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公開番号2024058652
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2023177505
出願日2023-10-13
発明の名称非矩形レチクルの容器
出願人家登精密工業股ふん有限公司,GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20240418BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】非矩形レチクルの容器を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、楕円形レチクルを収納するのに適し、基本的に、互いに結合された時に楕円形空間を画成するように構成された蓋とベース部とを備えた非矩形レチクルの容器を開示する。蓋及びベース部は、それぞれ楕円形レチクルを保持するように構成された複数のレチクルホルダ及び複数のレチクル支持体を有する。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
楕円形レチクルを収納するのに適する非矩形レチクルの容器であって、
内面と、前記内面から下方に延びる隔壁（ｃｏｍｐａｒｔｍｅｎｔｗａｌｌ）と、
前記内面と前記隔壁とにより画成される楕円形空間と、
前記楕円形空間に部分的に延び、前記楕円形レチクルのエッジに当接支持するための複数のレチクルホルダとを含む蓋と、
前記蓋と結合されて前記楕円形レチクルを収容するための楕円形の収容空間を画成し、かつ前記楕円形レチクルの底部を支持するための複数のレチクル支持体を有するベース部と
を含む容器。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記ベース部は、環状溝を有し、前記レチクル支持体が前記環状溝をまたいでいる請求項１に記載の容器。
【請求項３】
前記環状溝は、前記ベース部を内部領域及び外部領域に分割し、前記内部領域は楕円形領域である請求項２に記載の容器。
【請求項４】
前記レチクル支持体は、前記楕円形レチクルの底部を支持するための支持ブロックと、前記楕円形レチクルを規制するためのエッジ規制部とを備え、前記支持ブロックは前記ベース部の内部領域に位置し、前記エッジ規制部は前記ベース部の外部領域に位置する請求項３に記載の容器。
【請求項５】
前記蓋の前記レチクルホルダは、対称軸を有し、前記ベース部のレチクル支持体が対称軸を有し、前記複数のレチクルホルダの対称軸は前記蓋の楕円形空間の中心に向けられ、前記複数レチクル支持体の対称軸が前記ベース部の内部領域の中心に向けられる請求項４に記載の容器。
【請求項６】
請求項１～５のいずれか一項に記載の容器を収納するための収納空間を画成するケーシング及びドアを含むレチクル保管ケース。
【請求項７】
載置面と、
前記載置面の周縁に沿って設けられ、前記楕円形レチクルを支持するための複数のレチクル支持体とを備えたベース部と、
前記ベース部と結合されて前記楕円形レチクルを収容するための楕円形の収容空間を画成し、前記楕円形レチクルを規制するための複数レチクルホルダを備えた蓋と
を含み、楕円形レチクルを収納するのに適する非矩形レチクルの容器であって、
前記楕円形の収容空間は、前記ベース部の内側及び前記蓋の内側にある複数の円弧状縁部で画成される容器。
【請求項８】
前記載置面は、複数の第１円弧状縁部を有し、前記レチクル支持体は前記複数の第１円弧状縁部のうちの隣り合う第１円弧状縁部の間に設けられる請求項７に記載の容器。
【請求項９】
前記蓋の下面は、複数の第２円弧状縁部を有し、前記レチクルホルダは前記複数の第２円弧状縁部のうちの隣り合う第２円弧状縁部の間に設けられる請求項７に記載の容器。
【請求項１０】
前記蓋の内側は、段差構造を有し、前記段差構造は前記蓋の内面と隔壁とによって形成され、かつ前記複数の第２円弧状縁部を有する請求項９に記載の容器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レチクル容器に関し、特に、非矩形レチクル専用の容器に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
現在、極端紫外線（ＥＵＶ）工程で使用されるレチクルタイプは、均しく４つの辺を有する方形又は矩形である。円形レチクルの本体、コーティング或いはレチクルペリクル（ｐｅｌｌｉｃｌｅ）は、作製において四角形レチクルより容易であり、レチクルの歩留まりを効果的に向上させることができることを考えた場合、将来的には楕円形（円形を含む）レチクルが採用される可能性のある設計である。従来のＥＵＶレチクルケースは四方形レチクルに基づいて設計され、かつ四方形レチクル専用であり、楕円形レチクルの収納に使用できない。
【０００３】
したがって、楕円形レチクル専用の容器を開発する必要があった。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、楕円形レチクルを収納するのに適し、蓋と、ベース部とを含む非矩形レチクルの容器を提供する。前記蓋は、内面と、前記内面から下方に延びる隔壁とを備え、前記内面と前記隔壁とにより楕円形空間を画成し、前記隔壁及び前記楕円形空間に部分的に延び、前記楕円形レチクルのエッジに当接支持するための複数のレチクルホルダをさらに含む。前記ベース部は、前記蓋と結合されて前記楕円形レチクルを収容するための楕円形の収容空間を画成し、かつ前記楕円形レチクルの底部を支持するための複数のレチクル支持体を有する。
【０００５】
一具体的実施形態において、前記ベース部は、環状溝を有し、前記レチクル支持体が前記環状溝をまたいでいる。
【０００６】
一具体的実施形態において、前記環状溝は、前記ベース部を内部領域及び外部領域に分割し、前記内部領域は楕円形領域である。
【０００７】
一具体的実施形態において、前記レチクル支持体は、前記楕円形レチクルの底部を支持するための支持ブロックと、前記楕円形レチクルを規制するためのエッジ規制部とを備え、前記支持ブロックは前記ベース部の内部領域に位置し、前記エッジ規制部は前記ベース部の外部領域に位置する。
【０００８】
一具体的実施形態において、前記蓋のレチクルホルダは、対称軸を有し、前記ベース部のレチクル支持体が対称軸を有し、前記複数のレチクルホルダの対称軸は前記蓋の楕円形空間の中心に向けられ、前記複数レチクル支持体の対称軸が前記ベース部の内部領域の中心に向けられる。
【０００９】
本発明は、楕円形レチクルを収納するのに適し、蓋と、ベース部とを含む非矩形レチクルの容器も提供する。前記ベース部は、載置面と、前記載置面の周縁に沿って設けられ、前記楕円形レチクルを支持するための複数のレチクル支持体とを備える。前記蓋は、前記ベース部と結合されて前記楕円形レチクルを収容するための楕円形の収容空間を画成し、前記楕円形レチクルを規制するための複数レチクルホルダを含む。前記楕円形の収容空間は、前記ベース部の内側及び前記蓋の内側にある複数の円弧状縁部で画成される。
【００１０】
一具体的実施形態において、前記載置面は、複数の第１円弧状縁部を有し、前記レチクル支持体は前記複数の第１円弧状縁部のうちの隣り合う第１円弧状縁部の間に設けられる。
（【００１１】以降は省略されています）

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