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公開番号2024079366
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-11
出願番号2022192271
出願日2022-11-30
発明の名称検出装置
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240604BHJP(測定;試験)
要約【課題】検出感度の低下を抑制することが可能な検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置は、気体内の物質を吸着する感応膜を有するセンサと、前記センサの温度を設定する温度設定素子と、前記温度設定素子により前記センサの温度を第1温度T1に設定させ、前記第1温度における前記センサが出力する第1信号が所定条件のとき、前記第1信号に基づき前記気体に関する情報を導出し、前記第1信号が前記所定条件以外のとき、前記温度設定素子により前記センサの温度を前記第1温度と異なる第2温度T2に設定させ、前記第2温度における前記センサが出力する第2信号に基づき前記気体に関する情報を導出する処理部と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
気体内の物質を吸着する感応膜を有するセンサと、
前記センサの温度を設定する温度設定素子と、
前記温度設定素子により前記センサの温度を第１温度に設定させ、前記第１温度における前記センサが出力する第１信号が所定条件のとき、前記第１信号に基づき前記気体に関する情報を導出し、
前記第１信号が前記所定条件以外のとき、前記温度設定素子により前記センサの温度を前記第１温度と異なる第２温度に設定させ、前記第２温度における前記センサが出力する第２信号に基づき前記気体に関する情報を導出する処理部と、
を備える検出装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第２温度は前記第１温度より低い請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記感応膜はチャンバ内に設けられ、
前記処理部は、基準となる第１気体が前記チャンバ内に導入されかつ前記センサの温度が前記第１温度である状態において、前記センサが出力する第１基準信号を測定し、前記センサの温度が前記第１温度であるとき測定対象である第２気体を前記チャンバに導入してから第１期間経過後に、前記第１信号を測定し、
前記所定条件は、前記第１基準信号と前記第１信号との差が所定値以上である請求項２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記第１気体が前記チャンバ内に導入されかつ前記センサの温度が前記第２温度である状態において、前記センサが出力する第２基準信号を測定し、前記センサの温度が前記第２温度において前記第２気体を前記チャンバに導入してから第２期間経過後に、前記第２信号を測定する請求項３に記載の検出装置。
【請求項５】
前記第２期間は前記第１期間より長い請求項４に記載の検出装置。
【請求項６】
前記センサは複数設けられ、
前記感応膜はチャンバ内に設けられ、
前記処理部は、基準となる第１気体が前記チャンバ内に導入されかつ前記複数のセンサの温度が前記第１温度である状態において、前記複数のセンサがそれぞれ出力する複数の第１基準信号を測定し、前記複数のセンサの温度が前記第１温度において測定対象である第２気体を前記チャンバに導入してから第１期間経過後に、前記複数のセンサがそれぞれ出力する複数の前記第１信号を測定し、
前記所定条件は、前記第１基準信号と前記複数の第１信号とのそれぞれの差である複数の差の内すべてが第１所定値以上かつ前記第１所定値より小さい第２所定値以下である請求項２に記載の検出装置。
【請求項７】
前記複数のセンサのうち少なくとも１つのセンサの感応膜の材料を、他のセンサの感応膜の材料と異なる請求項６に記載の検出装置。
【請求項８】
上面に前記センサを搭載する基板を備え、
前記温度設定素子は、前記基板の下面に接合する請求項１から７のいずれか一項に記載の検出装置。
【請求項９】
前記感応膜はチャンバ内に設けられ、
前記基板の上面と前記チャンバとで、前記気体が充満する空間を形成する請求項８に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記基板および前記チャンバの下に設けられ、前記センサと着脱可能なピンを介し電気的に接続され、平面視において前記基板と重なる領域に開口を有する回路基板と、
前記開口内に設けられ、前記温度設定素子の上面と前記基板の下面とを熱的に接触させる熱伝導体と、
を備える請求項９に記載の検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置に関し、例えば感応膜を有する検出装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
気体等の流体中の物質を検出するセンサとして、感応膜を有するセンサが知られている。センサである圧電振動子の温度を制御することが知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１５６６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
感応膜を有するセンサにおいて、流体中の物質の検出感度が低くなることがある。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、検出感度の低下を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、気体内の物質を吸着する感応膜を有するセンサと、前記センサの温度を設定する温度設定素子と、前記温度設定素子により前記センサの温度を第１温度に設定させ、前記第１温度における前記センサが出力する第１信号が所定条件のとき、前記第１信号に基づき前記気体に関する情報を導出し、前記第１信号が前記所定条件以外のとき、前記温度設定素子により前記センサの温度を前記第１温度と異なる第２温度に設定させ、前記第２温度における前記センサが出力する第２信号に基づき前記気体に関する情報を導出する処理部と、を備える検出装置である。
【０００７】
上記構成において、前記第２温度は前記第１温度より低い構成とすることができる。
【０００８】
上記構成において、前記感応膜はチャンバ内に設けられ、前記処理部は、基準となる第１気体が前記チャンバ内に導入されかつ前記センサの温度が前記第１温度である状態において、前記センサが出力する第１基準信号を測定し、前記センサの温度が前記第１温度であるとき測定対象である第２気体を前記チャンバに導入してから第１期間経過後に、前記第１信号を測定し、前記所定条件は、前記第１基準信号と前記第１信号との差が所定値以上である構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記処理部は、前記第１気体が前記チャンバ内に導入されかつ前記センサの温度が前記第２温度である状態において、前記センサが出力する第２基準信号を測定し、前記センサの温度が前記第２温度において前記第２気体を前記チャンバに導入してから第２期間経過後に、前記第２信号を測定する構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記第２期間は前記第１期間より長い構成とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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