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公開番号2024074360
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022185461
出願日2022-11-21
発明の名称スイッチング装置
出願人オムロン株式会社
代理人個人
主分類G01R 31/28 20060101AFI20240524BHJP(測定;試験)
要約【課題】スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定を維持する。
【解決手段】スイッチング装置は、ベースと、第1DUT端子と、第1DC端子と、第1RF端子と、第1ローパスフィルターと、第1スイッチング部とを備える。第1DUT端子は、被測定物用の端子であり、ベースに配置される。第1DC端子は、DC検査用の端子であり、ベースに配置される。第1RF端子は、RF検査用の端子であり、ベースに配置される。第1ローパスフィルターは、第1DUT端子と第1DC端子とに接続される。第1スイッチング部は、第1DUT端子と第1RF端子とに接続される。第1スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第1スイッチング部は、オン状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に導通させる。第1スイッチング部は、オフ状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に遮断する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
被測定物に対する高周波特性を検査するRF検査と、前記被測定物に対するDC特性を検査するDC検査とを切り替えるためのスイッチング装置であって、
ベースと、
前記ベースに配置された前記被測定物用の第1DUT端子と、
前記ベースに配置された前記DC検査用の第1DC端子と、
前記ベースに配置された前記RF検査用の第1RF端子と、
前記第1DUT端子と前記第1DC端子とに接続される第1ローパスフィルターと、
前記第1DUT端子と前記第1RF端子とに接続され、前記第1DUT端子と前記第1RF端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第1DUT端子と前記第1RF端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第1スイッチング部と、
を備えるスイッチング装置。
続きを表示(約 1,500 文字)【請求項2】
前記ベースに配置された前記被測定物用の第2DUT端子と、
前記ベースに配置された前記DC検査用の第2DC端子と、
前記ベースに配置された前記RF検査用の第2RF端子と、
前記第2DUT端子と前記第2DC端子とに接続される第2ローパスフィルターと、
前記第2DUT端子と前記第2RF端子とに接続され、前記第2DUT端子と前記第2RF端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第2DUT端子と前記第2RF端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第2スイッチング部と、
をさらに備える請求項1に記載のスイッチング装置。
【請求項3】
前記ベースは、
第1側縁と、
前記第1側縁の反対に位置する第2側縁と、
を含み、
前記第1DUT端子と前記第2DUT端子とは、前記第1側縁に沿って配置され、
前記第1RF端子と前記第2RF端子とは、前記第2側縁に沿って配置される、
請求項2に記載のスイッチング装置。
【請求項4】
前記第1DUT端子と前記第1RF端子とは、前記第1側縁から前記第2側縁に向かう第1方向に互いに並んで配置され、
前記第2DUT端子と前記第2RF端子とは、前記第1方向に互いに並んで配置される、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項5】
前記第1側縁において、前記第1DUT端子及び前記第2DUT端子の一側方に配置される第1グランド端子と、
前記第1側縁において、前記第1DUT端子及び前記第2DUT端子の他側方に配置される第2グランド端子と、
をさらに備える、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項6】
前記第2側縁において、前記第1RF端子及び前記第2RF端子の一側方に配置される第3グランド端子と、
前記第2側縁において、前記第1RF端子及び前記第2RF端子の他側方に配置される第4グランド端子と、
をさらに備える、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項7】
前記第1側縁において、前記第1DC端子は、前記第1DUT端子と前記第2DUT端子との間に配置される、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項8】
前記第2側縁において、前記第2DC端子は、前記第1RF端子と前記第2RF端子との間に配置される、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項9】
前記第1スイッチング部、及び/又は、前記第2スイッチング部を前記オン状態と前記オフ状態に切り替える駆動部と、
前記駆動部に接続される第1駆動端子と、
前記駆動部に接続される第2駆動端子と、
をさらに備え、
前記第1駆動端子は、前記第1側縁において、前記第1DUT端子と前記第2DUT端子との間に配置される、
請求項3に記載のスイッチング装置。
【請求項10】
前記第1スイッチング部、及び/又は、前記第2スイッチング部を前記オン状態と前記オフ状態に切り替える駆動部と、
前記駆動部に接続される第1駆動端子と、
前記駆動部に接続される第2駆動端子と、
をさらに備え、
前記第2駆動端子は、前記第2側縁において、前記第1RF端子と前記第2RF端子との間に配置される、
請求項3に記載のスイッチング装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、スイッチング装置に関する。
続きを表示(約 2,300 文字)【背景技術】
【0002】
半導体試験装置などの検査装置では、被測定物の高周波特性の検査(以下、RF検査という)と、直流電流の入力電圧や出力電圧などのDC特性の検査(以下、DC検査と呼ぶ)とを切り替えるためのスイッチング装置が用いられる。スイッチング装置は、例えばC接点タイプのリレーを含む。スイッチング装置は、RF検査のときには、検査装置のRF検査用の回路と、被測定物とを接続する。スイッチング装置は、DC検査のときには、検査装置のDC検査用の回路と、被測定物とを接続する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2007-184155号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のスイッチング装置では、長期間の使用により、RF検査用の回路とDC検査用の回路との接続の切り替え回数が多くなると、スイッチング装置の消耗によって、検査の精度が低下することがある。例えば、スイッチング装置がC接点タイプのリレーを含む場合には、リレーの接点の開閉回数が多くなることで、接点の接触抵抗が高くなることがある。その場合、DC検査の精度が低下してしまう。本発明の目的は、スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定を維持することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様に係るスイッチング装置は、RF検査とDC検査とを切り替えるためのスイッチング装置である。スイッチング装置は、ベースと、第1DUT端子と、第1DC端子と、第1RF端子と、第1ローパスフィルターと、第1スイッチング部とを備える。第1DUT端子は、被測定物用の端子であり、ベースに配置される。第1DC端子は、DC検査用の端子であり、ベースに配置される。第1RF端子は、RF検査用の端子であり、ベースに配置される。第1ローパスフィルターは、第1DUT端子と第1DC端子とに接続される。第1スイッチング部は、第1DUT端子と第1RF端子とに接続される。第1スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第1スイッチング部は、オン状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に導通させる。第1スイッチング部は、オフ状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に遮断する。
【0006】
本態様に係るスイッチング装置では、第1スイッチング部は、オン状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に導通させる。この状態では、RF検査用の信号(以下、RF信号と呼ぶ)は、第1DUT端子と第1RF端子とを通って、検査装置によって検出される。一方、RF信号はローパスフィルターにおいてカットされるため、RF信号が第1DC端子に流れることが防止される。
【0007】
また、第1スイッチング部は、オフ状態で、第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に遮断する。この状態では、DC検査用の信号(以下、DC信号と呼ぶ)が第1RF端子に流れることが防止される。DC信号は、第1DUT端子とローパスフィルターと第1DC端子とを通って、検査装置によって検出される。従って、DC信号は、第1スイッチング部を通らずに、検査装置によって検出される。それにより、第1スイッチング部が消耗しても、安定的かつ高精度なDC信号の測定が可能となる。以上より、本態様に係るスイッチング装置では、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定が維持される。
【0008】
本発明の他の態様に係るスイッチング装置は、被測定物に対するDC検査と、高周波特性を検査するループバックテストとを切り替えるためのスイッチング装置である。スイッチング装置は、第1DC端子と、第1ループバック端子と、第2DC端子と、第2ループバック端子と、第3DC端子と、第3ループバック端子と、第4DC端子と、第4ループバック端子と、第1ローパスフィルターと、第2ローパスフィルターと、第3ローパスフィルターと、第4ローパスフィルターと、第1スイッチング部と、第2スイッチング部とを備える。第1~第4DC端子は、DC検査用の端子であり、ベースに配置される。第1~第4ループバック端子は、ループバックテスト用の端子であり、ベースに配置される。
【0009】
第1ローパスフィルターは、第1ループバック端子と第1DC端子とに接続される。第2ローパスフィルターは、第2ループバック端子と第2DC端子とに接続される。第3ローパスフィルターは、第3ループバック端子と第3DC端子とに接続される。第4ローパスフィルターは、第4ループバック端子と第4DC端子とに接続される。第1スイッチング部は、第1ループバック端子と第3ループバック端子とに接続される。
【0010】
第1スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第1スイッチング部は、オン状態で、第1ループバック端子と第3ループバック端子とを電気的に導通する。第1スイッチング部は、オフ状態でと、第1ループバック端子と第3ループバック端子とを電気的に遮断する。第2スイッチング部は、第2ループバック端子と第4ループバック端子とに接続される。第2スイッチング部は、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第2スイッチング部は、オン状態で、第2ループバック端子と第4ループバック端子とを電気的に導通する。第2スイッチング部は、オフ状態で、第2ループバック端子と第4ループバック端子とを電気的に遮断する。
(【0011】以降は省略されています)

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