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公開番号2024132563
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-01
出願番号2023043379
出願日2023-03-17
発明の名称X線検査装置及びX線検査装置の感度補正方法
出願人株式会社イシダ
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 23/18 20180101AFI20240920BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査性能を良好に発揮可能なX線検査装置及びX線検査装置の感度補正方法を提供する。
【解決手段】
X線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にX線を照射するX線源と、X線をフォトンカウンティング方式で検出可能な検出部と、検出部で検出したX線を2以上のエネルギー領域に弁別するための閾値を設定する閾値設定部と、検出部により検出される物品を透過したX線に基づき、物品の検査を実施する検査部と、検出部により検出される物品を透過していないX線に基づき、検出部の感度補正を実施する感度補正部と、を備え、検出部は、閾値により2以上のエネルギー領域に弁別してX線を検出し、感度補正部は、閾値設定部によって閾値が変更される際に感度補正を実施する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な検出部と、
前記検出部で検出した前記Ｘ線を２以上のエネルギー領域に弁別するための閾値を設定する閾値設定部と、
前記検出部により検出される前記物品を透過した前記Ｘ線に基づき、前記物品の検査を実施する検査部と、
前記検出部により検出される前記物品を透過していないＸ線に基づき、前記検出部の感度補正を実施する感度補正部と、
を備え、
前記検出部は、前記閾値により前記２以上のエネルギー領域に弁別して前記Ｘ線を検出し、
前記感度補正部は、前記閾値設定部によって前記閾値が変更される際に前記感度補正を実施する、
Ｘ線検査装置。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記検出部の出力結果に基づいた、前記２以上のエネルギー領域に対応する２以上のＸ線透過画像を生成する画像生成部をさらに備え、
前記閾値設定部は、前記画像生成部により生成された前記２以上のＸ線透過画像の濃淡に基づき前記閾値を設定する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記閾値を記憶する記憶部をさらに備え、
前記記憶部は、前記物品の種類に対応する前記閾値を記憶し、
前記感度補正部は、前記物品の種類が切り替えられる際に感度補正を実施する、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記閾値を記憶する記憶部をさらに備え、
前記記憶部は、前記物品の種類に対応する前記閾値を記憶し、
前記感度補正部は前記物品の種類が切り替えられ、かつ、前記閾値が変更される際に感度補正を実施する、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
電磁波をフォトンカウンティング方式で検出可能であって、任意の閾値により２以上のエネルギー領域に弁別する検出部によって、物品を透過していないＸ線を検出するステップと、
前記検出部により検出される前記Ｘ線に基づき、前記検出部の感度補正を実施するステップと、
を備え、
前記任意の閾値が変更される際に前記感度補正を実施する前記ステップが実行される、
Ｘ線検査装置の感度補正方法。
【請求項６】
前記検出部の出力結果に基づいて、前記２以上のエネルギー領域に対応する２以上のＸ線透過画像を生成するステップと、
前記２以上のＸ線透過画像の濃淡に基づき、前記任意の閾値を設定するステップと、
をさらに備える、請求項５に記載の感度補正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のＸ線検査装置として、例えば、特許文献１に記載された装置が知られている。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、被測定物を透過したＸ線の各光子について、光子が持つエネルギーを所定の個数のエネルギー閾値に照らして、２以上のエネルギー領域に弁別して検出するＸ線検出手段と、複数種別の被測定物のそれぞれについて、被測定物とエネルギー閾値とが直接的又は間接的に対応付けられて記憶された記憶手段と、記憶手段を参照し、入力された情報により種別が特定された被測定物に対応する閾値を、所定の閾値としてＸ線検出手段が参照できるように保持する閾値設定手段と、Ｘ線検出手段が所定の１以上のエネルギー領域のそれぞれについて検出した光子の数又は光子の数に応じた量に基づいて、被測定物を検査する検査手段とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６５６９０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなＸ線検査装置では、記憶手段によって予め記憶され、被測定物である物品の物性に応じたエネルギー閾値を用いることができる。しかしながら、例えば、Ｘ線検査装置によって検査される物品の変更などを実施した場合、Ｘ線検査装置の検査性能が十全に発揮されないことがある。
【０００５】
本発明の一側面の目的は、検査性能を良好に発揮可能なＸ線検査装置及びＸ線検査装置の感度補正方法の提供である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能な検出部と、検出部で検出したＸ線を２以上のエネルギー領域に弁別するための閾値を設定する閾値設定部と、検出部により検出される物品を透過したＸ線に基づき、物品の検査を実施する検査部と、検出部により検出される物品を透過していないＸ線に基づき、検出部の感度補正を実施する感度補正部と、を備え、検出部は、閾値により２以上のエネルギー領域に弁別してＸ線を検出し、感度補正部は、閾値設定部によって閾値が変更される際に感度補正を実施する。
【０００７】
フォトンカウンティング方式で検出可能な検出部を備えるＸ線検査装置の検査性能を良好に発揮するためには、検査対象物である物品に応じた閾値の設定だけではなく、当該閾値に応じた検出部の感度補正（キャリブレーション）の実施が重要である。ここで、上記Ｘ線検査装置では、感度補正部は、閾値設定部によって閾値が変更される際に感度補正を実施する。これにより、設定された閾値に応じた感度補正が実施され得る。したがって、Ｘ線検査装置の検査性能が良好に発揮可能になる。
【０００８】
（２）上記（１）に記載されるＸ線検査装置は、検出部の出力結果に基づいた、２以上のエネルギー領域に対応する２以上のＸ線透過画像を生成する画像生成部をさらに備え、閾値設定部は、画像生成部により生成された２以上のＸ線透過画像の濃淡に基づき閾値を設定してもよい。この場合、例えばＸ線検査装置によって検査される物品が変更されたときなどに、閾値設定部は、２以上のＸ線透過画像を利用して、上記変更に応じた適切な閾値を設定できる。加えて、設定された当該閾値に応じた感度補正が実施される。よって、物品の変更などが実施された場合であっても、検査性能が良好に発揮可能になる。
【０００９】
（３）上記（１）または（２）に記載されるＸ線検査装置は、閾値を記憶する記憶部をさらに備え、記憶部は、物品の種類に対応する閾値を記憶し、感度補正部は、物品の種類が切り替えられる際に感度補正を実施してもよい。この場合、物品の種類に対応する閾値に感度補正が実施され得るので、Ｘ線検査装置の検査性能を良好に発揮できる。
【００１０】
（４）上記（１）～（３）のいずれかに記載されるＸ線検査装置は、閾値を記憶する記憶部をさらに備え、記憶部は、物品の種類に対応する閾値を記憶し、感度補正部は物品の種類が切り替えられ、かつ、閾値が変更される際に感度補正を実施してもよい。この場合、閾値が変更されない限り感度補正が実施されないので、Ｘ線検査装置の準備を効率化できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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