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公開番号2025004271
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-15
出願番号2023103826
出願日2023-06-26
発明の名称拡大観察装置
出願人株式会社キーエンス
代理人弁理士法人森本国際特許事務所
主分類G02B 21/24 20060101AFI20250107BHJP(光学)
要約【課題】耐振性を有しつつ大型の対象物を拡大して観察し得る拡大観察装置を提供する。
【解決手段】拡大観察装置10は、基台1と、基台1に設けられ水平上面20を有する載置台2と、基台1から鉛直方向に延びる支持柱5と、レール61及び保持体62を有する移動ステージ6とを備える。レール61は、水平上面20に沿う第一方向に平行な第一回転軸11を中心に回転可能に支持される。保持体62は、レール61に沿って移動可能で、観察ヘッド4を保持する。拡大観察装置10は、さらに、水平上面20に着脱可能で且つ対象物OBが載置されるブロック3と、観察画像を生成する画像生成部7とを備える。第一回転軸11は、移動ステージ6を通る。ブロック3は、水平上面20に沿う第二方向(第一方向に直交)に変更可能に取り付けられる。レール61は、支持柱5に対し、保持体62の移動方向が水平上面20に直交する角度位置に調整可能である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を拡大して観察するための拡大観察装置であって、
基台と、
前記基台に設けられて水平上面を有する載置台と、
前記基台から鉛直方向に延びる支持柱と、
前記支持柱に対し、前記水平上面に沿う方向である第一方向に平行な第一回転軸を中心に回転可能に支持されるレールと、当該レールに沿って移動可能な保持体とを有する移動ステージと、
対物レンズを介して前記対象物を撮像して、当該対象物の画像を生成するカメラを有し、当該カメラの光軸が前記移動ステージの前記保持体の移動方向に沿うように当該保持体に保持される観察ヘッドと、
前記載置台の前記水平上面に着脱可能で且つ前記対象物が載置されるブロックと、
前記観察ヘッドの前記カメラからの画像に基づいて観察画像を生成する画像生成部と
を備え、
前記第一回転軸は、前記移動ステージを通り、
前記ブロックは、前記水平上面に取り付けられる位置を、当該水平上面に沿う方向である第二方向に変更可能であり、
前記第一方向及び前記第二方向は互いに直交し、
前記移動ステージの前記レールは、前記支持柱に対し、前記移動ステージの前記保持体の移動方向が前記水平上面に直交する角度位置に調整可能な、拡大観察装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第一回転軸を中心に回転自在に前記支持柱に設けられた回転保持体をさらに備え、
前記回転保持体は、前記移動ステージを保持する、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項３】
前記回転保持体の前記支持柱に対する回転を固定可能なロック機構をさらに備える、請求項２に記載の拡大観察装置。
【請求項４】
前記支持柱は、規制部材を有し、
前記回転保持体は、前記移動ステージの前記レールに対する前記保持体の移動方向が前記水平上面に直交する角度位置になると前記規制部材に当接する当接部材を有し、
前記移動ステージの前記レールに対する前記保持体の移動方向と前記水平上面に直交する方向とがなす角度である傾斜角を計測する傾斜角計測部と、
前記傾斜角を表示する傾斜角表示部と、
前記当接部材が前記規制部材に当接すると、前記傾斜角表示部に前記傾斜角が無い旨を表示させる表示角補正部と
をさらに備える、請求項２又は請求項３に記載の拡大観察装置。
【請求項５】
前記回転保持体は、棒状ハンドルを有し、
前記棒状ハンドルの中心軸は、前記第一回転軸に向けられるとともに、前記第一回転軸に直交する面に沿う、請求項２又は請求項３に記載の拡大観察装置。
【請求項６】
前記載置台の前記水平上面は、前記第二方向に沿う複数の位置決め穴を有し、
前記ブロックは、前記位置決め穴に挿入可能な位置決めピンを有する、請求項１又は請求項２に記載の拡大観察装置。
【請求項７】
前記載置台は、固定ねじ穴をさらに有し、
前記ブロックは、前記固定ねじ穴に螺合可能な固定ねじをさらに有し、
前記固定ねじは、前記位置決め穴に前記位置決めピンが挿入された際に、前記固定ねじ穴の位置に対応する、請求項６に記載の拡大観察装置。
【請求項８】
前記水平上面に直交する第二回転軸を中心に回転自在に前記ブロックに載置された回転プレートをさらに備え、
前記回転プレートは、前記対象物が載置される、請求項６に記載の拡大観察装置。
【請求項９】
前記回転プレートは、少なくとも前記対象物が載置される面に、光を前記観察ヘッドに反射させる反射部を有する、請求項８に記載の拡大観察装置。
【請求項１０】
前記ブロックは、前記第二回転軸の位置に回転軸穴を有し、
前記回転プレートは、前記回転軸穴に挿入可能な回転軸ピンをさらに有する、請求項８に記載の拡大観察装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大観察装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、拡大観察装置（顕微鏡装置１００）が開示されている。特許文献１に記載の拡大観察装置は、特許文献１の図３に示されるように、対象物（観察対象物Ｓ）を拡大して観察する観察ヘッド（顕微鏡ヘッド部４）を備える。観察ヘッドは、支持柱（支持台４０）に支持されている。
【０００３】
特許文献１に記載の拡大観察装置は、ユーセントリック性を担保するために、対象物の高さで第一回転軸（揺動軸４５）が支持柱に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１２７７８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の拡大観察装置では、大型の対象物を拡大して観察する場合、支持柱（支持台４０）を構成する揺動部４６及びヘッド用アーム４９も大型化する必要がある。
【０００６】
揺動部４６及びヘッド用アーム４９が大型化すれば、必然的に、回転（揺動）する部分の重心と、第一回転軸とが大きく離れることになる。したがって、特許文献１に記載の拡大観察装置は、大型の対象物を拡大して観察する構成にすれば、耐振性を失うおそれがある。
【０００７】
本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、耐振性を有しつつ大型の対象物を拡大して観察するための画像を生成できる拡大観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一局面によれば、拡大観察装置は、対象物を拡大して観察する。拡大観察装置は、基台と、載置台と、支持柱と、移動ステージと、観察ヘッドと、ブロックと、画像生成部とを備える。載置台は、基台に設けられて、水平上面を有する。支持柱は、基台から鉛直方向に延びる。移動ステージは、レールと、保持体とを有する。レールは、支持柱に対し、水平上面に沿う方向である第一方向に平行な第一回転軸を中心に回転可能に支持される。保持体は、レールに沿って移動可能である。観察ヘッドは、カメラを有する。カメラは、対物レンズを介して対象物を撮像して、対象物の画像を生成する。観察ヘッドは、カメラの光軸が移動ステージの保持体の移動方向に沿うように、保持体に保持される。ブロックは、載置台の水平上面に着脱可能で、且つ、対象物が載置される。画像生成部は、観察ヘッドのカメラからの画像に基づいて観察画像を生成する。第一回転軸は、移動ステージを通る。ブロックは、水平上面に取り付けられる位置を、水平上面に沿う方向である第二方向に変更可能である。第一方向及び第二方向は、互いに直交する。移動ステージのレールは、支持柱に対し、移動ステージの保持体の移動方向が水平上面に直交する角度位置に調整可能である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の拡大観察装置によれば、耐振性を有しつつ大型の対象物を拡大して観察することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
拡大観察装置の正面視を示す模式図である。
拡大観察装置の前上方から視た斜視図である。
拡大観察装置の後上方から視た斜視図である。
拡大観察装置の右側面図である。
拡大観察装置の正面図である。
載置台からブロックを取り外した拡大観察装置の斜視図である。
ブロックから回転プレートを取り外した拡大観察装置の拡大斜視図である。
回転プレートから対象物を取り外した拡大観察装置の拡大斜視図である。
ブロックが二段重ねて配置された拡大観察装置の拡大斜視図である。
支持柱の分解斜視図である。
拡大観察装置の下部を拡大した右側面図である。
拡大観察装置が備える複数のベース足を示す底面図である。
拡大観察装置が備える複数のベース足の変形例を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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