特許ウォッチ

公開番号2024150147
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-23
出願番号2023063413
出願日2023-04-10
発明の名称X線回析測定装置及びプログラム
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/205 20180101AFI20241016BHJP(測定;試験)
要約【課題】試料のパラメータを測定する場合において、α相Kα回折とγ相Kβ回折を用いることで、コストを抑制する。
【解決手段】X線回析測定装置1は、X線が照射された試料から回折した回折環を検出する検出部28と、Kβフィルタを通過せずに検出された回折環から得られる第一回折プロフィルと、当該Kβフィルタを通過して検出された回折環から得られる第二回折プロフィルとに応じて、α相Kα成分とγ相Kβ成分を解析する解析部64と、解析されたα相Kα成分とγ相Kβ成分に基づいて、試料のパラメータを測定する測定部66と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線が照射された試料から回折した回折環を検出する検出部と、
Ｋβフィルタを通過せずに前記検出された回折環から得られる第一回折プロフィルと、当該Ｋβフィルタを通過して前記検出された回折環から得られる第二回折プロフィルとに応じて、α相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分を解析する解析部と、
前記解析されたα相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分に基づいて、前記試料のパラメータを測定する測定部と、
を備えるＸ線回析測定装置。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記解析部は、前記第一回折プロフィルに含まれる一部のα相Ｋα成分に基づいて、前記第二回折プロフィルを補正することによって、α相Ｋα成分を解析する、
請求項１に記載のＸ線回析測定装置。
【請求項３】
前記解析部は、前記解析したα相Ｋα成分と、前記第一回折プロフィルとの差分に基づき、γ相Ｋβ成分を解析する、
請求項２に記載のＸ線回析測定装置。
【請求項４】
前記検出部は、ＳＯＩセンサによって回折環を検出する、
請求項１に記載のＸ線回析測定装置。
【請求項５】
駆動部と前記Ｋβフィルタを有しており、当該駆動部の動作によって、前記検出部が当該Ｋβフィルタを通過していない回折環と当該Ｋβフィルタを通過した回折環を検出可能とするフィルタ切替機構と、
を備える、
請求項１に記載のＸ線回析測定装置。
【請求項６】
前記パラメータは、残留応力又は残留オーステナイト体積率を含む、
請求項１乃至５の何れか１項に記載のＸ線回析測定装置。
【請求項７】
Ｘ線が照射された試料から回折した回折環を検出する検出部と、通信可能なコンピュータを、
Ｋβフィルタを通過せずに前記検出された回折環から得られる第一回折プロフィルと、当該Ｋβフィルタを通過して前記検出された回折環から得られる第二回折プロフィルとに応じて、α相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分を解析する解析部、
前記解析されたα相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分に基づいて、前記試料のパラメータを測定する測定部、
として機能させるプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線回析測定装置及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、試料に向けてＸ線を照射する照射部と、当該試料にて回折したＸ線の回折環を検出する検出部と、を備え、検出された回折環から得られる回折プロフィル等に基づき、試料の半価幅（鉄鋼材料では硬さに相当）や残留応力、残留オーステナイト体積率等のパラメータを測定するＸ線回折測定装置が知られている。
【０００３】
これに関し、特許文献１には、α相（フェライト相又はマルテンサイト相）とγ相（オーステナイト相）との理論回折Ｘ線ピーク強度比から、γ相の体積率を求める技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平７－１４００９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような技術では、回折強度の高いＫα回折（α相Ｋα回折とγ相Ｋα回折）を用いて、α相とγ相からの回折Ｘ線積分強度比により、試料のパラメータを評価している。
【０００６】
図１４は、従来におけるＸ線回折測定装置の一例を示す概略図である。従来技術では、測角機構などを搭載した大型の装置によって回折角±数～数十度の範囲で０・一次元検出器を円弧上に移動させて回折線を得る方法や、直径５０ｍｍほどの二次元検出器において両回折線を同時に取得する方法が用いられていた。
【０００７】
図１５は、従来におけるＸ線回折測定装置によって得られるデータの一例を示す図である。ここで、α相Ｋα回析の回折角とγ相Ｋα回析の回折角は離れているため、従来技術では、Ｘ線検出可能領域を大きくする必要があり、これに伴ってコストが増大する（例えば、センサチップの増設等が必要になる）という問題があった。
また、Ｘ線でα相とγ相が混合する試料からの回折Ｘ線を計測する場合、上述のＫα回折に加えて、γ相Ｋβ回折が現れる。しかしながら、このγ相Ｋβ回折は、γ相Ｋα回折に対して回折強度が低く、一部がα相Ｋα回折に重なるため、無視されたり、Ｖ（バナジウム）フィルタによって減衰（強度低下）させて利用しなかったりすることが一般的であった。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、試料のパラメータを測定する場合において、α相Ｋα回折とγ相Ｋβ回折を用いることで、コストを抑制することができるＸ線回折測定装置及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第一態様に係るＸ線回析測定装置は、Ｘ線が照射された試料から回折した回折環を検出する検出部と、Ｋβフィルタを通過せずに前記検出された回折環から得られる第一回折プロフィルと、当該Ｋβフィルタを通過して前記検出された回折環から得られる第二回折プロフィルとに応じて、α相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分を解析する解析部と、前記解析されたα相Ｋα成分とγ相Ｋβ成分に基づいて、前記試料のパラメータを測定する測定部と、を備える。
【００１０】
また、本発明の第二態様では、前記解析部は、前記第一回折プロフィルに含まれる一部のα相Ｋα成分に基づいて、前記第二回折プロフィルを補正することによって、α相Ｋα成分を解析する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許