部と、を備えるものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－２７３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される測定装置は、プローブを測定対象に接触させる接触式のものである。接触式の測定装置では、プロービングによって測定対象に打痕等が生じるおそれがあることから、柔らかい測定対象の測定には不向きである。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、非接触式の測定方法、測定装置、及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様によれば、測定対象物の電気的特性に基づく性状値を測定する測定方法は、測定対象物に高周波の入力信号を非接触で照射し、測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信するステップと、測定対象物に照射した入力信号に対する応答信号の変化を表す応答値を取得するステップと、所定の性状値を有する測定基準物に入力信号を照射して得られる、性状値と応答値との対応関係に基づいて測定対象物の応答値から測定対象物の性状値を算出するステップと、を含む。
【０００７】
また、本発明のある態様によれば、測定装置は、測定対象物に高周波の入力信号を非接触で照射する照射部と、測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信する受信部と、入力信号と応答信号とに基づいて測定対象物の電気的特性に基づく性状値を取得する処理部と、を備え、処理部は、測定対象物に照射した入力信号に対する応答信号の変化を表す応答値を取得し、所定の性状値を有する測定基準物に入力信号を照射して得られる、性状値と応答値との対応関係に基づき、取得した測定対象物の応答値から測定対象物の性状値を取得する。
【０００８】
また、本発明のある態様によれば、測定対象物の電気的特性に基づく性状値を利用して測定対象物の良否を判定する検査方法は、測定対象物に非接触で高周波の入力信号を照射し、測定対象物を透過又は反射した応答信号を受信するステップと、測定対象物に照射した入力信号に対する応答信号の変化を表す応答値を取得するステップと、所定の性状値を有する測定基準物に入力信号を照射して得られる、性状値と応答値との対応関係に基づいて設定される判定基準により、取得した測定対象物の応答値に基づいて測定対象物の良否を判定するステップと、を含む。
【発明の効果】
【０００９】
これらの態様では、測定対象物の電気的特性に応じて応答信号が変化する高周波信号を利用することで、非接触で測定対象物の性状値の測定又は測定対象物の良否判定をすることができる。これにより、柔らかい測定対象物の性状値を容易に測定又は柔らかい測定対象物の良否を容易に検査することができると共に、接触式プロービングによる打痕等の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本発明の第１実施形態に係る測定装置及び検査装置を示す構成図である。
図２は、第１実施形態に係る測定装置を示すブロック図である。
図３は、第１実施形態に係る測定方法を説明するための図であり、（ａ）は測定基準物に入力信号を照射したときの抵抗率と応答値との関係を示すグラフ図、（ｂ）は測定基準物に入力信号を照射したときの誘電率と応答値との関係を示すグラフ図である。
図４は、第１実施形態に係る測定方法及び検査方法を示すフローチャート図である。
図５は、第１実施形態に係る測定装置の変形例を示す構成図である。
図６は、第２実施形態の測定装置及び検査装置を示す構成図であり、（ａ）は幅方向から見た側面図、（ｂ）は（ａ）のＶＢ－ＶＢ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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