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公開番号2024058195
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165406
出願日2022-10-14
発明の名称検査装置
出願人住友金属鉱山株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 21/88 20060101AFI20240418BHJP(測定;試験)
要約【課題】本発明は回転する被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得した画像によっても、回転する被検査台上の検出位置による撮像サイズの変動分を補正して、対象物の実際のサイズに基づいて検査の良否判定を行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置に関する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、
前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、
前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、
前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、
前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記分解能決定部は、前記被検査台の円周方向の画素ラインごとに画素毎分解能を算出し、
前記撮像サイズ補正部は、前記画素毎分解能により前記撮像サイズを補正し、前記画素ラインごとに補正された補正後撮像サイズの和を前記対象物の前記真正サイズとする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記分解能決定部は、前記被検査台の回転中心に対する前記対象物の重心座標を求めるとともに、前記重心座標に基づき前記対象物ごとの代表となる代表分解能を決定し、
前記撮像サイズ補正部は、前記代表分解能により前記対象物の前記撮像サイズを補正する請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記分解能決定部は、前記撮像サイズの前記変動分を含む前記対象物の前記画像上の外郭形状に基づき前記対象物の前記重心座標を幾何学的に求めるライブラリデータを用いて前記重心座標を求める請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記画像取得部は、ラインカメラにより前記画像を取得する請求項１または３に記載の検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
回転する被検査台上を撮像して被検査物を検査する検査装置として、被検査台全体を一つのカメラで一度に撮像する検査装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１５８０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、被検査台の上方に治具等を有する装置では、被検査台全体を一つのカメラで撮像した場合、撮像範囲に死角が生じてしまう。このため、被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて回転する被検査台を撮像することで被検査台全体の画像を撮像する検査装置等を使用できる。
【０００５】
一方、被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いた検査装置では、撮像された画像に基づく対象物のサイズにより検査の良否を判定しようとした場合、対象物のサイズを正確に把握しにくいという問題があった。これは、被検査台上の検査物が配置された位置が、内周側であるか、外周側であるかにより、撮像された画像において検出されるサイズが、実物の大きさから解離する場合があったためである。
【０００６】
そこで本発明は、回転する被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得した画像によっても、回転する被検査台上の検出位置による撮像サイズの変動分を補正し、対象物の正確な大きさに基づく良否判定ができる検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、回転する被検査台上の画像を前記被検査台の径方向に延びる撮像素子列を用いて取得する画像取得部と、
前記画像に撮像された対象物の検出位置および撮像サイズを検出する対象物検出部と、
前記対象物の前記検出位置に基づき分解能を決定する分解能決定部と、
前記被検査台の回転により生じる前記撮像サイズの変動分を前記分解能に基づき補正し、前記対象物の真正サイズとする撮像サイズ補正部と、
前記真正サイズにより、検査における良否を判定する良否判定部と、を備える検査装置である。
【０００８】
本発明の第２の態様は、前記分解能決定部は、前記被検査台の円周方向の画素ラインごとに画素毎分解能を算出し、
前記撮像サイズ補正部は、前記画素毎分解能により前記撮像サイズを補正し、画素ラインごとに補正された補正後撮像サイズの和を前記対象物の前記真正サイズとする第１の態様に記載の検査装置である。
【０００９】
本発明の第３の態様は、前記分解能決定部は、前記被検査台の回転中心に対する前記対象物の重心座標を求めるとともに、前記重心座標に基づき前記対象物ごとの代表となる代表分解能を決定し、
前記撮像サイズ補正部は、前記代表分解能により前記対象物の前記撮像サイズを補正する第１の態様に記載の検査装置である。
【００１０】
本発明の第４の態様は、前記分解能決定部は、前記撮像サイズの変動分を含む前記対象物の画像上の外郭形状に基づき前記対象物の重心座標を幾何学的に求めるライブラリデータを用いて前記重心座標を求める第３の態様に記載の検査装置である。
（【００１１】以降は省略されています）

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