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公開番号2024088585
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2023171909
出願日2023-10-03
発明の名称厚さ測定装置及び厚さ測定方法
出願人株式会社テイエルブイ
代理人
主分類G01B 7/06 20060101AFI20240625BHJP(測定;試験)
要約【課題】被検物の温度に基づいて、被検物の厚さを精度良く補正することができる技術を提供する。
【解決手段】励磁部41は、励磁コイル11に励磁電流を印加して被検物9に渦電流を誘起させる。渦電流検出部42は、被検物9の渦電流を、検出コイル12を介して検出する。被検物温度取得部45は、被検物温度Tmを取得する。厚さ算出部61は、渦電流検出部42によって検出された渦電流の継続時間τに基づいて被検物9の厚さdを求める。補正部62は、渦電流検出部42によって渦電流が検出された時の被検物温度Tmと、被検物温度Tmに関する項を有する補正式とに基づいて、厚さdを補正する。補正式の被検物温度Tmに関する項は補正係数Aを有する。補正係数Aは、被検物温度Tmの複数の測定データと、基準時t0から各測定データが取得された時tまでの経過時間Δtとに基づいて求められる。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
厚さ測定装置であって、
励磁コイルに励磁電流を印加して被検物に渦電流を誘起させる励磁部と、
前記被検物の前記渦電流を検出する検出センサを有する渦電流検出部と、
前記被検物の温度を取得する被検物温度取得部と、
前記渦電流検出部によって検出された前記渦電流の継続時間に基づいて前記被検物の厚さを求める厚さ算出部と、
前記渦電流検出部によって前記渦電流が検出された時の前記被検物の温度と、前記被検物の温度に関する項を有する補正式とに基づいて、前記厚さ算出部によって求められた前記厚さを補正する補正部と、
を備え、
前記補正式の前記被検物の温度に関する項は、前記被検物の温度に関する複数の測定データと、所定の基準時から各前記測定データが取得された時までの経過時間とに基づいて求められた補正係数を有する、厚さ測定装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
請求項１に記載の厚さ測定装置であって、
前記基準時は、前記複数の測定データの取得を開始した時である、厚さ測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の厚さ測定装置であって、
前記励磁部及び前記渦電流検出部が実装された基板、
をさらに備え、
前記補正部は、前記基板の温度に基づいて、前記厚さを補正する、厚さ測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の厚さ測定装置であって、
前記基板に位置する基板温度センサによって測定された前記基板の温度を取得する基板温度取得部をさらに備え、
前記補正部は、前記基板温度取得部によって取得された温度を、前記基板の温度として用いる、厚さ測定装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の厚さ測定装置であって、
前記励磁コイルに前記励磁電流が印加されているときの前記励磁コイルの電圧を取得する電圧取得部をさらに備え、前記補正部は、前記電圧取得部によって取得される電圧に基づいて、前記厚さを補正する、厚さ測定装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の厚さ測定装置であって、
前記補正式を生成する補正式生成部、
をさらに備える、厚さ測定装置。
【請求項７】
厚さ測定方法であって、
励磁コイルに励磁電流を印加して被検物に渦電流を誘起させる励磁工程と、
前記励磁工程によって発生した前記被検物の前記渦電流を、検出センサを介して検出する渦電流検出工程と、
前記渦電流検出工程によって検出された前記渦電流の継続時間に基づいて、前記被検物の厚さを求める厚さ算出工程と、
前記渦電流検出工程によって前記渦電流が検出された時の前記被検物の温度と、前記被検物の温度に関する項を有する補正式とに基づいて、前記厚さ算出工程によって求められた前記厚さを補正する補正工程と、
を含み、
前記補正式の前記被検物の温度に関する項は、前記被検物の温度に関する複数の測定データと、所定の基準時から各前記測定データが取得された時までの経過時間とに基づいて求められた補正係数を有する、厚さ測定方法。
【請求項８】
励磁電流を印加して被検物に渦電流を誘起させる励磁部と、
前記被検物の前記渦電流を検出する渦電流検出部と、
前記被検物の温度を取得する温度取得部と、
前記渦電流の継続時間に基づいて前記被検物の厚さを算出する厚さ算出部と、
前記被検物の温度に基づいて、前記被検物の厚さを補正する補正部と
を１回の測定で実行する厚さ測定装置であって、
前記補正部は、前記測定が複数回行われた場合に、最初の測定からの経過時間を考慮して、前記被検物の厚さを補正する、厚さ測定装置。
【請求項９】
励磁電流を印加して被検物に渦電流を誘起させるステップと、
前記被検物の前記渦電流を検出するステップと、
前記被検物の温度を取得するステップと、
前記渦電流の継続時間に基づいて前記被検物の厚さを算出するステップと、
前記被検物の温度に基づいて、前記被検物の厚さを補正するステップと
を１回の測定で実行する厚さ測定方法であって、
前記測定が複数回行われた場合に、最初の測定からの経過時間を考慮して、前記被検物の厚さを補正するステップをさらに有する、厚さ測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される主題は、厚さ測定装置及び厚さ測定方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、渦電流を用いた測定装置が知られている。例えば、特許文献１には、渦電流を用いて被検物の探傷を行う装置が開示されている。特許文献１の装置は、透磁率等の温度依存性を考慮して、被検物の温度に基づいて検出信号等を補正している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５８－１０２１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、渦電流を用いた測定装置には、被検物の厚さを測定する厚さ測定装置がある。このような厚さ測定装置においても、測定精度が被検物の温度の影響を受け得る。このため、被検物の温度に基づいて、測定された被検物の厚さを精度良く補正する技術が求められている。
【０００５】
本開示の目的は、被検物の温度に基づいて、被検物の厚さを精度良く補正することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、第１態様は、厚さ測定装置であって、励磁コイルに励磁電流を印加して被検物に渦電流を誘起させる励磁部と、前記被検物の前記渦電流を検出する検出センサを有する渦電流検出部と、前記被検物の温度を取得する被検物温度取得部と、前記渦電流検出部によって検出された前記渦電流の継続時間に基づいて前記被検物の厚さを求める厚さ算出部と、前記渦電流検出部によって前記渦電流が検出された時の前記被検物の温度と、前記被検物の温度に関する項を有する補正式とに基づいて、前記厚さ算出部によって求められた前記厚さを補正する補正部と、を備え、前記補正式の前記被検物の温度に関する項は、前記被検物の温度に関する複数の測定データと、所定の基準時から各前記測定データが取得された時までの経過時間とに基づいて求められた補正係数を有する。
【０００７】
第２態様は、第１態様の厚さ測定装置であって、前記基準時は、前記複数の測定データの取得を開始した時である。
【０００８】
第３態様は、第１態様または第２態様の厚さ測定装置であって、前記励磁部及び前記渦電流検出部が実装された基板、をさらに備え、前記補正部は、前記基板の温度に基づいて、前記厚さを補正する。
【０００９】
第４態様は、第３態様の厚さ測定装置であって、前記基板に位置する基板温度センサによって測定された前記基板の温度を取得する基板温度取得部をさらに備え、前記補正部は、前記基板温度取得部によって取得された温度を、前記基板の温度として用いる。
【００１０】
第５態様は、第１態様または第２態様の厚さ測定装置であって、前記励磁コイルに前記励磁電流が印加されているときの前記励磁コイルの電圧を取得する電圧取得部をさらに備え、前記補正部は、前記電圧取得部によって取得される電圧に基づいて、前記厚さを補正する。
（【００１１】以降は省略されています）

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