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公開番号2024139276
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023050145
出願日2023-03-27
発明の名称パーティクル検出装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 15/1409 20240101AFI20241002BHJP(測定;試験)
要約【課題】光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側の圧力を所望する圧力に精度良く減圧できるパーティクル検出装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出装置10は、圧力調整部26を備える。圧力調整部26は、一次ポート61を経由して導入された第1圧力P1をパイロット圧力とするとともに、二次ポート62を経由して導入されたセンサ上流部20aの第2圧力P2をフィードバック圧力として動作するダイヤフラム式のレギュレータである。パイロット圧力は、圧力調整部26の設定圧力より大きく設定されている。センサ上流部20aの圧力が、設定圧力を上回ると、圧力調整部26は、センサ上流部20aの圧縮流体を二次ポート62から導入して排気ポート63から大気に排出する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
流体供給源からの圧縮流体を流体圧機器に供給する供給流路から分岐するとともに前記供給流路を流れる圧縮流体の一部が流れる分岐流路と、
前記分岐流路に設けられるとともに前記分岐流路を流れる圧縮流体に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、
前記分岐流路における前記光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側に設けられる第１減圧部と、
前記分岐流路における前記第１減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側に設けられる第２減圧部と、
前記分岐流路における前記第１減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記分岐流路における前記第２減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の上流側であるセンサ上流部の圧力を予め設定された設定圧力に調整する圧力調整部と、を備え、
前記圧力調整部は、一次ポート、二次ポート、及び排気ポートを備え、
前記一次ポートは、前記供給流路における前記分岐流路よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記流体圧機器よりも圧縮流体の流れ方向の上流側に接続されるとともに、
前記二次ポートは、前記分岐流路における前記センサ上流部に接続され、
前記排気ポートは、大気に開放されており、
前記圧力調整部は、前記一次ポートを経由して導入された前記供給流路の圧力をパイロット圧力とするとともに、前記二次ポートを経由して導入された前記センサ上流部の圧力をフィードバック圧力として動作するダイヤフラム式のレギュレータであり、
前記パイロット圧力は、前記設定圧力より大きく設定されており、
前記センサ上流部の圧力が、前記設定圧力を上回ると、前記圧力調整部は、前記センサ上流部の圧縮流体を前記二次ポートから導入して前記排気ポートから大気に排出することを特徴とするパーティクル検出装置。
続きを表示（約 75 文字）【請求項２】
前記センサ上流部と前記二次ポートを接続する接続流路には、フィルタが設けられている請求項１に記載のパーティクル検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮流体に含まれるパーティクルを検出するパーティクル検出装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
パーティクル検出装置は、流体供給源からの圧縮流体を流体圧機器に供給する供給流路から分岐する分岐流路を備えている。分岐流路には、供給流路を流れる圧縮流体の一部が流れる。また、パーティクル検出装置は、光学的センサを備えている。光学的センサは、分岐流路に設けられている。そして、光学的センサは、分岐流路を流れる圧縮流体に含まれるパーティクルを検出する。
【０００３】
パーティクル検出装置では、予め設定された流量の圧縮流体が光学的センサに流れるように、分岐流路の圧力が調整されている。例えば、特許文献１に開示されるように、光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側には、流量調整のために圧縮流体を減圧する流路縮小管が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第５５９９２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
パーティクル検出装置では、予め設定された流量の圧縮流体が光学的センサに流れるように、光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側の圧力を所望する圧力に精度良く減圧することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するためのパーティクル検出装置は、流体供給源からの圧縮流体を流体圧機器に供給する供給流路から分岐するとともに前記供給流路を流れる圧縮流体の一部が流れる分岐流路と、前記分岐流路に設けられるとともに前記分岐流路を流れる圧縮流体に含まれるパーティクルを検出する光学的センサと、前記分岐流路における前記光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側に設けられる第１減圧部と、前記分岐流路における前記第１減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側に設けられる第２減圧部と、前記分岐流路における前記第１減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記分岐流路における前記第２減圧部よりも圧縮流体の流れ方向の上流側であるセンサ上流部の圧力を予め設定された設定圧力に調整する圧力調整部と、を備え、前記圧力調整部は、一次ポート、二次ポート、及び排気ポートを備え、前記一次ポートは、前記供給流路における前記分岐流路よりも圧縮流体の流れ方向の下流側、かつ前記流体圧機器よりも圧縮流体の流れ方向の上流側に接続されるとともに、前記二次ポートは、前記分岐流路における前記センサ上流部に接続され、前記排気ポートは、大気に開放されており、前記圧力調整部は、前記一次ポートを経由して導入された前記供給流路の圧力をパイロット圧力とするとともに、前記二次ポートを経由して導入された前記センサ上流部の圧力をフィードバック圧力として動作するダイヤフラム式のレギュレータであり、前記パイロット圧力は、前記設定圧力より大きく設定されており、前記センサ上流部の圧力が、前記設定圧力を上回ると、前記圧力調整部は、前記センサ上流部の圧縮流体を前記二次ポートから導入して前記排気ポートから大気に排出することを要旨とする。
【０００７】
パーティクル検出装置について、前記センサ上流部と前記二次ポートを接続する接続流路には、フィルタが設けられていてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、光学的センサよりも圧縮流体の流れ方向の上流側の圧力を所望する圧力に精度良く減圧できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、パーティクル検出装置を説明するための図である。
図２は、圧力調整部を模式的に示す図である。
図３は、通常時のパーティクル検出装置を説明するための図である。
図４は、第２圧力が上昇したときを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、パーティクル検出装置を具体化した一実施形態を図１～図４にしたがって説明する。
＜パーティクル検出装置＞
図１に示すように、パーティクル検出装置１０は、ボディ１１を備えている。ボディ１１は、樹脂製又は金属製である。ボディ１１は、上流ポート１１ａ及び下流ポート１１ｂを備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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