特許ウォッチ

公開番号2025174584
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-28
出願番号2024081054
出願日2024-05-17
発明の名称サーマルプリントヘッド及びその製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B41J 2/345 20060101AFI20251120BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】複数の個別配線のエッチング条件を効率的にモニターし得るサーマルプリントヘッドを提供する。
【解決手段】サーマルプリントヘッド1は、複数の個別配線25と、モニターパターン65とを備える。複数の個別配線25は、各々、副走査方向Yに対して傾く方向に延在している個別配線領域25aを含む。モニターパターン65は、複数の帯状体66を含む。複数の帯状体66の各々は、副走査方向Yに延在している。帯状体66の幅W2は、個別配線領域25aの幅W1に等しい。互いに隣り合う帯状体66の間の間隔G2は、互いに隣り合う第1個別配線領域25aの間の間隔G1に等しい。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
複数の個別配線と、
モニターパターンとを備え、
前記複数の個別配線は、各々、副走査方向に対して傾く方向に延在している第１個別配線領域を含み、
前記モニターパターンは、複数の帯状体を含み、
前記複数の帯状体の各々は、前記副走査方向に延在しており、
前記複数の帯状体は、主走査方向に配列されており、かつ、前記第１個別配線領域と同じ材料で形成されており、
前記複数の帯状体の各々の幅は、前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域の各々の幅に等しく、
前記複数の帯状体のうち互いに隣り合う帯状体の間の間隔は、前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域のうち互いに隣り合う第１個別配線領域の間の間隔に等しい、サーマルプリントヘッド。
続きを表示（約 2,200 文字）【請求項２】
前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域は、前記複数の個別配線のうち前記副走査方向に対して最も傾いている部分である、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
前記主走査方向と前記副走査方向とに沿って延在する主面を有する基板と、
前記主面上に配置されているヒーターグレーズと、
前記ヒーターグレーズ上に配置されている発熱抵抗体と、
前記主面上に配置されている平坦化層とをさらに備え、
前記平坦化層の第１厚さは、前記ヒーターグレーズの第２厚さよりも小さく、
前記複数の個別配線は、各々、第２個別配線領域を含み、
前記第２個別配線領域は、前記第１個別配線領域に接続されており、前記副走査方向に延在しており、前記ヒーターグレーズ上に配置されており、かつ、前記発熱抵抗体に電気的に接続されており、
前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域と前記モニターパターンとは、前記平坦化層上に配置されている、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
前記主面上に配置されているダイボンディンググレーズと、
前記ダイボンディンググレーズ上に配置されている駆動回路とをさらに備え、
前記平坦化層の前記第１厚さは、前記ダイボンディンググレーズの第３厚さよりも小さく、
前記複数の個別配線は、各々、第３個別配線領域を含み、
前記第３個別配線領域は、前記第１個別配線領域に接続されており、前記ダイボンディンググレーズ上に配置されており、かつ、前記駆動回路に電気的に接続されている、請求項３に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項５】
前記モニターパターンは、前記複数の帯状体のうち前記主走査方向において中央にある中央帯状体を含み、
前記幅は、前記中央帯状体の幅であり、
前記間隔は、前記中央帯状体と前記中央帯状体に隣り合う帯状体との間の間隔である、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記モニターパターンは、前記中央帯状体を特定するマーカーを含む、請求項５に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項７】
導電性物質を含むペーストをエッチングすることによって、複数の個別配線とモニターパターンとを形成するステップを備え、前記モニターパターンは、複数の帯状体を含み、
前記複数の帯状体の各々の幅と、前記複数の帯状体のうち互いに隣り合う帯状体の間の間隔とを測定するステップと、
前記幅と前記間隔とに基づいて、前記ペーストの前記エッチングの条件が適切であるかを判定するステップとを備え、
前記複数の個別配線は、各々、副走査方向に対して傾く方向に延在している第１個別配線領域を含み、
前記複数の帯状体の各々は、前記副走査方向に延在しており、
前記複数の帯状体は、主走査方向に配列されており、かつ、前記第１個別配線領域と同じ材料で形成されており、
前記複数の帯状体の各々の幅は、前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域の各々の幅に等しく、
前記複数の帯状体のうち互いに隣り合う帯状体の間の間隔は、前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域のうち互いに隣り合う第１個別配線領域の間の間隔に等しい、サーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域は、前記複数の個別配線のうち前記副走査方向に対して最も傾いている部分である、請求項７に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項９】
基板の主面上にヒーターグレーズを形成するステップと、
前記主面上に平坦化層を形成するステップと、
前記ヒーターグレーズ上に発熱抵抗体を形成するステップとをさらに備え、
前記主面は、前記主走査方向と前記副走査方向とに沿って延在しており、
前記平坦化層の第１厚さは、前記ヒーターグレーズの第２厚さよりも小さく、
前記複数の個別配線は、各々、第２個別配線領域を含み、
前記第２個別配線領域は、前記第１個別配線領域に接続されており、前記副走査方向に延在しており、前記ヒーターグレーズ上に配置されており、かつ、前記発熱抵抗体に電気的に接続されており、
前記複数の個別配線の前記第１個別配線領域と前記モニターパターンとは、前記平坦化層上に形成される、請求項７または請求項８に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記主面上にダイボンディンググレーズを形成するステップと、
前記ダイボンディンググレーズ上に駆動回路を設けるステップとをさらに備え、
前記平坦化層の前記第１厚さは、前記ダイボンディンググレーズの第３厚さよりも小さく、
前記複数の個別配線は、各々、第３個別配線領域を含み、
前記第３個別配線領域は、前記第１個別配線領域に接続されており、前記ダイボンディンググレーズ上に配置されており、かつ、前記駆動回路に電気的に接続されている、請求項９に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、サーマルプリントヘッド及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２３－１７６５０４号公報（特許文献１）は、基板と、グレーズ層と、配線層と、発熱抵抗体とを備えるサーマルプリントヘッドを開示している。配線層は、共通電極と、複数の個別電極と、複数の信号配線部と、複数のパッド部とを有している。配線層は、銀を主成分とした導電体である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－１７６５０４号公報
【０００４】
［概要］
本開示の目的は、複数の個別配線のエッチング条件を効率的にモニターし得るサーマルプリントヘッド及びその製造方法を提供することである。
【０００５】
本開示のサーマルプリントヘッドは、複数の個別配線と、モニターパターンとを備える。複数の個別配線は、各々、副走査方向に対して傾く方向に延在している第１個別配線領域を含む。モニターパターンは、複数の帯状体を含む。複数の帯状体の各々は、副走査方向に延在している。複数の帯状体は、主走査方向に配列されており、かつ、第１個別配線領域と同じ材料で形成されている。複数の帯状体の各々の幅は、複数の個別配線の第１個別配線領域の各々の幅に等しい。複数の帯状体のうち互いに隣り合う帯状体の間の間隔は、複数の個別配線の第１個別配線領域のうち互いに隣り合う第１個別配線領域の間の間隔に等しい。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。
図２は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの、図１に示す断面線ＩＩ－ＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
図３は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの、図１に示す領域ＩＩＩの概略部分拡大平面図である。
図４は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの、図１に示す領域ＩＶの概略部分拡大平面図である。
図５は、実施の形態の第１変形例のサーマルプリントヘッドの概略部分拡大平面図である。
図６は、実施の形態の第２変形例のサーマルプリントヘッドの概略部分拡大平面図である。
図７は、実施の形態の第３変形例のサーマルプリントヘッドの概略部分拡大平面図である。
図８は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの製造方法の一例のフローチャートを示す図である。
図９は、実施の形態のサーマルプリントヘッドの製造方法の別の例のフローチャートを示す図である。
【０００７】
［詳細な説明］
図面に基づいて本開示の実施の形態の詳細について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。以下に記載する実施の形態の少なくとも一部の構成を任意に組み合わせてもよい。
【０００８】
図１から図７を参照して、実施の形態のサーマルプリントヘッド１を説明する。本実施の形態のサーマルプリントヘッド１は、基板１０と、グレーズ１１と、平坦化層１５と、第１配線２０と、モニターパターン６５と、発熱抵抗体３０と、保護層３３と、駆動回路４０と、導電ワイヤ４１と、封止部材４３と、複数の第２配線４５と、複数の外部接続端子５０とを備える。本実施の形態のサーマルプリントヘッド１は、コネクタ６１をさらに備えてもよい。
【０００９】
図１及び図２を参照して、基板１０は、例えば、アルミナ基板のようなセラミック基板である。基板１０は、主面１０ａを有する。主面１０ａの平面視（以下、単に「平面視」という）において、基板１０の長手方向は主走査方向Ｘであり、基板１０の短手方向は副走査方向Ｙであり、基板１０の厚さ方向は板厚方向Ｚである。板厚方向Ｚは、主走査方向Ｘ及び副走査方向Ｙに直交している。平面視において、副走査方向Ｙは、印刷媒体（例えば、感熱記録紙）の搬送方向である。
【００１０】
図１から図７を参照して、グレーズ１１は、基板１０の主面１０ａ上に配置されている。グレーズ１１は、例えば、非晶質ガラスのようなガラス材料で形成されている。グレーズ１１の熱伝導率は、基板１０の熱伝導率よりも低くてもよい。図１及び図２に示されるように、グレーズ１１は、主面１０ａの一部分に設けられている。すなわち、グレーズ１１は、いわゆる部分グレーズである。グレーズ１１は、ヒーターグレーズ１２と、ダイボンディンググレーズ１３とを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許