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公開番号2024135491
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023046200
出願日2023-03-23
発明の名称放熱シートおよび放熱シートの製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類C23C 28/02 20060101AFI20240927BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】グラファイトシートと金属膜との密着性を損なうことなく、接着剤を削減する放熱シートを提供する。
【解決手段】放熱シート1は、グラファイトシート10を備える放熱シートであって、グラファイトシート10の両面または片面に配置されており、金属粒子が連なって堆積した層構造を有する下地層21と、金属のめっき層22との積層構造を有する金属膜20を備え、前記グラファイトシート10の主面側からみて、前記下地層21における前記金属粒子の大きさは0.9μm以上500μm以下である。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
グラファイトシートを備える放熱シートであって、
前記グラファイトシートの両面または片面に配置されており、金属粒子が連なって堆積した層構造を有する下地層と、金属のめっき層との積層構造を有する金属膜を備え、
前記グラファイトシートの主面側からみて、前記下地層における前記金属粒子の大きさは０．９μｍ以上５００μｍ以下である、
放熱シート。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記グラファイトシートの主面に沿う前記下地層の断面、および、前記グラファイトシートの主面に交差する前記下地層の断面において、前記金属粒子の粒界には隙間が存在し、
前記下地層における前記めっき層側の一部の前記金属粒子の粒界の隙間には、前記めっき層の一部が埋め込まれている、
請求項１に記載の放熱シート。
【請求項３】
前記グラファイトシートの主面に交差する断面において、前記グラファイトシートと前記下地層の前記金属粒子との境界には隙間が存在する、請求項１または２に記載の放熱シート。
【請求項４】
請求項１に記載の放熱シートの製造方法であって、
減圧溶射法を用いて、減圧環境下で、放電によって金属粒子を溶融させ、キャリアガスによって溶融された金属粒子を前記グラファイトシートに噴射し、前記グラファイトシート上に金属粒子を堆積させることにより、前記下地層を形成する工程と、
めっき法を用いて、前記下地層上に金属のめっき層を形成する工程と、
を含む、放熱シートの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱シートおよび放熱シートの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
グラファイトシートを用いた放熱シートが知られている（例えば特許文献１参照）。このような放熱シートでは、半田との接合性を高めるために、グラファイトシートの表面に金属膜を配置するすることがある。また、このような放熱シートでは、グラファイトシートの表面に接着剤を塗布することにより、グラファイトシートと金属膜との密着性を高めることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１８／１３９３６４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、グラファイトシートと金属膜との密着性を損なうことなく、接着剤を削減する放熱シートおよび放熱シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る放熱シートは、グラファイトシートを備える放熱シートであって、前記グラファイトシートの両面または片面に配置されており、金属粒子が連なって堆積した層構造を有する下地層と、金属のめっき層との積層構造を有する金属膜を備え、前記グラファイトシートの主面側からみて、前記下地層における前記金属粒子の大きさは０．９μｍ以上５００μｍ以下である。
【０００６】
本発明に係る放熱シートの製造方法は、上記の放熱シートの製造方法であって、減圧溶射法を用いて、減圧環境下で、放電によって金属粒子を溶融させ、キャリアガスによって溶融された金属粒子を前記グラファイトシートに噴射し、前記グラファイトシート上に金属粒子を堆積させることにより、前記下地層を形成する工程と、めっき法を用いて、前記下地層上に金属のめっき層を形成する工程とを含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、放熱シートにおいて、グラファイトシートと金属膜との密着性を損なうことなく、接着剤を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態に係る放熱シートの側面を示す概略図である。
本実施形態に係る放熱シートの製造方法における金属膜の下地層形成工程を示す図である。
本実施形態に係る放熱シートの製造方法における金属膜のめっき層形成工程を示す図である。
本実施形態の変形例に係る放熱シートの側面を示す概略図である。
図１の放熱シートにおける金属膜の下地層の表面を撮像したＳＥＭ画像の一例である。
図４ＡのＩＶＢ部分を拡大したＳＥＭ画像の一例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。また、便宜上、ハッチングや部材符号等を省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。
【００１０】
（放熱シート）
図１は、本実施形態に係る放熱シートの側面を示す概略図である。図１に示すように、放熱シート１は、グラファイトシート１０と、グラファイトシート１０上に配置された金属膜２０とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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