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公開番号2024055974
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-19
出願番号2024032792,2019236539
出願日2024-03-05,2019-12-26
発明の名称コンタクトプローブ
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01R 1/067 20060101AFI20240412BHJP(測定;試験)
要約【課題】繰り返しの使用において安定した接触抵抗を維持することができるコンタクトプローブを提供すること。
【解決手段】本発明にかかるコンタクトプローブは、長手方向の両端で互いに異なる電極とそれぞれ接触して信号を伝送するコンタクトプローブであって、長手方向に延びる導電性部材と、導電性部材の少なくとも一端に設けられ、白金族元素、または白金族元素を主成分とする合金からなるパイプ部材と、を備え、パイプ部材は、一方の端部が扁平な形状をなす。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
長手方向の両端で互いに異なる電極とそれぞれ接触して信号を伝送するコンタクトプローブであって、
前記長手方向に延びる導電性部材と、
前記導電性部材の少なくとも一端に設けられ、白金族元素、または前記白金族元素を主成分とする合金からなるパイプ部材と、
を備え、
前記パイプ部材は、一方の端部が扁平な形状をなす、
ことを特徴とするコンタクトプローブ。
続きを表示（約 500 文字）【請求項２】
長手方向の両端で互いに異なる電極とそれぞれ接触して信号を伝送するコンタクトプローブであって、
前記長手方向に延びる導電性部材と、
前記導電性部材の少なくとも一端に設けられ、白金族元素、または前記白金族元素を主成分とする合金からなるパイプ部材と、
を備え、
前記パイプ部材は、一方の端部が面取りされてなる曲面をなす、
ことを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記パイプ部材は、一方の端部側の開口を通過する平面と、他方の端部側の開口を通過する平面とが互いに平行な筒状をなす、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記パイプ部材は、一方の端部の開口を通過する平面が、中心軸に対して傾斜している筒状をなす、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記パイプ部材は、前記扁平な形状をなす部分において、内周面同士が接触している、
ことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路（パッケージ）や液晶パネルなどの検査対象の導通状態検査や動作特性検査を行う際には、検査対象と検査用信号を出力する信号処理装置との間の電気的な接続を図るために、接続端子であるコンタクトプローブを複数収容するプローブユニットが用いられる。プローブユニットとして、プリント配線基板の電気回路の電極および検査用信号を出力する回路基板の電極と両端部でそれぞれ接触することによって半導体集積回路と回路基板との間を電気的に接続するコンタクトプローブを有するプローブユニットが開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１０－２８２１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したコンタクトプローブは、繰り返して検査に使用される。このため、コンタクトプローブの端部が摩耗によって擦り減ったり、基板側の電極のメッキや母材を削ったりすることによって接触抵抗が変化するおそれがあった。特許文献１が開示するコンタクトプローブは、端部に着脱可能なチップを設けて、このチップを交換することによって摩耗による電気特性の変化を抑制している。しかしながら、チップを交換する時期の特定の難しさや、その交換に係る労力に鑑みて、接触部分自体の耐久性を向上することが求められている。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、繰り返しの使用において安定した接触抵抗を維持することができるコンタクトプローブおよび信号伝送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るコンタクトプローブは、長手方向の両端で互いに異なる電極とそれぞれ接触して信号を伝送するコンタクトプローブであって、前記長手方向に延びる導電性部材と、前記導電性部材の少なくとも一端に設けられ、白金族元素、または前記白金族元素を主成分とする合金からなるパイプ部材と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記の発明において、前記導電性部材は、前記長手方向の一端側に位置する第１プランジャと、前記長手方向の他端側に位置する第２プランジャと、一端で前記第１プランジャと接続するとともに、他端で前記第２プランジャと接続するコイルばねと、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記の発明において、前記パイプ部材は、単一の前記白金族元素からなることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記の発明において、前記導電性部材は、前記長手方向と直交する方向に突出し、前記パイプ部材に圧接する突出部、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記の発明において、前記導電性部材は、前記パイプ部材が取り付けられる端部に設けられ、前記長手方向と直交する方向に対して垂直な平面部、を有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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