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公開番号2024099538
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-25
出願番号2024059905,2023502500
出願日2024-04-03,2022-02-24
発明の名称磁気ディスク用基板、磁気ディスク、円環形状基板、および磁気ディスク用基板の製造方法
出願人HOYA株式会社
代理人弁理士法人グローバル・アイピー東京
主分類G11B 5/73 20060101AFI20240718BHJP(情報記憶)
要約【課題】円環形状基板の両面研削または両面研磨を行う際に、円環形状基板を保持する保持部材から円環形状基板が外れ難くする磁気ディスク用基板、磁気ディスク、円環形状基板及び磁気ディスク用基板の製造方法を提供する
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板(磁気ディスク用基板)1は、一対の主表面1pと外周端面5と、を備え、外周端面は、主表面それぞれと接続する一対の面取面1cと、一対の面取面の間を外側に凸となるよう湾曲して延びる側壁面1tと、を有し、磁気ディスク用基板の板厚T方向に沿った断面において、側壁面1tは、1100μm以上の曲率半径Rtを有している。磁気ディスク用基板の外周端面は、微細なパーティクルが発生しないようにする観点から、表面を滑らかにすることが好ましい。また、外周端面を目標形状に揃えることが好ましい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
一対の主表面と外周端面とを備える磁気ディスク用基板であって、
前記外周端面は、前記主表面それぞれと接続する一対の面取面と、前記一対の面取面の間を外側に凸となるよう湾曲して延びる側壁面と、を有し、
前記磁気ディスク用基板の板厚方向に沿った断面において、前記側壁面は、１１００μｍ以上の曲率半径を有している、ことを特徴とする磁気ディスク用基板。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記側壁面の曲率半径は２０００μｍ以下である、請求項１に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項３】
前記面取面の前記主表面との接続位置と、前記側壁面の最も外側に凸となる位置との間の前記主表面と平行な方向の長さは１００μｍ以下である、請求項１又は２に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項４】
前記面取面は、外側に凸となるよう湾曲しており、
前記磁気ディスク用基板の板厚方向に沿った断面において、前記面取面は、前記側壁面の曲率半径より小さい曲率半径を有している、請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項５】
前記面取面の曲率半径は１００～１０００μｍである、請求項４に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項６】
前記磁気ディスク用基板の板厚方向に沿った断面において、前記面取面と前記主表面との接続位置の側に位置する前記面取面のうちの接続領域は、前記主表面と平行な方向に対し３０～７０度の角度で傾斜している、請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項７】
前記磁気ディスク用基板の板厚方向に沿った断面において、前記面取面と前記側壁面の境界部分が丸みを有している、請求項１から６のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項８】
板厚が０．６ｍｍ未満である、請求項１から７のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項９】
前記磁気ディスク用基板はガラス製の基板である、請求項１から８のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の磁気ディスク用基板の表面に少なくとも磁性膜を有する、ことを特徴とする磁気ディスク。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の主表面と外周端面とを備える磁気ディスク用基板、磁気ディスク、円環形状基板、および磁気ディスク用基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年のクラウドコンピューティングの隆盛に伴って、クラウド向けのデータセンターでは記憶容量の大容量化のために多くのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）装置が用いられている。ＨＤＤ装置には、記憶媒体として、円環形状の非磁性の磁気ディスク用基板に磁性層を設けた磁気ディスクが用いられる。ＨＤＤ装置の記憶容量を増やすためには、磁気ディスクを薄くして、磁気ディスクの搭載枚数を増やすことが好ましい。
【０００３】
ところで、磁気ディスク用基板を製造するとき、最終製品である磁気ディスク用基板の端面は、微細なパーティクルが発生しないようにする観点から、表面を滑らかにすることが好ましい。また、磁気ディスクを精度よくＨＤＤ装置に組み込む点等から、端面を目標形状に揃えることが好ましい。
【０００４】
従来、磁気ディスク用基板の端面形状として、主表面それぞれと接続する一対の面取面と、面取面の間を板厚方向に延びる側壁面と、を有する形状が知られている。このような端面形状は、例えば、目標となる面取面と側壁面の形状に対応した形状の研削面を有する総型砥石を用いて、端面研削を行うことで得られる（特許文献１）。また、従来、主表面と外側面との間の領域が連続した凸状曲面を有する端面形状のガラス基板が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－２３８３０２号公報
特開２００６－４０３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
端面を目標形状に加工した円環形状の板（円環形状基板）は、さらに、両面研磨装置を用いて主表面が研磨される。両面研磨装置を用いた研磨（両面研磨）は、円環形状基板を保持する保持部材（キャリア）の保持孔に円環形状基板を収容し、円環形状基板を上下両側から定盤で挟み込んだ状態で行われる。このとき、キャリアの厚みは円環形状基板の厚みよりも薄くする必要がある。このような両面研磨を、曲面を有する端面形状の円環形状基板に対し行うと、円環形状基板がキャリアの保持孔から外れ、キャリアの上に乗り上げてしまう場合がある。特に、研磨される円環形状基板の板厚が薄いと、キャリアの板厚はそれよりさらに薄くする必要があるため、円環形状基板のキャリアへの乗り上げが発生しやすくなる。円環形状基板がキャリアに乗り上げた状態で研磨を続けると、主表面に傷がつきやすくなる。さらに、定盤とキャリアとの間に挟まれた円環形状基板に強い力がかかることで、円環形状基板にひびや割れが生じ、損傷する場合がある。上記の現象は、保持部材を用いて円環形状基板の両主表面を研削する場合に発生することもある。
【０００７】
そこで、本発明は、円環形状基板の両面研削または両面研磨を行う際に、円環形状基板を保持する保持部材から円環形状基板が外れ難い円環形状基板、磁気ディスク用基板、磁気ディスク、および磁気ディスク用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、一対の主表面と外周端面とを備える磁気ディスク用基板である。当該磁気ディスク用基板は、
前記外周端面は、前記主表面それぞれと接続する一対の面取面と、前記一対の面取面の間を外側に凸となるよう湾曲して延びる側壁面と、を有し、
前記磁気ディスク用基板の板厚方向に沿った断面において、前記側壁面は、１１００μｍ以上の曲率半径を有している、ことを特徴とする。
【０００９】
前記側壁面の曲率半径は２０００μｍ以下である、ことが好ましい。
【００１０】
前記面取面の前記主表面との接続位置と、前記側壁面の最も外側に凸となる位置との間の前記主表面と平行な方向の長さは１００μｍ以下である、ことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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