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公開番号2024136151
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023047152
出願日2023-03-23
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】箔電極を誘電体で覆うエキシマランプにおいて、放電の偏りを抑える。
【解決手段】誘電体50によって箔電極30を被覆し、誘電体50と放電管20との間に放電空間Sを形成したエキシマランプ10において、断面長楕円状または断面長円状の誘電体50に対し、箔電極30が同軸的な配置された状態で被覆されている。誘電体50は、放電管20に対して同軸的に配置される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ランプ軸方向に沿って帯状に延びる箔電極と、
前記箔電極を被覆する誘電体と、
前記誘電体との間に放電空間を形成する管状の放電容器とを備え、
前記誘電体が、前記箔電極の幅方向に沿って厚さが略一定の四角柱状部と、前記四角柱状部の両端で一体に成形された半円柱状部とによって構成されることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記誘電体の管軸方向から見た外観形状が、長楕円形または長円形であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記誘電体の断面が、長楕円状または長円状であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記誘電体の断面の輪郭線が、前記箔電極の幅方向に平行な一対の直線状の輪郭線と、前記直線状の輪郭線の両端をそれぞれ接続する半楕円状または半円状の輪郭線とによって構成されることを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記誘電体において、前記四角柱状部と、前記半円柱状部との境界の位置は、前記箔電極の幅方向両端よりも電極幅中央側にあることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記箔電極の厚さ方向に沿った前記箔電極から前記誘電体の外表面までの距離をＴ２、前記箔電極の厚さ方向に沿った前記誘電体の幅をＷ２とし、また、前記箔電極の幅方向に沿った前記誘電体の幅をＷ１、前記箔電極の幅方向に沿った前記箔電極の端から前記誘電体の外表面までの距離をＴ１とした場合、以下の式を満たすことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
Ｗ２＜Ｗ１・・・・（１）
Ｔ２＞Ｔ１・・・・（２）
【請求項７】
前記箔電極の厚さ方向に沿った前記誘電体の幅よりも大きく、前記箔電極の幅方向に沿った前記誘電体の幅より小さい内径を有する突起状部分が、前記放電容器の一方の軸方向端部に同軸的に形成され、
前記誘電体の一方の軸方向端部が、前記突起状部分の内部空間を閉塞しないように、前記突起状部分の内面と部分的に接触することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記箔電極が、前記誘電体に対して同軸的に配置され、
前記誘電体が、前記放電容器に対して同軸的に配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、放電容器内に配置される箔電極および箔電極を覆う誘電体の構成に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
エキシマランプでは、一対の電極間に数ｋＶの高周波電圧を印加することにより、放電空間においてエキシマ放電を発生させる。例えば、二重管型のエキシマランプでは、軸方向に延びる２つの同軸円筒管によって発光部が構成され、内側管と外側管との間に形成される放電空間に対し、放電ガスが封入される。そして、誘電体である内側管内あるいは管壁に設けられた電極（内側電極）と、外側管の外表面側にある電極（外側電極）との間に高周波電圧を印加することによって、放電発光させる。
【０００３】
エキシマランプへ大電力を供給すると、電極を覆う誘電体と電極との間の熱膨張差によって電極が誘電体から剥離しやすくなる。そのため、誘電体に被覆される箔電極の両端部を、ナイフエッジ状に形成する（特許文献１参照）。電極縁部分において電解集中が生じ、電解強度が強くなることにより、比較的低電圧の印加によっても点灯始動可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第５５０４０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
箔電極の両端部付近をナイフエッジ形状にすることにより、ランプ点灯時、箔電極の幅方向縁付近における電解強度が過度に強くなり、放電空間内において放電のランプ周方向に対する偏りが生じる。特に、箔電極を覆う誘電体との密着が十分でない場合、剥離発生に繋がる恐れがある。
【０００６】
したがって、箔電極を誘電体で覆うエキシマランプにおいて、放電の偏りを抑えることが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、箔電極を被覆する誘電体の形状に対し、技術的動向が向けられている。本発明の一態様であるエキシマランプは、ランプ軸方向に沿って帯状に延びる箔電極と、箔電極を被覆する誘電体と、誘電体との間に放電空間を形成する管状の放電容器とを備える。そして、誘電体が、箔電極の幅方向に沿って厚さが略一定の四角柱状部と、直方形部の両端で一体に成形された半円柱状部とによって構成される。
【０００８】
ここで、「四角柱状部」は、そのランプ径方向に沿った断面が正方形や長方形などの四角形に近似する形状であって、ランプ軸方向に沿って一様な断面形状の柱状体であり、この四角柱状部が箔電極を厚さ方向の両側から被覆することを示す。また、「半円状部」は、そのランプ径方向に沿った断面が半楕円形などの半円形に近似する形状であって、ランプ軸方向に沿って一様な断面形状の半円柱状体であり、この半円柱状部が箔電極の幅方向の両側から被覆することを示す。
【０００９】
誘電体の管軸方向から見た外観形状が、長楕円形または長円形となるように構成されている。例えば、箔電極が、誘電体に対して同軸的に配置され、誘電体が、放電容器に対して同軸的に配置されるように、構成することが可能である。
【００１０】
ここで、「長楕円形」、「長円形」は、その断面がオーバル状である外観形状であることを示す。ここでの「オーバル状」という用語には、楕円状、互いに略平行な直線部分を間に介在して両端が反円状となる長楕円状や長円状が含まれる。ここで、「長楕円状」とは、互いに略平行な直線部分の区画があって、その両端から半楕円状となった断面形状として定義される。
（【００１１】以降は省略されています）

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