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公開番号2024069290
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-21
出願番号2024032543,2020048245
出願日2024-03-04,2020-03-18
発明の名称蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20240514BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】シャドーの発生を抑制する蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着マスク20の貫通孔25の壁面は、第1端から第2面に向かって広がる第1壁面と、第2端から第1面に向かって広がる第2壁面と、接続部41において第1壁面に接続される第2壁面と、第1壁面と第2壁面とが接続される接続部と、を含む。第1面の法線方向に沿って第1面側から貫通孔を見た場合、貫通孔の第1端は、第1方向に延び、第1寸法を有する第1部分32aと、第1方向に交差する第2方向に延び、第1寸法よりも短い第2寸法L2を有する第2部分と、を含む。第1壁面は、第1部分から接続部に向かって広がる第1壁面区画31aと、第2部分から接続部に向かって広がる第2壁面区画と、を含む。第1壁面区画31aの高さが、第2壁面区画の高さよりも小さい。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
貫通孔を有する蒸着マスクであって、
第１面と、
前記第１面の反対側に位置する第２面と、
前記第１面に位置する端である第１端と前記第２面に位置する端である第２端とを含む壁面と、を備え、
前記壁面が、前記貫通孔を画成しており、
前記壁面は、前記第１端から前記第２面に向かって広がる第１壁面と、前記第２端から前記第１面に向かって広がる第２壁面と、前記第１壁面と前記第２壁面とが接続される接続部と、を含み、
前記第１面の法線方向に沿って前記第１面側から前記貫通孔を見た場合、前記貫通孔の前記第１端は、第１方向に延び、第１寸法を有する第１部分と、前記第１方向に交差する第２方向に延び、第１寸法よりも短い第２寸法を有する第２部分と、を含み、
前記第１壁面は、前記第１部分から前記接続部に向かって広がる第１壁面区画と、前記第２部分から前記接続部に向かって広がる第２壁面区画と、を含み、
前記第１壁面区画の高さが、前記第２壁面区画の高さよりも小さい、蒸着マスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の電子デバイスにおいて、高精細な表示装置が、市場から求められている。表示装置は、例えば、４００ｐｐｉ以上または８００ｐｐｉ以上等の画素密度を有する。
【０００３】
応答性の良さと、または／および消費電力の低さと、または／およびやコントラストの高さと、を有するため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、画素を構成する材料を蒸着により基板に付着させる方法が知られている。この場合、まず、貫通孔を含む蒸着マスクを準備する。次に、蒸着装置内で、蒸着マスクを基板に密着させた状態で、有機材料または／および無機材料などを蒸着させて、有機材料または／および無機材料などを基板に形成する。
【０００４】
蒸着マスクの製造方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、金属板をエッチングすることによって金属板に貫通孔を形成する方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５３８２２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
蒸着工程において、蒸着源から蒸着マスクに向かう蒸着材料の一部は、蒸着マスクを構成する金属板の法線方向に対して傾斜した方向に移動する。金属板の法線方向に対して傾斜した方向に移動する蒸着材料の一部は、基板ではなく貫通孔の壁面に付着する。このため、貫通孔の壁面に近い位置では、基板に形成される蒸着層が薄くなり易い。このような、基板への蒸着材料の付着が貫通孔の壁面によって阻害される現象のことを、シャドーとも称する。
【０００７】
シャドーの発生を抑制するため、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることが考えられる。しかしながら、貫通孔の壁面の高さを蒸着マスクの全体にわたって小さくすると、蒸着マスクの強度が低下し、蒸着マスクの損傷、変形などが生じ易くなる。
【０００８】
本開示の実施形態は、このような課題を効果的に解決し得る蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一実施形態による、貫通孔を有する蒸着マスクは、
第１面と、
前記第１面の反対側に位置する第２面と、
前記第１面に位置する端である第１端と前記第２面に位置する端である第２端とを含む壁面と、を備え、
前記壁面が、前記貫通孔を画成しており、
前記壁面は、前記第１端から前記第２面に向かって広がる第１壁面と、前記第２端から前記第１面に向かって広がる第２壁面と、前記第１壁面と前記第２壁面とが接続される接続部と、を含み、
前記第１面の法線方向に沿って前記第１面側から前記貫通孔を見た場合、前記貫通孔の前記第１端は、第１方向に延び、第１寸法を有する第１部分と、前記第１方向に交差する第２方向に延び、第１寸法よりも短い第２寸法を有する第２部分と、を含み、
前記第１壁面は、前記第１部分から前記接続部に向かって広がる第１壁面区画と、前記第２部分から前記接続部に向かって広がる第２壁面区画と、を含み、
前記第１壁面区画の高さが、前記第２壁面区画の高さよりも小さい。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の実施形態による蒸着マスクによれば、蒸着マスクに変形などの不具合が生じることを抑制しながら、シャドーの発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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