TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
10個以上の画像は省略されています。
公開番号2024076479
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-06
出願番号2022188026
出願日2022-11-25
発明の名称磁気センサ
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240530BHJP(測定;試験)
要約【課題】低周波領域の磁界を高感度に検出可能な改良された磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気センサ1は、磁気ギャップG1を介してX方向に配列された磁性体構造物10,20と、磁気ギャップG1によって形成される磁路上に配置され、X方向を感度軸方向とする感磁素子R1と、磁気ギャップG1をバイパスするよう、磁性体構造物10と磁性体構造物20を磁気的に接続する磁性体構造物30,40と、磁性体構造物30に巻回された励磁コイルC1と、磁性体構造物40に巻回された励磁コイルC2とを備える。これによれば、励磁コイルC1,C2に所定の周波数を有する電流を流すことにより、感磁素子R1から出力される検出信号を所定の周波数で変調することができることから、低周波領域の磁界を高感度に検出することが可能となる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
磁気ギャップを介して第1の方向に配列された第1及び第2の磁性体構造物と、
前記磁気ギャップによって形成される磁路上に配置され、前記第1の方向を感度軸方向とする感磁素子と、
前記磁気ギャップをバイパスするよう、前記第1の磁性体構造物と前記第2の磁性体構造物を磁気的に接続する第3及び第4の磁性体構造物と、
前記第3の磁性体構造物に巻回された第1の励磁コイルと、
前記第4の磁性体構造物に巻回された第2の励磁コイルと、を備える磁気センサ。
続きを表示(約 650 文字)【請求項2】
前記第1の励磁コイルと前記第2の励磁コイルは、互いに逆方向の磁界が発生するよう、直列に接続されている、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項3】
前記第1及び第2の励磁コイルに所定の周波数を有する電流を流す変調回路をさらに備える、請求項2に記載の磁気センサ。
【請求項4】
前記第3及び第4の磁性体構造物は、いずれも複数の磁性体構造片の組み合わせからなる、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
【請求項5】
前記第3の磁性体構造物は、前記第1の励磁コイルが巻回された第1の磁性体構造片と、前記第1の磁性体構造片と前記第1の磁性体構造物を磁気的に接続する第2の磁性体構造片と、前記第1の磁性体構造片と前記第2の磁性体構造物を磁気的に接続する第3の磁性体構造片とを含み、
前記第4の磁性体構造物は、前記第2の励磁コイルが巻回された第4の磁性体構造片と、前記第4の磁性体構造片と前記第1の磁性体構造物を磁気的に接続する第5の磁性体構造片と、前記第4の磁性体構造片と前記第2の磁性体構造物を磁気的に接続する第6の磁性体構造片とを含む、請求項4に記載の磁気センサ。
【請求項6】
前記第2及び第3の磁性体構造片は、前記第1の磁性体構造片を位置決め可能な位置決め部を有し、
前記第5及び第6の磁性体構造片は、前記第4の磁性体構造片を位置決め可能な位置決め部を有している、請求項5に記載の磁気センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は磁気センサに関し、特に、低周波領域の磁界を高感度に検出可能な磁気センサに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
現在、感磁素子を用いた磁気センサは様々な分野で利用されているが、極めて微弱な磁界を検出するためには、S/N比の高い磁気センサが必要となる。ここで、磁気センサのS/N比を低下させる要因として、1/fノイズが挙げられる。1/fノイズは、測定対象となる磁界の周波数成分が低いほど顕著となることから、例えば1kHz以下といった低周波領域の磁界を高感度に検出するためには、1/fノイズを低減させることが重要となる。
【0003】
1/fノイズを低減させた磁気センサとしては、特許文献1に記載された磁気センサが知られている。特許文献1に記載された磁気センサは、変調手段を用いて感磁素子の動作点を変調することによって、1/fノイズを低減させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特表2020-522696号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献1に記載された磁気センサにおいては、感磁素子自身のノイズも変調されてしまうという問題があった。
【0006】
本開示においては、低周波領域の磁界を高感度に検出可能な改良された磁気センサについて説明される。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示による磁気センサは、磁気ギャップを介して第1の方向に配列された第1及び第2の磁性体構造物と、磁気ギャップによって形成される磁路上に配置され、第1の方向を感度軸方向とする感磁素子と、磁気ギャップをバイパスするよう、第1の磁性体構造物と第2の磁性体構造物を磁気的に接続する第3及び第4の磁性体構造物と、第3の磁性体構造物に巻回された第1の励磁コイルと、第4の磁性体構造物に巻回された第2の励磁コイルとを備える。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、低周波領域の磁界を高感度に検出可能な改良された磁気センサが提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1は、本開示の第1の実施形態による磁気センサ1の外観を示す略斜視図である。
図2は、磁気センサ1の略分解斜視図である。
図3は、磁性体構造物10,20とセンサチップ100を分離した状態を示す略分解斜視図である。
図4は、センサチップ100の構造を説明するための略斜視図である。
図5は、センサチップ100から磁性体層111,112を除去した状態を示す略斜視図である。
図6は、センサチップ100の主要部のXZ断面図である。
図7は、磁気センサ1の使用方法を説明するための模式図である。
図8は、磁気センサ1の効果を説明するためのグラフである。
図9は、本開示の第2の実施形態による磁気センサ2の外観を示す略斜視図である。
図10は、磁気センサ2の略分解斜視図である。
図11は、本開示の第3の実施形態による磁気センサ3の外観を示す略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る技術の実施形態について詳細に説明する。
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する

関連特許

TDK株式会社
取付部材
7日前
TDK株式会社
バッテリーケース
8日前
TDK株式会社
温度センサユニット
13日前
TDK株式会社
蛍光体および光源装置
7日前
TDK株式会社
R-T-B系永久磁石
9日前
TDK株式会社
センサ装置およびその製造方法
9日前
TDK株式会社
光合波器及び可視光光源モジュール
7日前
TDK株式会社
軟磁性金属粉末、圧粉磁心および電子部品
8日前
TDK株式会社
正極活物質層、正極および全固体二次電池
13日前
TDK株式会社
複合粒子、導電性ペーストおよび電子部品
8日前
TDK株式会社
網膜投影装置及びニアアイウェアラブル装置
7日前
TDK株式会社
網膜投影装置及びニアアイウェアラブル装置
7日前
TDK株式会社
複合インダクタおよびそれを用いたDC-DCコンバータ
8日前
TDK株式会社
複合インダクタおよびそれを用いたDC-DCコンバータ
8日前
TDK株式会社
積層コイル部品
5日前
TDK株式会社
集積光学装置及び集積光モジュール
12日前
TDK株式会社
光学モジュール、画像投影用光学エンジン、グラスディスプレイ、検体検査装置、光学モジュールの製造方法
今日
TDK株式会社
光学モジュール、画像投影用光学エンジン、グラスディスプレイ、検体検査装置、光学モジュールの製造方法
今日
日東精工株式会社
検査装置
13日前
オンキヨー株式会社
システム
29日前
横河電機株式会社
光学プローブ
29日前
個人
交差点形状表現アルゴリズム
5日前
大和製衡株式会社
組合せ秤
9日前
テクノス株式会社
反射装置
8日前
個人
回転動作検出システム
15日前
大和製衡株式会社
組合せ秤
13日前
エイブリック株式会社
温度センサ
9日前
エイブリック株式会社
半導体装置。
9日前
アズビル株式会社
流量センサ
14日前
株式会社D.O.N
人感装置
9日前
株式会社東芝
センサ
21日前
月島食品工業株式会社
分析方法
8日前
株式会社ヨコオ
接続装置
14日前
株式会社テイエルブイ
流量推定システム
15日前
日本電気株式会社
LiDAR装置
13日前
個人
氷河融雪水流出量の推定方法
28日前
続きを見る