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公開番号2024134363
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-03
出願番号2023044623
出願日2023-03-20
発明の名称X線検査装置及びX線センサユニットの検査方法
出願人株式会社イシダ
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01T 1/24 20060101AFI20240926BHJP(測定;試験)
要約【課題】時間遅延積分駆動時におけるX線センサユニットの状態を良好に判定できるX線検査装置及びX線センサユニットの検査方法を提供する。
【解決手段】X線検査装置は、搬送される物品にX線を照射する照射部と、X線をフォトンカウンティング方式で検出するセンサ部、及び、センサ部から出力される検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部を有するX線センサユニットと、画像に基づき物品を検査する第1モード、及び、時間遅延積分駆動時のX線センサユニットの状態を判定する第2モードを有する制御部と、を備え、第2モードにおいて、制御部は、時刻t1にセンサ部から出力される検出結果に基づいて生成される第1画像と、時刻t1より後の時刻t2までにセンサ部から出力される検出結果を積算して生成される第2画像とを比較することにより、X線センサユニットの状態を判定する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
物品を搬送する搬送部と、
前記搬送部に搬送される前記物品にＸ線を照射する照射部と、
前記Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出するセンサ部、及び、前記センサ部から出力される検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部を有するＸ線センサユニットと、
前記画像に基づき前記物品を検査する第１モード、及び、時間遅延積分駆動時の前記Ｘ線センサユニットの状態を判定する第２モードを有する制御部と、を備え、
前記第２モードにおいて、
前記センサ部は、前記物品を透過していない前記Ｘ線を検出し、
前記制御部は、時刻ｔ１に前記センサ部から出力される検出結果に基づいて生成される第１画像と、前記時刻ｔ１より後の時刻ｔ２までに前記センサ部から出力される検出結果を積算して生成される第２画像とを比較することにより、時間遅延積分駆動時の前記Ｘ線センサユニットの状態を判定する、
Ｘ線検査装置。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記物品を透過していない前記Ｘ線に基づいて前記センサ部の感度補正を行う感度補正部をさらに備え、
前記制御部は、前記感度補正部により前記感度補正が行われたとき、時間遅延積分駆動時の前記Ｘ線センサユニットの状態を判定する、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第２画像が前記第１画像よりも所定の割合以上暗い場合、前記Ｘ線センサユニットを不良と判定する、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記第２モードにおいて、前記制御部は、時間遅延積分駆動時における前記センサ部から前記画像生成部への伝送状態、及び、時間遅延積分駆動時における前記画像生成部による画像生成動作の状態の少なくとも一方を判定する、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出するセンサ部、及び、前記センサ部から出力される検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部を有するＸ線センサユニットの検査方法であって、
時刻ｔ１に前記センサ部から出力される検出結果に基づいて生成される第１画像と、前記時刻ｔ１より後の時刻ｔ２までに前記センサ部から出力される検出結果を積算して生成される第２画像とを比較し、時間遅延積分駆動時の前記Ｘ線センサユニットの状態を判定する工程を備える、
Ｘ線センサユニットの検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、Ｘ線検査装置及びＸ線センサユニットの検査方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、発光素子の発光量設定を行う発光量設定手段と、該設定された発光量に基づき該発光素子に流れる電流の電流制御を行う電流制御手段と、設定した発光置と該発光量に対応した検知信号とを比較し、光センサの異常を検知する異常検知手段とを有する自己診断機能を有する光センサが開示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１－１１６４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、Ｘ線検査装置には、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出可能なセンサユニットが用いられることがある。このようなセンサユニットには、時間遅延積分方式（ＴＤＩ方式）にて駆動するときに出力低下していく不良品が存在することがある。ここで当該センサユニットは、通常駆動時においては正常に出力することが多い。このため、ＴＤＩ駆動時に不具合を生じ得るセンサユニットがＸ線検査装置に含まれていることが見逃されることがある。よって、通常駆動時には正常に出力する一方、時間遅延積分駆動時には出力低下が見られるＸ線センサユニットがＸ線検査装置に含まれているか否かを判定できる手法が望まれている。
【０００５】
本発明の一側面の目的は、時間遅延積分駆動時におけるＸ線センサユニットの状態を良好に判定できるＸ線検査装置及びＸ線センサユニットの検査方法の提供である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部に搬送される物品にＸ線を照射する照射部と、Ｘ線をフォトンカウンティング方式で検出するセンサ部、及び、センサ部から出力される検出結果に基づいて画像を生成する画像生成部を有するＸ線センサユニットと、画像に基づき物品を検査する第１モード、及び、時間遅延積分駆動時のＸ線センサユニットの状態を判定する第２モードを有する制御部と、を備え、第２モードにおいて、センサ部は、物品を透過していないＸ線を検出し、制御部は、時刻ｔ１にセンサ部から出力される検出結果に基づいて生成される第１画像と、時刻ｔ１より後の時刻ｔ２までにセンサ部から出力される検出結果を積算して生成される第２画像とを比較することにより、時間遅延積分駆動時のＸ線センサユニットの状態を判定する。
【０００７】
このＸ線検査装置では、第２モードにおいて、時刻ｔ１にセンサ部から出力される検出結果に基づいて生成される第１画像と、時刻ｔ１より後の時刻ｔ２までにセンサ部から出力される検出結果を積算して生成される第２画像とを比較する。これにより、通常駆動時におけるセンサ部の出力と、時間遅延積層駆動時のセンサ部の出力とを比較できる。この比較を用いて、例えば、時間遅延積分駆動時におけるＸ線センサユニットに不具合があるか否かを容易に判定できる。したがって、上記Ｘ線検査装置の利用によって、時間遅延積分駆動時におけるＸ線センサユニットの状態を良好に判定できる。
【０００８】
（２）上記（１）に記載されるＸ線検査装置は、物品を透過していないＸ線に基づいてセンサ部の感度補正を行う感度補正部をさらに備え、制御部は、感度補正部により感度補正が行われたとき、時間遅延積分駆動時のＸ線センサユニットの状態を判定してもよい。この場合、例えばＸ線検査装置による物品の検査前などに、時間遅延積分駆動時におけるＸ線センサユニットの状態を良好に判定できる。
【０００９】
（３）上記（１）または（２）に記載されるＸ線検査装置にて、制御部は、第２画像が第１画像よりも所定の割合以上暗い場合、Ｘ線センサユニットを不良と判定してもよい。
【００１０】
（４）上記（１）～（３）のいずれかに記載されるＸ線検査装置にて、第２モードにおいて、制御部は、時間遅延積分駆動時におけるセンサ部から画像生成部への伝送状態、及び、時間遅延積分駆動時における画像生成部による画像生成動作の状態の少なくとも一方を判定してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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