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公開番号2024032755
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-12
出願番号2024001573,2021115465
出願日2024-01-10,2016-04-01
発明の名称ガラス
出願人日本電気硝子株式会社
代理人
主分類C03C 3/085 20060101AFI20240305BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】耐熱性が高く、熱膨張係数が低く、しかも生産性に優れるガラスを創案する。
【解決手段】本発明のガラスは、ガラス組成として、モル%で、SiO₂ 55～80%、Al₂O₃ 12～30%、B₂O₃ 0～3%、Li₂O+Na₂O+K₂O 0～1%、MgO+CaO+SrO+BaO 5～35%を含有し、且つ30～380℃の温度範囲における熱膨張係数が40×10^-7/℃未満であることを特徴とする。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス組成として、モル％で、ＳｉＯ
２
５５～８０％、Ａｌ
２
Ｏ
３
１２～３０％、Ｂ
２
Ｏ
３
０～３％、Ｌｉ
２
Ｏ＋Ｎａ
２
Ｏ＋Ｋ
２
Ｏ０～１％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ５～３５％を含有し、且つ３０～３８０℃の温度範囲における熱膨張係数が４０×１０
－７
／℃未満であることを特徴とするガラス。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
Ｂ
２
Ｏ
３
の含有量が１モル％未満であることを特徴とする請求項１に記載のガラス。
【請求項３】
Ｌｉ
２
Ｏ＋Ｎａ
２
Ｏ＋Ｋ
２
Ｏの含有量が０．５モル％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス。
【請求項４】
モル比（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）／Ａｌ
２
Ｏ
３
が０．３～３であることを特徴とする請求項１～３の何れかに記載のガラス。
【請求項５】
モル比ＭｇＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が０．５以上であることを特徴とする請求項１～４の何れかに記載のガラス。
【請求項６】
歪点が７５０℃以上であることを特徴とする請求項１～５の何れかに記載のガラス。
【請求項７】
歪点が８００℃以上であることを特徴とする請求項１～６の何れかに記載のガラス。
【請求項８】
（１０
２．５
ｄＰａ・ｓにおける温度－歪点）が１０００℃以下であることを特徴とする請求項１～７の何れかに記載のガラス。
【請求項９】
１０
２．５
ｄＰａ・ｓの粘度における温度が１８００℃以下であることを特徴とする請求項１～８の何れかに記載のガラス。
【請求項１０】
平板形状であることを特徴とする請求項１～９の何れかに記載のガラス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスに関し、特に有機ディスプレイ、液晶ディスプレイの基板に好適な無アルカリガラスに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイ等の電子デバイスは、薄型で動画表示に優れると共に、消費電力
も低いため、携帯電話のディスプレイ等の用途に使用されている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイの基板として、ガラス基板が広く使用されている。この用途のガラス基板には無アルカリガラス（ガラス組成中のアルカリ成分の含有量が０．５モル％以下となるガラス）が使用されている。これにより、熱処理工程で成膜された半導体物質中にアルカリイオンが拡散する事態を防止することができる。
【０００４】
この用途の無アルカリガラスには、例えば、以下の要求特性（１）～（３）が要求される。
（１）ガラス基板を低廉化するために、生産性に優れること、特に耐失透性や溶融性に優れること。
（２）ｐ－Ｓｉ・ＴＦＴ、特に高温ｐ－Ｓｉ等の製造工程において、ガラス基板の熱収縮を低減するために、歪点が高いこと。
（３）ガラス基板上に成膜される部材（例えば、ｐ－Ｓｉ）の熱膨張係数に整合するように、低い熱膨張係数を有すること。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記要求特性（１）と（２）を両立させることは容易ではない。すなわち、無アルカリガラスの歪点を高めようとすると、耐失透性と溶融性が低下し易くなり、逆に無アルカリガラスの耐失透性と溶融性を高めようとすると、歪点が低下し易くなる。
【０００６】
また、上記要求特性（１）と（３）を両立させることも容易ではない。すなわち、無アルカリガラスの熱膨張係数を低下させようとすると、耐失透性と溶融性が低下し易くなり、逆に無アルカリガラスの耐失透性と溶融性を高めようとすると、熱膨張係数が上昇し易くなる。
【０００７】
また、ディスプレイの薄型化には、一般的に、ガラス基板のケミカルエッチングが用いられている。この方法は、２枚のガラス基板を貼り合わせたディスプレイパネルをＨＦ（フッ酸）系薬液に浸漬させることにより、ガラス基板を薄くする方法である。よって、ガラス基板のケミカルエッチングを行う場合、要求特性（１）～（３）に加えて、ディスプレイパネルの生産効率を上げるために、ＨＦによるエッチングレートが高いことが求められる。
【０００８】
更に、ガラス基板の撓みに起因する不具合を抑制するために、ヤング率（又は比ヤング率）が高いことが求められることもある。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み成されたものであり、その技術的課題は、耐熱性が高く、熱膨張係数が低く、しかも生産性に優れるガラスを創案することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、種々の実験を繰り返した結果、ガラス組成を所定範囲に規制することにより、上記技術的課題を解決できることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明のガラスは、ガラス組成として、モル％で、ＳｉＯ
２
５５～８０％、Ａｌ
２
Ｏ
３
１２～３０％、Ｂ
２
Ｏ
３
０～３％、Ｌｉ
２
Ｏ＋Ｎａ
２
Ｏ＋Ｋ
２
Ｏ０～１％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ５～３５％を含有し、且つ３０～３８０℃の温度範囲における熱膨張係数が４０×１０
－７
／℃未満であることを特徴とする。ここで、「Ｌｉ
２
Ｏ＋Ｎａ
２
Ｏ＋Ｋ
２
Ｏ」は、Ｌｉ
２
Ｏ、Ｎａ
２
Ｏ及びＫ
２
Ｏの合量を指す。「ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」は、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量を指す。「３０～３８０℃の温度範囲における熱膨張係数」は、ディラトメーターで測定した平均値を指す。
（【００１１】以降は省略されています）

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