特許ウォッチ

公開番号2024074360
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022185461
出願日2022-11-21
発明の名称スイッチング装置
出願人オムロン株式会社
代理人個人
主分類G01R 31/28 20060101AFI20240524BHJP(測定;試験)
要約【課題】スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定を維持する。
【解決手段】スイッチング装置は、ベースと、第1DUT端子と、第1DC端子と、第1RF端子と、第1ローパスフィルターと、第1スイッチング部とを備える。第1DUT端子は、被測定物用の端子であり、ベースに配置される。第1DC端子は、DC検査用の端子であり、ベースに配置される。第1RF端子は、RF検査用の端子であり、ベースに配置される。第1ローパスフィルターは、第1DUT端子と第1DC端子とに接続される。第1スイッチング部は、第1DUT端子と第1RF端子とに接続される。第1スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第1スイッチング部は、オン状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に導通させる。第1スイッチング部は、オフ状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に遮断する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定物に対する高周波特性を検査するＲＦ検査と、前記被測定物に対するＤＣ特性を検査するＤＣ検査とを切り替えるためのスイッチング装置であって、
ベースと、
前記ベースに配置された前記被測定物用の第１ＤＵＴ端子と、
前記ベースに配置された前記ＤＣ検査用の第１ＤＣ端子と、
前記ベースに配置された前記ＲＦ検査用の第１ＲＦ端子と、
前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＤＣ端子とに接続される第１ローパスフィルターと、
前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とに接続され、前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第１スイッチング部と、
を備えるスイッチング装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記ベースに配置された前記被測定物用の第２ＤＵＴ端子と、
前記ベースに配置された前記ＤＣ検査用の第２ＤＣ端子と、
前記ベースに配置された前記ＲＦ検査用の第２ＲＦ端子と、
前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＤＣ端子とに接続される第２ローパスフィルターと、
前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とに接続され、前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第２スイッチング部と、
をさらに備える請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項３】
前記ベースは、
第１側縁と、
前記第１側縁の反対に位置する第２側縁と、
を含み、
前記第１ＤＵＴ端子と前記第２ＤＵＴ端子とは、前記第１側縁に沿って配置され、
前記第１ＲＦ端子と前記第２ＲＦ端子とは、前記第２側縁に沿って配置される、
請求項２に記載のスイッチング装置。
【請求項４】
前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とは、前記第１側縁から前記第２側縁に向かう第１方向に互いに並んで配置され、
前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とは、前記第１方向に互いに並んで配置される、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項５】
前記第１側縁において、前記第１ＤＵＴ端子及び前記第２ＤＵＴ端子の一側方に配置される第１グランド端子と、
前記第１側縁において、前記第１ＤＵＴ端子及び前記第２ＤＵＴ端子の他側方に配置される第２グランド端子と、
をさらに備える、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項６】
前記第２側縁において、前記第１ＲＦ端子及び前記第２ＲＦ端子の一側方に配置される第３グランド端子と、
前記第２側縁において、前記第１ＲＦ端子及び前記第２ＲＦ端子の他側方に配置される第４グランド端子と、
をさらに備える、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項７】
前記第１側縁において、前記第１ＤＣ端子は、前記第１ＤＵＴ端子と前記第２ＤＵＴ端子との間に配置される、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項８】
前記第２側縁において、前記第２ＤＣ端子は、前記第１ＲＦ端子と前記第２ＲＦ端子との間に配置される、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項９】
前記第１スイッチング部、及び／又は、前記第２スイッチング部を前記オン状態と前記オフ状態に切り替える駆動部と、
前記駆動部に接続される第１駆動端子と、
前記駆動部に接続される第２駆動端子と、
をさらに備え、
前記第１駆動端子は、前記第１側縁において、前記第１ＤＵＴ端子と前記第２ＤＵＴ端子との間に配置される、
請求項３に記載のスイッチング装置。
【請求項１０】
前記第１スイッチング部、及び／又は、前記第２スイッチング部を前記オン状態と前記オフ状態に切り替える駆動部と、
前記駆動部に接続される第１駆動端子と、
前記駆動部に接続される第２駆動端子と、
をさらに備え、
前記第２駆動端子は、前記第２側縁において、前記第１ＲＦ端子と前記第２ＲＦ端子との間に配置される、
請求項３に記載のスイッチング装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スイッチング装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置などの検査装置では、被測定物の高周波特性の検査（以下、ＲＦ検査という）と、直流電流の入力電圧や出力電圧などのＤＣ特性の検査（以下、ＤＣ検査と呼ぶ）とを切り替えるためのスイッチング装置が用いられる。スイッチング装置は、例えばＣ接点タイプのリレーを含む。スイッチング装置は、ＲＦ検査のときには、検査装置のＲＦ検査用の回路と、被測定物とを接続する。スイッチング装置は、ＤＣ検査のときには、検査装置のＤＣ検査用の回路と、被測定物とを接続する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１８４１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のスイッチング装置では、長期間の使用により、ＲＦ検査用の回路とＤＣ検査用の回路との接続の切り替え回数が多くなると、スイッチング装置の消耗によって、検査の精度が低下することがある。例えば、スイッチング装置がＣ接点タイプのリレーを含む場合には、リレーの接点の開閉回数が多くなることで、接点の接触抵抗が高くなることがある。その場合、ＤＣ検査の精度が低下してしまう。本発明の目的は、スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定を維持することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係るスイッチング装置は、ＲＦ検査とＤＣ検査とを切り替えるためのスイッチング装置である。スイッチング装置は、ベースと、第１ＤＵＴ端子と、第１ＤＣ端子と、第１ＲＦ端子と、第１ローパスフィルターと、第１スイッチング部とを備える。第１ＤＵＴ端子は、被測定物用の端子であり、ベースに配置される。第１ＤＣ端子は、ＤＣ検査用の端子であり、ベースに配置される。第１ＲＦ端子は、ＲＦ検査用の端子であり、ベースに配置される。第１ローパスフィルターは、第１ＤＵＴ端子と第１ＤＣ端子とに接続される。第１スイッチング部は、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とに接続される。第１スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第１スイッチング部は、オン状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に導通させる。第１スイッチング部は、オフ状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に遮断する。
【０００６】
本態様に係るスイッチング装置では、第１スイッチング部は、オン状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に導通させる。この状態では、ＲＦ検査用の信号（以下、ＲＦ信号と呼ぶ）は、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを通って、検査装置によって検出される。一方、ＲＦ信号はローパスフィルターにおいてカットされるため、ＲＦ信号が第１ＤＣ端子に流れることが防止される。
【０００７】
また、第１スイッチング部は、オフ状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に遮断する。この状態では、ＤＣ検査用の信号（以下、ＤＣ信号と呼ぶ）が第１ＲＦ端子に流れることが防止される。ＤＣ信号は、第１ＤＵＴ端子とローパスフィルターと第１ＤＣ端子とを通って、検査装置によって検出される。従って、ＤＣ信号は、第１スイッチング部を通らずに、検査装置によって検出される。それにより、第１スイッチング部が消耗しても、安定的かつ高精度なＤＣ信号の測定が可能となる。以上より、本態様に係るスイッチング装置では、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定が維持される。
【０００８】
本発明の他の態様に係るスイッチング装置は、被測定物に対するＤＣ検査と、高周波特性を検査するループバックテストとを切り替えるためのスイッチング装置である。スイッチング装置は、第１ＤＣ端子と、第１ループバック端子と、第２ＤＣ端子と、第２ループバック端子と、第３ＤＣ端子と、第３ループバック端子と、第４ＤＣ端子と、第４ループバック端子と、第１ローパスフィルターと、第２ローパスフィルターと、第３ローパスフィルターと、第４ローパスフィルターと、第１スイッチング部と、第２スイッチング部とを備える。第１～第４ＤＣ端子は、ＤＣ検査用の端子であり、ベースに配置される。第１～第４ループバック端子は、ループバックテスト用の端子であり、ベースに配置される。
【０００９】
第１ローパスフィルターは、第１ループバック端子と第１ＤＣ端子とに接続される。第２ローパスフィルターは、第２ループバック端子と第２ＤＣ端子とに接続される。第３ローパスフィルターは、第３ループバック端子と第３ＤＣ端子とに接続される。第４ローパスフィルターは、第４ループバック端子と第４ＤＣ端子とに接続される。第１スイッチング部は、第１ループバック端子と第３ループバック端子とに接続される。
【００１０】
第１スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第１スイッチング部は、オン状態で、第１ループバック端子と第３ループバック端子とを電気的に導通する。第１スイッチング部は、オフ状態でと、第１ループバック端子と第３ループバック端子とを電気的に遮断する。第２スイッチング部は、第２ループバック端子と第４ループバック端子とに接続される。第２スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第２スイッチング部は、オン状態で、第２ループバック端子と第４ループバック端子とを電気的に導通する。第２スイッチング部は、オフ状態で、第２ループバック端子と第４ループバック端子とを電気的に遮断する。
（【００１１】以降は省略されています）

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