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公開番号2024145941
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023058559
出願日2023-03-31
発明の名称X線検査装置
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人日誠国際特許事務所
主分類G01N 23/04 20180101AFI20241004BHJP(測定;試験)
要約【課題】被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるX線検査装置を提供すること。
【解決手段】順次搬送される被検査物WにX線を照射するX線発生器と、被検査物Wを透過したX線を検出するX線検出器とを備え、被検査物Wが通過する搬送路を挟んで対向するようにX線発生器とX線検出器とが配置されたX線検査装置であって、X線発生器とX線検出器とが被検査物Wの搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成されており、X線発生器とX線検出器とは、被検査物Wの搬送速度と等速で撮像開始位置P1から撮像終了位置P2まで搬送方向に移動しつつ被検査物Wの撮像を行う。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
順次搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（１０）と、
前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出器（１１）と、を備え、
前記被検査物が通過する搬送路（３）を挟んで対向するように、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが配置されたＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成されており、
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記被検査物の搬送速度と等速で撮像開始位置（Ｐ１）から撮像終了位置（Ｐ２）まで前記搬送方向に移動しつつ前記被検査物の撮像を行うＸ線検査装置。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記撮像終了位置まで移動した後、次に搬送される被検査物が前記撮像開始位置に到達する前に前記撮像開始位置に戻るよう構成されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが前記撮像開始位置に戻る移動速度は、前記搬送速度よりも速いことを特徴する請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線検出器がエリアセンサによって構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線検出器がエリアセンサによって構成されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記搬送方向と平行な方向に一体で往復移動可能なようにユニット化されていることを特徴とする請求項５に記載のＸ線検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、搬送路の途中の検査空間の上方に所定高さ離隔して配置され、順次搬送される被検査物に対して当該検査空間においてＸ線を照射するＸ線発生器と、搬送部内にＸ線発生器と対向して配置され、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線ラインセンサと、を備えたＸ線異物検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７０６０４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のＸ線異物検査装置において、被検査物に対する露光時間が短いと、得られる透過画像がノイズの多い画像となってしまう。また、例えば比較的厚さのある被検査物を検査する場合、露光時間が短いと、得られる透過画像が不鮮明な画像となってしまう。このため、被検査物に対する露光時間が短いと、検査精度を向上させることができない。
【０００５】
これに対し、露光時間を長くすると、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるが、露光時間を長くする分、被検査物の搬送速度を遅くしたり、場合によっては一時停止させたりする必要があり、効率的な検査を行うことができない。
【０００６】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＸ線検査装置は、順次搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出器と、を備え、前記被検査物が通過する搬送路を挟んで対向するように、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが配置されたＸ線検査装置であって、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成されており、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記被検査物の搬送速度と等速で撮像開始位置から撮像終了位置まで前記搬送方向に移動しつつ前記被検査物の撮像を行うよう構成されている。
【０００８】
この構成により、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線発生器とＸ線検出器とが、被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動可能に構成され、かつ被検査物の搬送速度と等速で撮像開始位置から撮像終了位置まで搬送方向に移動しつつ被検査物の撮像を行うので、Ｘ線発生器とＸ線検出器とを固定して撮像する構成と比較して、被検査物の搬送速度を減速することなく露光時間を長くすることができる。このため、本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物の搬送速度を減速することなく、ノイズが少なく、かつ鮮明な透過画像を得ることができる。
【０００９】
本発明に係るＸ線検査装置において、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とは、前記撮像終了位置まで移動した後、次に搬送される被検査物が前記撮像開始位置に到達する前に前記撮像開始位置に戻るよう構成されていることが好ましい。
【００１０】
この構成により、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線発生器とＸ線検出器とが撮像終了位置まで移動した後、次に搬送される被検査物が撮像開始位置に到達する前に撮像開始位置に戻るので、順次搬送される被検査物間の隙間時間を利用してＸ線発生器とＸ線検出器とを次の被検査物の撮像に備えて撮像開始位置に戻すことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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