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公開番号2025005899
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023106326
出願日2023-06-28
発明の名称製膜装置、製膜方法、容器の製造方法、および、容器
出願人株式会社カネカ,株式会社島津製作所,島津産機システムズ株式会社
代理人個人,個人
主分類C23C 16/455 20060101AFI20250109BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】容器の熱変質を抑制する製膜装置を提供する。
【解決手段】製膜装置1は、プラズマ方式により、容器5の内面にバリア膜5Aを製膜する製膜装置であって、第1空間R1と、容器を配置する第2空間R2とに仕切られた真空チャンバ10と、第1空間R1の第2空間R2側に配置されたアノード電極21と、アノード電極21と対向するように、第1空間R1に配置されたカソード電極22と、第1空間R1にバリア膜5Aの原料ガスを供給する原料ガス供給機構30と、第2空間R2の排気を行う排気機構40とを備える。アノード電極21は、真空チャンバ10において、第1空間R1と第2空間R2との仕切り部材として機能し、第1空間R1と第2空間R2とを連通する孔21Aを有し、容器5の内部まで延在するように、孔21Aに連通して第2空間R2側に延在する管状部材21Bを有する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
プラズマ方式により、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜装置であって、
第１空間と前記容器を配置する第２空間とに仕切られた真空チャンバと、
前記第１空間の前記第２空間側に配置されたアノード電極と、
前記アノード電極と対向するように、前記第１空間に配置されたカソード電極と、
前記第１空間に前記バリア膜の原料ガスを供給する原料ガス供給機構と、
前記第２空間の排気を行う排気機構と、
を備え、
前記アノード電極は、
前記真空チャンバにおいて、前記第１空間と前記第２空間との仕切り部材として機能し、
前記第１空間と前記第２空間とを連通する孔を有し、
前記容器の内部まで延在するように、前記孔に連通して前記第２空間側に延在する管状部材を有する、
製膜装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記アノード電極における前記管状部材の形状は、前記第１空間側から前記第２空間側に向けて次第に小さくなる部分を有する漏斗形状である、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項３】
前記アノード電極は、グランド電位に接続されている、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項４】
前記アノード電極は、複数の前記孔と、前記複数の孔の各々に対応する複数の前記管状部材を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の製膜装置。
【請求項５】
請求項１～３のいずれか１項に記載の製膜装置を用いて、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜方法であって、
前記排気機構によって、前記真空チャンバの前記第２空間の排気を行い、前記アノード電極の前記孔および前記管状部材を介して前記真空チャンバの前記第１空間の排気を行い、
前記原料ガス供給機構によって、前記真空チャンバの前記第１空間に前記バリア膜の原料ガスを供給し、
前記アノード電極および前記カソード電極によって、前記第１空間に、プラズマを生成して、前記原料ガスの活性種を生成し、
前記排気機構による排気によって、前記第２空間を排気し、前記アノード電極の前記孔および前記管状部材を介して、前記第１空間で生成された前記原料ガスの活性種を前記容器の内部に引き込み、前記容器の内部に前記バリア膜を製膜し、
前記プラズマ中の電子は、前記容器に衝突することなく、前記アノード電極に向かう、
製膜方法。
【請求項６】
請求項５に記載の製膜方法を用いて、内面にバリア膜を製膜した容器を製造する容器の製造方法。
【請求項７】
前記容器が生分解性樹脂を含む、請求項６に記載の容器の製造方法。
【請求項８】
前記生分解性樹脂が、ポリヒドロキシアルカノエート樹脂を含む、請求項７に記載の容器の製造方法。
【請求項９】
請求項１～３のいずれか１項に記載の製膜装置を用いて、内面にバリア膜を製膜した容器。
【請求項１０】
生分解性樹脂からなる、請求項９に記載の容器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜装置、その製膜装置を用いた製膜方法、その製膜方法を用いた容器の製造方法、および、内面にバリア膜を製膜した容器に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
水分、ガスまたは光等の容器外環境から、容器内に収容された収容物を保護するために、または、容器内に収容された液体、ガス等の収容物から、容器を保護するために、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜技術が知られている。例えば特許文献１には、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示の製膜装置は、容器の外部を囲う第１電極（アノード電極）と、容器の内部に挿入され、バリア膜の原料ガスの供給管を兼ねる第２電極（カソード電極）とを備え、容器の内部でプラズマを生成し、容器の内部にバリア膜を製膜する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－８６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示の製膜装置では、容器の内部でプラズマを生成するため、プラズマ中の電子が容器に衝突し、容器が発熱してしまうことが考えられる。そのため、容器が熱に弱い材料で形成される場合、容器が熱変質してしまうことが考えられる。
【０００６】
本発明は、容器の熱変質を抑制する製膜装置、製膜方法、容器の製造方法、および、容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る製膜装置は、プラズマ方式により、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜装置であって、第１空間と前記容器を配置する第２空間とに仕切られた真空チャンバと、前記第１空間の前記第２空間側に配置されたアノード電極と、前記アノード電極と対向するように、前記第１空間に配置されたカソード電極と、前記第１空間に前記バリア膜の原料ガスを供給する原料ガス供給機構と、前記第２空間の排気を行う排気機構とを備える。前記アノード電極は、前記真空チャンバにおいて、前記第１空間と前記第２空間との仕切り部材として機能し、前記第１空間と前記第２空間とを連通する孔を有し、前記容器の内部まで延在するように、前記孔に連通して前記第２空間側に延在する管状部材を有する。
【０００８】
本発明に係る製膜方法は、上記の製膜装置を用いて、容器の内面にバリア膜を製膜する製膜方法であって、（１）前記排気機構によって、前記真空チャンバの前記第２空間の排気を行い、前記アノード電極の前記孔および前記管状部材を介して前記真空チャンバの前記第１空間の排気を行い、（２）前記原料ガス供給機構によって、前記真空チャンバの前記第１空間に前記バリア膜の原料ガスを供給し、（３）前記アノード電極および前記カソード電極によって、前記第１空間に、プラズマを生成して、前記原料ガスの活性種を生成し、（４）前記排気機構による排気によって、前記第２空間を排気し、前記アノード電極の前記孔および前記管状部材を介して、前記第１空間で生成された前記原料ガスの活性種を前記容器の内部に引き込み、前記容器の内部に前記バリア膜を製膜し、（５）前記プラズマ中の電子は、前記容器に衝突することなく、前記アノード電極に向かう。
【０００９】
本発明に係る容器の製造方法は、上記の製膜方法を用いて、内面にバリア膜を製膜した容器を製造する。
【００１０】
本発明に係る容器は、上記の製膜装置を用いて、内面にバリア膜を製膜した容器である。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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