特許ウォッチ

公開番号2024034641
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022139031
出願日2022-09-01
発明の名称ワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 5/48 20060101AFI20240306BHJP(情報記憶)
要約【課題】薄い板状のワークをワーク支持面によって保持することができるワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置33は、ワーク支持面80と、吹付け吸引ユニット90とを有している。ワーク支持面80に吸引孔82が形成されている。ワーク支持面80に置かれたワークWが吸引孔82によって吸着される。吹付け吸引ユニット90は、気体(例えば空気)をイオン化するイオナイザ93と、ワークWに向けて前記気体を噴射する噴出口100と、吸入口101とを有している。ワークWに衝突し反射した前記気体が、吸入口101から吸入される。イオン化された前記気体をワークWに吹付けながら、吹付け吸引ユニット90をワークWの長さ方向に相対的に移動させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを載置するワーク支持面を有したワーク載置台と、
前記ワーク支持面に形成され、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと対応した位置に開口する吸引孔と、
前記吸引孔に接続され、前記吸引孔から空気を吸引する負圧発生源と、
前記ワーク支持面に置かれた前記ワークに向けて前記ワークの上方から気体を噴射する噴出口を有しかつ前記ワークに衝突し反射した前記気体を吸入する吸入口を有した吹付け吸引ユニットと、
前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと前記吹付け吸引ユニットとを前記ワークの長さ方向に相対的に移動させる移動機構と、
を具備したことを特徴とするワーク保持装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載のワーク保持装置において、さらに、
前記噴出口に供給される前記気体をイオン化するイオナイザを有したワーク保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載のワーク保持装置において、さらに、
前記ワーク支持面に前記ワークの孔が挿入される位置決めピンを有したワーク保持装置。
【請求項４】
請求項３に記載のワーク保持装置において、
前記移動機構が、
前記吹付け吸引ユニットを前記ワークの第１の端部から前記ワークの第２の端部に向けて相対的に移動させるワーク保持装置。
【請求項５】
請求項４に記載のワーク保持装置において、
前記第１の端部の近くに前記位置決めピンを有したワーク保持装置。
【請求項６】
請求項１に記載のワーク保持装置において、
複数の前記吸引孔を有し、これら吸引孔が前記ワークの前記長さ方向に間隔を存して形成されたワーク保持装置。
【請求項７】
請求項３に記載のワーク保持装置において、
前記ワークがディスク装置用サスペンションであり、
前記ディスク装置用サスペンションのベースプレートに形成されたボス部の孔に前記位置決めピンが挿入されるワーク保持装置。
【請求項８】
請求項１に記載のワーク保持装置を備えた検査装置であって、
複数の前記ワークが配置されるワーク配置部と、
前記ワーク配置部とは異なる位置に設けられ、前記ワークを検査する検査部と、
前記ワーク配置部に配置された前記ワークを前記検査部に向けて移動させ、前記検査部において検査されたワークを前記ワーク配置部に戻す搬送機構とを有し、
前記搬送機構が、
前記ワーク配置部に配置された検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク支持面の上に位置した状態において前記検査前のワークの吸着を解除し、前記ワーク支持面に載置された検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク配置部の上に位置した状態において前記検査済のワークの吸着を解除する吸着ユニットを有したことを特徴とする検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の検査装置であって、
前記吸着ユニットが、
前記ワーク配置部に配置された前記検査前のワークを吸着し、前記検査前のワークが前記ワーク配置部から前記ワーク支持面の上に移動するまで前記検査前のワークを保持する第１の吸着部と、
前記ワーク支持面に載置された前記検査済のワークを吸着し、前記検査済のワークが前記ワーク支持面から前記ワーク配置部の上に移動するまで前記検査済のワークを保持する第２の吸着部と、
を有した検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばディスク装置用サスペンション等のワークを保持するためのワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームにディスク装置用サスペンションが設けられている。
【０００３】
ディスク装置用サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、フレキシャ(flexure)などを備えている。例えば特開２０１６－８７６１１号公報（特許文献１）に記載されたように、フレキシャは、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベース上に形成された配線部とを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部にスライダが配置されている。前記スライダには磁気ヘッドとして機能する素子が設けられている。前記フレキシャは、前記ロードビームの長さ方向に延びるフレキシャテールを含んでいる。
【０００４】
前記フレキシャと前記ロードビームとを含むディスク装置用サスペンションを検査するために、検査装置が使用されることがある。検査装置の一例は、ディスク装置用サスペンション等のワークを所定位置に保持するワーク保持装置と、ワーク保持装置によって固定されたワークを撮影するカメラと、ワークを搬送する搬送機構などを含んでいる。
【０００５】
前記ディスク装置用サスペンションのように、薄く細長いワークを扱うには細心の注意が必要である。こうしたワークを所定位置に保持するための前記ワーク保持装置は、例えば負圧によってワークを吸着する吸着ステージを有している。例えば特開２０１６－７４０９９（特許文献２）に記載された吸着装置では、吸着ステージに置かれたワークを負圧によって載置面に固定するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－８７６１１号公報
特開２０１６－７４０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ディスク装置用サスペンションのフレキシャは、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベースと、メタルベースの上に形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された銅などの導体を含んでいる。このようなワーク（ディスク装置用サスペンション）は、製造工程等において静電気を帯びたり、搬送中に静電気を帯びたりすることがある。薄く細長いワークは厚さ方向に変形しやすく、反りが生じやすい。
【０００８】
特に静電気を帯びたワークは、吸着ステージの上に置かれた状態において、負圧によって吸着ステージに吸着したとしても、ワークの一部が吸着ステージから離れたり、反ったりすることがある。ワークが吸着ステージに正しく置かれていないと、ワークを正しく撮像することができず、検査に支障が生じる。
【０００９】
本発明の目的は、ディスク装置用サスペンション等の板状のワークを検査する際に、ワークを確実に保持することができるワーク保持装置と、ワーク保持装置を備えた検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
１つの実施形態に係るワーク保持装置は、ワークを載置するワーク支持面を有したワーク載置台と、前記ワーク支持面に形成され前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと対応した位置に開口する吸引孔と、前記吸引孔に接続され前記吸引孔から空気を吸引する負圧発生源と、吹付け吸引ユニットと、移動機構とを具備している。前記吹付け吸引ユニットは、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークに向けて該ワークの上方から気体（例えば空気）を噴射する噴出口と、前記ワークに衝突し反射した前記気体を吸入する吸入口とを有している。前記移動機構は、前記ワーク支持面に置かれた前記ワークと前記吹付け吸引ユニットとを、前記ワークの長さ方向に相対的に移動させる。この実施形態のワーク保持装置が、前記噴出口に供給される前記気体をイオン化するイオナイザを有しているとよい。なおワークの静電気帯電が問題のない程度であれば、イオナイザを用いなくてもよい。前記ワーク支持面に、前記ワークの孔が挿入される位置決めピンを有してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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