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公開番号2024089195
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-03
出願番号2022204402
出願日2022-12-21
発明の名称流量センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01F 1/684 20060101AFI20240626BHJP(測定;試験)
要約【課題】流量センサの流路部分を小型化する。
【解決手段】流量センサ10は、複数の電極38A等を備え、被測定流体の流量を測定するためのセンサチップ30と、被測定流体の流路Rを形成する流路内面と流路内面に開口しセンサチップ30を収容する収容孔21Bとを備えるセンサパッケージ21と、を備える。流量センサ10は、流路内面に設けられた複数の電極パッド51等と、複数の電極38A等の各表面と複数の電極パッド51等の各表面とをそれぞれ電気的に接続する複数のボンディングワイヤ41等と、センサパッケージ21内を通り、複数の電極パッド51等の各裏面にそれぞれ接続され、複数の電極パッド51等と処理回路70とを電気的に接続する複数の導体61等と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の電極を備え、被測定流体の流量を測定するためのセンサチップと、
前記被測定流体の流路を形成する流路内面と前記流路内面に開口し前記センサチップを収容する収容孔とを備えるセンサパッケージと、
前記流路内面の前記収容孔の周囲に設けられた複数の電極パッドと、
前記複数の電極の各表面と前記複数の電極パッドの各表面とをそれぞれ電気的に接続する複数のボンディングワイヤと、
前記センサパッケージ内を通り、前記複数の電極パッドの各裏面にそれぞれ接続され、前記複数の電極パッドと処理回路とを電気的に接続する複数の導体と、
を備える流量センサ。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記センサチップは、前記流路内面と面一の表面を備える、
請求項１に記載の流量センサ。
【請求項３】
前記センサパッケージは、前記流路内面を内面とする流路凹部を備え、
前記ボンディングワイヤは、前記流路凹部内に配置されている、
請求項１に記載の流量センサ。
【請求項４】
前記センサチップは、前記被測定流体の流量をセンシングするセンシング領域を備え、
前記複数の電極パッドは、前記流路の前記センサチップよりも上流側に配置された一以上の上流側電極パッドを含み、
前記複数のボンディングワイヤのうち前記一以上の上流側電極パッドに接続された一以上のボンディングワイヤは、前記センシング領域の前記被測定流体の流れ方向に沿った上流領域から外れた位置に配置されている、
請求項１に記載の流量センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定流体の流量を測定するための流量センサに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、被測定流体の流路を形成する流路部材と、流路の内面上に配置されたセンサチップ及び複数の電極パッドと、センサチップの複数の電極と複数の電極パッドとをそれぞれ接続する複数のボンディングワイヤとを備える流量センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１０－６８６４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の流量センサでは、センサチップ上を流れる被測定流体の流量を確保するため、被測定流体の流路の高さ（センサチップが設けられた第１面とこの第１面に対向する第２面との間の距離）を、センサチップの厚さ分余計に確保する必要がある。従って、その分、流量センサの流路部分の小型化が難しい。
【０００５】
本発明は、流量センサの流路部分を小型化することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係る流量センサは、複数の電極を備え、被測定流体の流量を測定するためのセンサチップと、前記被測定流体の流路を形成する流路内面と前記流路内面に開口し前記センサチップを収容する収容孔とを備えるセンサパッケージと、前記流路内面の前記収容孔の周囲に設けられた複数の電極パッドと、前記複数の電極の各表面と前記複数の電極パッドの各表面とをそれぞれ電気的に接続する複数のボンディングワイヤと、前記センサパッケージ内を通り、前記複数の電極パッドの各裏面にそれぞれ接続され、前記複数の電極パッドと処理回路とを電気的に接続する複数の導体と、を備える。
【０００７】
一例として、前記センサチップは、前記流路内面と面一の表面を備えてもよい。
【０００８】
一例として、前記センサパッケージは、前記流路内面を内面とする流路凹部を備え、前記ボンディングワイヤは、前記流路凹部内に配置されていてもよい。
【０００９】
一例として、前記センサチップは、前記被測定流体の流量をセンシングするセンシング領域を備え、前記複数の電極パッドは、前記流路の前記センサチップよりも上流側に配置された一以上の上流側電極パッドを含み、前記複数のボンディングワイヤのうち前記一以上の上流側電極パッドに接続された一以上のボンディングワイヤは、前記センシング領域の前記被測定流体の流れ方向に沿った上流領域から外れた位置に配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る流量センサによれば、流路部分が小型化される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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