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公開番号2024090238
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-04
出願番号2022205987
出願日2022-12-22
発明の名称吐出装置、基板処理装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B41J 2/01 20060101AFI20240627BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】不良ノズルに起因する生産性低下の抑制。
【解決手段】吐出ヘッドの複数のノズルから選択される少なくとも2つのノズルを含むノズルの組み合わせを用いて、基板の目標領域に液体を配置する吐出処理を行う処理部と、吐出量を規定する互いに異なる複数の波形情報が格納され、選択された波形情報に従って複数のノズルを駆動するドライバ回路と、を有し、処理部は、複数の波形情報のうちの第1波形情報を選択する第1選択情報をドライバ回路に提供することで、組み合わせに含まれるノズルを駆動して目標領域に対して液体を吐出させる動作を複数回行わせて吐出処理を行い、組み合わせに含まれるノズルから不良ノズルが検知された場合に、不良ノズルが吐出すべき液体の吐出量を補充する第2波形情報に従って不良ノズルとは別のノズルを駆動して液体を吐出させる動作が行われるように、第1選択情報から、第2波形情報を選択する第2選択情報に書き換える。
【選択図】図11
特許請求の範囲【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルを含み、前記複数のノズルを介して基板に前記液体を配置する吐出ヘッドと、
前記複数のノズルから選択される少なくとも２つのノズルを含むノズルの組み合わせを用いて、前記基板の目標領域に前記液体を配置する吐出処理を行う処理部と、
前記吐出ヘッドのノズルから吐出する前記液体の吐出量を規定する互いに異なる複数の波形情報が格納され、前記複数の波形情報から選択された波形情報に従って前記複数のノズルのそれぞれを駆動するドライバ回路と、を有し、
前記処理部は、
前記複数の波形情報のうちの第１波形情報を選択する第１選択情報を前記ドライバ回路に提供することで、前記ドライバ回路により前記第１波形情報に従って前記組み合わせに含まれるノズルのそれぞれを駆動して前記目標領域に対して前記液体を吐出させる動作を複数回行わせて前記吐出処理を行い、
前記吐出処理を行っている間において、前記組み合わせに含まれるノズルから前記液体の吐出が不良となる不良ノズルが検知された場合に、前記不良ノズルが吐出すべき前記液体の吐出量を補充する第２波形情報に従って前記組み合わせに含まれるノズルのうち前記不良ノズルとは別のノズルを駆動して前記目標領域に対して前記液体を吐出させる動作が行われるように、前記ドライバ回路に提供する選択情報を、前記第１選択情報から、前記第２波形情報を選択する第２選択情報に書き換える、
ことを特徴とする吐出装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記処理部は、前記複数回行う前記動作の動作間において、前記ドライバ回路に提供する選択情報を、前記第１選択情報から、前記第２波形情報を選択する第２選択情報に書き換える、ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記不良ノズルが吐出すべき前記液体の吐出量が、前記組み合わせに含まれるノズルのうち前記不良ノズルを除く１つの正常ノズルによって補充されるように、前記１つの正常ノズルを前記別のノズルとして選択する、ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記不良ノズルが吐出すべき前記液体の吐出量が、前記組み合わせに含まれるノズルのうち前記不良ノズルに隣接する１つの正常ノズルによって補充されるように、前記１つの正常ノズルを前記別のノズルとして選択する、ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項５】
前記複数の波形情報は、前記ノズルから吐出する前記液体の吐出量を基準量に規定する基準波形情報と、前記ノズルから吐出する前記液体の吐出量を前記基準量の２倍の量に規定する２倍波形情報と、を含み、
前記第１波形情報は、前記基準波形情報であり、
前記第２波形情報は、前記２倍波形情報である、
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の吐出装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記不良ノズルが吐出すべき前記液体の吐出量が、前記組み合わせに含まれるノズルのうち前記不良ノズルを除く複数の正常ノズルによって補充されるように、前記複数の正常ノズルを前記別のノズルとして選択する、ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項７】
前記処理部は、前記不良ノズルが吐出すべき前記液体の吐出量が、前記組み合わせに含まれるノズルのうち前記不良ノズルに隣接する複数の正常ノズルによって補充されるように、前記複数の正常ノズルを前記別のノズルとして選択する、ことを特徴とする請求項６に記載の吐出装置。
【請求項８】
前記複数の波形情報は、前記ノズルから吐出する前記液体の吐出量を基準量に規定する基準波形情報と、前記ノズルから吐出する前記液体の吐出量を前記基準量の１倍以上２倍以下の量に規定する可変波形情報と、を含み、
前記第１波形情報は、前記基準波形情報であり、
前記第２波形情報は、前記ノズルから吐出する前記液体の吐出量を、前記基準量と前記基準量を前記複数の正常ノズルの数で割った吐出量とを足し合わせた量に規定する前記可変波形情報である、
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の吐出装置。
【請求項９】
前記処理部は、前記ノズルから前記液体を吐出させない非吐出波形情報に従って前記不良ノズルが非吐出となるように、前記ドライバ回路に提供する、前記不良ノズルに対応する選択情報を、前記第１選択情報から、前記非吐出波形情報を選択する選択情報に書き換える、ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項１０】
前記非吐出波形情報は、前記ノズルからの吐出する前記液体の吐出量をゼロに規定する波形情報である、ことを特徴とする請求項９に記載の吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出装置、基板処理装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、インクジェット装置（液体吐出装置）を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。インクジェット装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであるため製造装置が比較的小型になること、材料を大面積に高速に付与できることなどのメリットを有している。
【０００３】
表示装置の製造過程にインクジェット装置を適用することが考えられている。表示装置では、近年、様々な表示方式が提案されており、特に、有機ＥＬ素子を用いた表示装置の開発が進められている。有機ＥＬ素子の材料は高価であるため、材料の使用効率が高く、材料を大面積に高速に付与できるインクジェット装置は、有機ＥＬ素子の製造に好適である。また、最近では、量子ドット材料を含む色変換部や量子ドットを発光素子として備えた表示装置が注目されており、例えば、量子ドット材料を含む色変換部の製造に、インクジェット装置が用いられることもある。
【０００４】
インクジェット装置においては、例えば、インク溶媒の蒸発などによる増粘やノズルへの異物（気泡など）の混入に起因して、ノズルからインクを吐出することができない、或いは、ノズルから吐出されるインクの吐出量、吐出速度、吐出角度が変化することがある。このような吐出不良となるノズル（吐出不良ノズル）が存在すると、基板上に配置されるインク（材料）にムラが生じるため、かかる基板から製造される表示装置の品質低下を招くことになる。
【０００５】
そこで、インクジェット装置においては、吐出不良ノズルの影響を低減するための様々な技術が提案されている（特許文献１乃至３参照）。特許文献１には、吐出不良ノズルを検知（検査）する技術が開示されている。吐出不良ノズルが検知された場合、一般的には、かかるノズルを回復させるための回復作業が実施される。一方、特許文献２には、吐出不良ノズルが検知された場合、その回復作業を行わずに、吐出不良ノズル及び基板上のインクを配置すべき領域に関する情報に基づいて、吐出不良ノズルとは別の正常なノズルを用いて吐出不良ノズルを補完する技術が提案されている。また、特許文献３には、ノズルから吐出されて基板上に配置されたインクの液滴量を直接計測し、吐出不良ノズルによる不足分を、その他のノズルで補完する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第６１０６９４８号公報
特許第６９３５２２５号公報
特許第４２００８１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば、特許文献１に開示された技術によって吐出不良ノズルが検知された場合に実施される回復作業としては、吐出不良ノズルをキャッピングしてインクを吸引する作業や吐出不良ノズルに予備吐出をさせて正常な吐出状態に戻す作業などがある。但し、このような回復作業を実施すると、時間的なロスが発生してしまうため、生産性の観点から好ましくない。また、回復作業を実施しても、吐出不良ノズルを完全に回復させることができない場合もある。
【０００８】
また、特許文献２に開示された技術は、吐出不良ノズルに対して代替ノズルを設定し、吐出不良ノズルが吐出すべき吐出位置に対して代替ノズルで吐出を行う（吐出不良ノズルを代替ノズルに変更する）ものである。但し、吐出不良ノズルを代替ノズルに変更するためには、描画に必要な吐出制御情報を書き換える必要があるが、その情報量の大きさから、基板に対してインクを吐出している間、即ち、ワーク処理中に吐出制御情報の演算及び書き換えを行うことは困難である。従って、吐出不良ノズルが検知されても、ワーク処理が終了した後に、吐出制御情報を書き換えてから新たなワーク処理を追加する必要があるため、生産性を低下させてしまう。
【０００９】
特許文献３に開示された技術は、基板上に配置すべきインクの液滴総量に対する吐出不良ノズルによる不足分を、その他のノズルに与える吐出波形を調整（変更）することで補完するものである。従って、基板上に配置されたインクの液適量を計測するための計測時間、その他のノズルに与える吐出波形を調整するための調整時間、及び、その他のノズルからインクを追加で吐出するための吐出時間が必要となるため、生産性を低下させてしまう。
【００１０】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、液体の吐出が不良となる不良ノズルに起因する生産性の低下を抑制するのに有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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