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公開番号2024081547
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-18
出願番号2022195250
出願日2022-12-06
発明の名称光学プローブ
出願人横河電機株式会社
代理人
主分類G01N 21/17 20060101AFI20240611BHJP(測定;試験)
要約【課題】光学測定において、高い測定精度を得ることを目的とする。
【解決手段】集光手段41と、前記集光手段41を前記集光手段の主光線L1と交わる回転中心軸C1周りに回転可能に保持する回転保持部(プローブ筒20,固定部10)と、を備えた光学プローブ
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
集光手段と、
前記集光手段を、前記集光手段の主光線と交わる回転中心軸周りに回転可能に保持する回転保持部と、
を備えた光学プローブ
続きを表示(約 770 文字)【請求項2】
前記回転保持手段は、
取り付け面に着脱可能に取り付けられる固定部と、
前記回転軸と前記取付け面の垂線とが交わるように前記固定部に回転可能に保持され、前記集光手段を有する回転部
を備えた請求項1に記載の光学プローブ
【請求項3】
前記回転部は、筒状部材であり、軸方向一端側の外周面に周方向に沿った溝を有し、
前記固定部は、前記溝と摺動可能に係合され、
前記集光手段は前記回転部の内部空間に保持されることを特徴とする請求項2に記載の光学プローブ
【請求項4】
前記回転部の他端側に、前記集光手段に光学的に接続される導光手段を備える請求項3に記載の光学プローブ
【請求項5】
前記固定部は、取り付け面に設置される取り付け部と、
前記取り付け部に着脱可能に取り付けられ、前記回転部を保持する回転部取り付け部と、を有する請求項3に記載の光学プローブ
【請求項6】
前記固定部が、筒状部材であり、当該筒状部材の内部空間と外部空間とを連通する孔を備えることを特徴とした請求項2から5いずれかに記載の光学プローブ
【請求項7】
可搬型
前記固定部に、光を透過可能な観察窓を備えることを特徴とした請求項1に記載の光学プローブ
【請求項8】
前記集光手段に光学的に接続される光源と分析部とを備えた請求項1から7いずれかに記載の光学プローブ
【請求項9】
測定対象を含む構造部に設置された固定部に対して、
集光手段を含む回転部を回転させることにより、
測定対象へ照射される照射光の焦点位置あるいは入射角のいずれか一つ以上を調整して光学測定を行う測定方法

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は光学プローブに関する。またこの光学プローブを使って試料を測定する方法に関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
光学測定、特に拡散反射光を使用した試料の測定を行う際には、正反射光や干渉を避けて、かつ出来るだけ多くのシグナルを検出することで高い測定精度を得る必要がある。そのため引用文献1に記載されているような積分球を備えた測定装置では、その構成上積分球と試料との距離を短くする必要があり、例えば積分球(プローブ先端)を直に試料に接触させる必要があった。また、引用文献2に記載されているような複数の放射源を備えた測定装置では、これらの構成において光はプローブから放射されるため、プローブ先端を直に試料に接触させて測定を行う必要があり、生産プロセスにおいてセンサーで液状の被測定物を測定する場合においては、プロセスを一時停止し、プローブをプロセス内に挿入する必要があった。一方、引用文献3に記載されているようなプローブから光源をレンズで集光して試料に照射する構成を備えた測定装置では、焦点距離をある程度長くすることができるため、プローブ先端は被測定物に触れることなく測定を行える。ただし、焦点距離が変動すると測定サイズや得られる反射光が変わってしまうため、正反射光や干渉を避けつつ精度の高い測定を行い、出来るだけ多くのシグナルを安定して得るためには、プローブと試料までの距離(焦点距離)を固定することに加えて、精密な入射角の調整が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2014-215152
特開2006-508354
特開2011-52996
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
光学測定において、高い測定精度を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記課題を解決するために、本光学プローブは、集光手段と、前記集光手段を前記集光手段の主光線L1と交わる回転軸周りに回転可能に保持する回転保持手段(部)と、を備える。
【0006】
本光学プローブの前記回転保持手段は、取り付け面に着脱可能に取り付けられる固定部と、前記回転軸と前記取付け面の垂線とが交わるように前記固定部に回転可能に保持され、前記集光手段を有する回転部を備える。
【0007】
本光学プローブの前記回転部は、筒状部材であり、軸方向一端側の外周面に周方向に沿った溝を有し、前記固定部は、前記溝と摺動可能に係合される回転部取り付け部を有し、
前記集光手段は前記回転部の内部空間に保持されることを特徴とする。
【0008】
本光学プローブは、前記回転部の他端側に、前記集光手段に光学的に接続される導光手段を備える。
【0009】
本光学プローブの前記固定部は、取り付け面に設置される取り付け部と、前記取り付け部に着脱可能に取り付けられ、前記回転部を保持する回転部取り付け部と、を有する。
【0010】
本光学プローブは、前記固定部が筒状部材であり、当該筒状部材の内部空間と外部空間とを連通する孔を備えることを特徴とする。
(【0011】以降は省略されています)

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