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公開番号2024090781
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-04
出願番号2022206885
出願日2022-12-23
発明の名称磁気検出装置
出願人ローム株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240627BHJP(測定;試験)
要約【課題】高さ寸法の増加を抑制しつつ、磁界の検出精度を高める。
【解決手段】磁気検出装置10は、磁気検出素子20と、磁気検出素子20に対向する対向面30Aを有する基板30と、磁気検出素子20と基板30との間に配置され、磁束を磁気検出素子20に誘導する集磁体40と、を備える。基板30は、対向面30Aから磁気検出素子20とは反対方向に凹む凹部31を有する。集磁体40は、少なくとも一部が前記凹部31内に配置されている。集磁体40は、凹部31の底面である凹部底面32から磁気検出素子20に向けて起立した第1集磁部41を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
磁気検出素子と、
前記磁気検出素子に対向する対向面を有する基板と、
前記磁気検出素子と前記基板との間に配置され、磁束を前記磁気検出素子に誘導する集磁体と、を備え、
前記基板は、前記対向面から前記磁気検出素子とは反対方向に凹む凹部を有し、
前記集磁体は、少なくとも一部が前記凹部内に配置され、
前記集磁体は、前記凹部の底面である凹部底面から前記磁気検出素子に向けて起立した第１集磁部を含む、磁気検出装置。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
前記基板の厚さ方向において、前記第１集磁部の前記磁気検出素子側の端部は、前記基板の前記対向面と同じ位置または前記対向面よりも前記磁気検出素子側に位置している、請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記第１集磁部は、前記凹部底面から前記磁気検出素子に向けて起立した柱状の支持部と、前記支持部の表面にコーティングされた磁性体膜と、を含む、請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
前記支持部は、
前記凹部底面から前記磁気検出素子に向かって断面積が徐々に減少する支持傾斜部と、
前記支持傾斜部の上端から前記磁気検出素子に向かって断面積が一定である支持直立部と、
を含み、
前記磁性体膜は、前記支持傾斜部の表面および前記支持直立部の表面にコーティングされている、請求項３に記載の磁気検出装置。
【請求項５】
前記支持傾斜部は、前記基板と同じ材料により構成されており、
前記支持直立部は、前記基板と異なる材料により構成されている、請求項４に記載の磁気検出装置。
【請求項６】
前記基板の厚さ方向において、前記支持傾斜部の長さは、前記支持直立部の長さよりも長い、請求項５に記載の磁気検出装置。
【請求項７】
前記基板の厚さ方向において、前記支持傾斜部の長さは、前記支持直立部の長さよりも短い、請求項５に記載の磁気検出装置。
【請求項８】
前記支持直立部の少なくとも一部は、前記基板の前記対向面よりも前記磁気検出素子側に位置している、請求項４に記載の磁気検出装置。
【請求項９】
前記第１集磁部の側面の少なくとも一部は、前記基板の前記対向面に対して直交している、請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項１０】
前記第１集磁部は、前記基板の厚さ方向を高さ方向とする直方体形状である、請求項９に記載の磁気検出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気検出装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、パッケージ化された磁気検出装置の構成を開示する。特許文献１の磁気検出装置は、リードフレームと、リードフレームに実装されたホール素子と、ホール素子を封止する封止樹脂とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－０７７７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気検出装置の検出精度を向上させる方法として、リードフレームなどの基板とホール素子などの磁気検出素子との間に、磁束を磁気検出素子に誘導する集磁体を配置することによって、磁気検出素子を通過する磁束密度を高めることが考えられる。この場合には、基板と磁気検出素子との間に集磁体が挿入されることにより、磁気検出装置の高さ寸法が大きくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様である磁気検出装置は、磁気検出素子と、前記磁気検出素子に対向する対向面を有する基板と、前記磁気検出素子と前記基板との間に配置され、磁束を前記磁気検出素子に誘導する集磁体と、を備え、前記基板は、前記対向面から前記磁気検出素子とは反対方向に凹む凹部を有し、前記集磁体は、少なくとも一部が前記凹部内に配置され、前記集磁体は、前記凹部の底面である凹部底面から前記磁気検出素子に向けて起立した第１集磁部を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、高さ寸法の増加を抑制しつつ、磁界の検出精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１実施形態の磁気検出装置の概略断面図である。
図２は、第１実施形態の基板の斜視図である。
図３は、第１実施形態の集磁体の斜視図である。
図４は、磁気検出装置の製造工程を示す概略断面図である。
図５は、磁気検出装置の製造工程を示す概略断面図である。
図６は、磁気検出装置の製造工程を示す概略断面図である。
図７は、第２実施形態の磁気検出装置の概略断面図である。
図８は、変更例の磁気検出装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本開示における磁気検出装置の実施形態を説明する。
なお、説明を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は必ずしも一定の縮尺で描かれていない。また、理解を容易にするために、断面図では、ハッチング線が省略されている場合がある。添付の図面は、本開示の実施形態を例示するに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。
【０００９】
以下の詳細な記載は、本開示の例示的な実施形態を具体化する装置、システム、および方法を含む。この詳細な記載は本来説明のためのものに過ぎず、本開示の実施形態またはこのような実施形態の適用および使用を限定することを意図していない。
【００１０】
＜第１実施形態＞
図１～図３を参照して、第１実施形態の磁気検出装置１０について説明する。
図１は、磁気検出装置１０を示す概略断面図である。なお、本開示において使用される「Ｘ方向」は、図１に示される互いに直交するＸＹＺ軸のＸ方向に沿った方向を意味し、「Ｙ方向」は、上記ＸＹＺ軸のＹ方向に沿った方向を意味し、「Ｚ方向」は、上記ＸＹＺ軸のＺ方向に沿った方向を意味する。本開示において使用される「平面視」という用語は、上記ＸＹＺ軸のＺ軸に沿って上方から磁気検出装置１０を視ることを意味する。
（【００１１】以降は省略されています）

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