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公開番号
2024112420
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-08-21
出願番号
2023017400
出願日
2023-02-08
発明の名称
電気光学装置および電子機器
出願人
セイコーエプソン株式会社
代理人
個人
,
個人
,
個人
主分類
G02F
1/1343 20060101AFI20240814BHJP(光学)
要約
【課題】レイアウト上の制約を満たすとともに、画素電極とトランジスターとを確実に電気的に接続できる電気光学装置を提供すること。
【解決手段】トランジスター1と、トランジスター1に対応して設けられた画素電極10と、トランジスター1と画素電極10との間にレンズ層34を含んで設けられ、凹部33aおよび凹部33aの底部にコンタクトホール33bを有するレンズ形成層35と、凹部33aおよびコンタクトホール33b内に設けられ、トランジスター1と画素電極10とを電気的に接続するコンタクトプラグ31と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲
【請求項1】
トランジスターと、
前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、
前記トランジスターと前記画素電極との間にレンズ層を含んで設けられ、第1凹部および前記第1凹部の底部に第1コンタクトホールを有する第1絶縁部材と、
前記第1凹部および前記第1コンタクトホール内に設けられ、前記トランジスターと前記画素電極とを電気的に接続する第1接続部材と、を備える、
電気光学装置。
続きを表示(約 1,000 文字)
【請求項2】
前記第1絶縁部材と前記画素電極との間に設けられ、第2コンタクトホールを有する第2絶縁部材と、
前記第2コンタクトホール内に設けられ、前記第1接続部材と前記画素電極とを電気的に接続する第2接続部材と、を備え、
前記第1コンタクトホールと前記第2コンタクトホールとは、平面視において互いに重ならないように設けられている、
請求項1に記載の電気光学装置。
【請求項3】
前記第2コンタクトホールの前記第1接続部材側の開口の幅は、前記第1コンタクトホールの前記第2接続部材側の開口の幅よりも狭い、
請求項2に記載の電気光学装置。
【請求項4】
平面視において前記第2接続部材は、前記第1接続部材から張り出した部分を有する、
請求項2に記載の電気光学装置。
【請求項5】
前記第1コンタクトホールは、平面視において前記画素電極と重ならないように設けられている、
請求項1に記載の電気光学装置。
【請求項6】
前記第1接続部材と前記トランジスターとを電気的に接続する中継層を備え、
前記第1接続部材及び前記第2接続部材は、平面視において前記中継層と重なる領域に設けられている、
請求項2に記載の電気光学装置。
【請求項7】
前記中継層は、平面視において前記トランジスターと重なる幅広部と、前記幅広部から第1方向に沿って突出する第1突出部と、前記幅広部から前記第1方向と交差する第2方向に沿って突出する第2突出部と、を有し、
前記第1接続部材及び前記第2接続部材は、平面視において前記幅広部と重なる領域に設けられている、
請求項6に記載の電気光学装置。
【請求項8】
前記トランジスターと前記中継層との間に設けられ、第2凹部および前記第2凹部の底部に第3コンタクトホールを有する第3絶縁部材と、
前記第2凹部および前記第3コンタクトホール内に設けられ、前記トランジスターと前記中継層とを電気的に接続する第3接続部材と、を備える、
請求項6に記載の電気光学装置。
【請求項9】
前記第3接続部材は、平面視において前記第1接続部材と一部が重なる、
請求項8に記載の電気光学装置。
【請求項10】
請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、電気光学装置および電気光学装置を備えた電子機器に関する。
続きを表示(約 2,000 文字)
【背景技術】
【0002】
素子基板の基板本体上に設けられた画素電極と、画素電極と基板本体との間に設けられたトランジスターと、画素電極とトランジスターとの間に設けられたレンズと、レンズが設けられる層を貫通して設けられ、画素電極とトランジスターとを電気的に接続する接続部材と、を備えた電気光学装置が、特許文献1に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2021-167884号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
レンズが設けられる層を貫通し、画素電極とトランジスターとを電気的に接続する接続部材は、レンズが設けられる層が他の層よりも厚く、また、微細化に伴い接続部材を配置するスペースも限られるため、レイアウト上の制約を考慮して設ける必要がある。
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであり、レイアウト上の制約を満すとともに、レンズが設けられる層を介して、画素電極とスイッチング素子との間を良好に電気的に接続することのできる電気光学装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本願の一態様に係る電気光学装置は、トランジスターと、前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、前記トランジスターと前記画素電極との間にレンズ層を含んで設けられ、第1凹部および前記第1凹部の底部に第1コンタクトホールを有する第1絶縁部材と、前記第1凹部および前記第1コンタクトホール内に設けられ、前記トランジスターと前記画素電極とを電気的に接続する第1接続部材と、を備える。
【0006】
本願の一態様に係る電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備える。
【図面の簡単な説明】
【0007】
実施形態1に係る電気光学装置の平面図。
図1のII-II線に沿う電気光学装置の断面図。
素子基板の電気的な構成を示す等価回路図。
素子基板の表示領域の断面構造を示す説明図。
素子基板の表示領域の一部を示す平面図。
図5のVI-VI線に沿う断面図。
素子基板の表示領域の一部を示す部分拡大平面図。
変形例1に係る素子基板の表示領域の一部を示す部分拡大断面図。
変形例1に係る素子基板の表示領域の一部を示す部分拡大平面図。
変形例2に係る素子基板の表示領域の一部を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
実施形態2に係る電子機器の一例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交するX軸、Y軸、およびZ軸を適宜用いて説明する。また、X軸に沿う一方向をX1方向と表記し、X1方向とは反対の方向をX2方向と表記する。同様に、Y軸に沿う一方向をY1方向と表記し、Y1方向とは反対の方向をY2方向と表記する。Z軸に沿う一方向をZ1方向と表記し、Z1方向とは反対の方向をZ2方向と表記する。また、以下では、Z1方向またはZ2方向に見ることを「平面視」とし、Z軸を含む断面に対して垂直方向から見ることを「断面視」とする。
【0009】
さらに、以下の説明において、例えば基板に対して、「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。また、ある構成の上面との記載は、当該構成のZ1方向側の面、例えば「層間絶縁層の上面」との記載は、層間絶縁層のZ1方向側の面を示すものとする。また、ある構成の下面との記載は、当該構成のZ2方向側の面、例えば「コンタクトプラグの下面」との記載は、コンタクトプラグのZ2方向側の面、を示すものとする。また、凹部の底面との記載は、凹部の底のZ1方向側の面、を示すものとする。
【0010】
1.実施形態1
本実施形態では、電気光学装置として、画素ごとにスイッチング素子としてTFT(Thin Film Transistor)を備えたアクティブ駆動型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば、後述する電子機器としての投射型表示装置において、光変調装置として用いられる。
(【0011】以降は省略されています)
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